专利名称：双叉型侧控阴极发射结构的平板显示器及其制作工艺的制作方法
技术领域：
本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种双叉型侧控阴极发射结构的平板显示器及其制作工艺。
背景技术：
碳纳米管场致发射显示器是一种新型的平面显示设备，它利用碳纳米管作为阴极材料，而取代了传统阴极射线管显示器中的热电子枪，从而无延迟时间，响应速度更快。从碳纳米管阴极发射的电子在阳极高电压的作用下加速向阳极运动，轰击荧光粉层而发出可见光，这种发光原理与阴极射线管显示器的发光原理相似，因此它完全继承了阴极射线管显示器的高清晰显示图像质量。与液晶显示器相比较，无论从显示器尺寸、显示亮度等方面，碳纳米管场致发射显示器都更具有优势，是理想的下一代平板器件产品。
在目前所报道的大多数碳纳米管阴极场致发射显示器件当中，都采用了栅极结构位于碳纳米管阴极结构上方的控制模式。由于受到栅极结构制作工艺及制作材料等因素的制约，这些显示器普遍都存在着栅极电压过高，显示器件的亮度低，碳纳米管阴极的发射效率不高等不利之处，而碳纳米管阴极对于显示图像质量的影响作用也是不可忽视的。由于栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的绝缘材料具有一定的绝缘等级，一旦超过限度就会发生电学击穿现象，因此缩减二者之间的距离从而降低栅极工作电压的做法是受到一定程度限制的。由于从碳纳米管阴极发射的电子束要经过栅极结构以后才能够轰击荧光粉层，因此碳纳米管阴极的发射面积无法制作的更大，否则容易造成栅极失控，这也就意味着碳纳米管阴极的有效电子发射面积是固定的，也就限制了进一步提高器件的显示亮度。而这些问题都需要进一步的加以改进和解决。此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。
发明内容
本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的双叉型侧控阴极发射结构的平板显示器及其制作工艺。
本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及双叉型侧控阴极发射结构。
所述的双叉型侧控阴极发射结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极升高层；栅极升高层要完全覆盖住栅极引线层；栅极升高层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；栅极升高层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层；栅极升高层上面的刻蚀后的金属层形成栅极管制一层；栅极管制一层呈现圆盘面型形状，依附于栅极升高层的上表面，栅极管制一层的下表面和栅极引线层相互连通；栅极管制一层上面印刷的绝缘浆料层形成附加栅极升高层；附加栅极升高层呈现圆柱体型形状，坐落于栅极管制一层的上面，且其中心位置与圆盘面型栅极管制一层的中心位置相重合，但附加栅极升高层的直径小于栅极管制一层的直径，从而在附加栅极升高层的周围暴露出呈现环形形状的栅极管制一层；附加栅极升高层的上顶部不是一个平面，而是呈现一个弧型的向内凹陷孔，弧型凹陷孔最大直径与附加栅极升高层的直径相同，且附加栅极升高层的上顶平面与弧型凹陷孔的底面相重合；附加栅极升高层的侧面上的刻蚀后的金属层形成栅极管制二层；栅极管制二层依附于附加栅极升高层的外部侧壁上，其余位置不存在栅极管制二层；栅极管制二层和底部的栅极管制一层相互连通；栅极管制一层和栅极管制二层上面印刷的绝缘浆料层形成隔离层；隔离层环绕在附加栅极升高层的周围，其下表面覆盖住栅极管制一层和栅极管制二层，而其上表面则是呈现一个向内凹陷的弧形形状；隔离层上表面上和附加栅极升高层上顶面上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满隔离层的上表面以及附加栅极升高层的上顶面，而且是连接在一起的；阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层则分别位于隔离层的上表面上的阴极过渡层上面，以及附加栅极升高层上表面上的阴极过渡层上面，且仅仅位于弧形面上；栅极升高层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层和阴极过渡层、阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。
所述的双叉型侧控阴极发射结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬；栅极管制一层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；栅极管制二层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向相互垂直；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍。
一种双叉型侧控阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下1)阴极玻璃面板的制作对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；2)绝缘层的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；3)栅极引线层的制作在绝缘层上面制出金属层，刻蚀形成栅极引线层；4)栅极升高层的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；5)栅极延长线层的制作在栅极升高层小圆孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；6)栅极管制一层的制作在栅极升高层上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极管制一层；7)附加栅极升高层的制作在栅极管制一层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加栅极升高层；8)栅极管制二层的制作在附加栅极升高层的侧面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极管制二层；9)隔离层的制作在栅极管制一层和栅极管制二层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离层；10)阴极过渡层的制作在隔离层的上表面以及附加栅极升高层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；11)阴极导电层的制作在阴极过渡层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；12)阴极引线层的制作在栅极升高层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；13)阴极覆盖层的制作在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；14)双叉型侧控阴极发射结构的表面清洁处理对双叉型侧控阴极发射结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；15)碳纳米管的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面；16)阳极玻璃面板的制作对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；17)阳极导电层的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；18)绝缘浆料层的制作在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；19)荧光粉层的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；20)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；21)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤18具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度150℃，保持时间5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度580℃，保持时间10分钟)。
所述步骤19具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度120℃，保持时间10分钟)。
所述步骤21具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
本发明具有如下的积极效果
首先，在所述的双叉型侧控阴极发射结构中，栅极结构位于碳纳米管阴极的旁侧。当在栅极上施加适当电压以后，就会通过栅极引线层、栅极延长线层而将外界电压传递到栅极管制一层和栅极管制二层的上面，从而在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子，体现了栅极结构的强有力控制作用。由于栅极结构位于碳纳米管阴极结构的旁侧，从碳纳米管阴极所发射的电子束不会受到栅极结构的截留，直接飞向阳极结构，轰击荧光粉层而发出可见光，减小了栅极结构的工作电流。由于栅极结构中的栅极管制一层和栅极管制二层呈现一种双叉型形状，且阴极导电层也是位于弧形隔离层上表面上，这样就极大缩减了栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，有助于降低栅极结构的工作电压。
其次，在所述的双叉型侧控阴极发射结构中，将碳纳米管阴极制备在了阴极导电层的上面，而阴极导电层分别位于弧形隔离层的上表面以及弧形附加栅极升高层的上顶面上，极大地增加了碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极都参与电子发射，有助于提高器件的显示亮度。将栅极结构和阴极结构高度集成到一起，有助于促进整体器件的高度集成化发展；在所述的双叉型侧控阴极发射结构中，并没有采用特殊结构制作材料，也没有采用特殊器件制作工艺，这在很大程度上降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能进行大面积器件制作，利于进行商业化的大规模生产。
图1给出了双叉型侧控阴极发射结构的纵向结构示意图。
图2给出了双叉型侧控阴极发射结构的横向结构示意图。
图3给出了带有双叉型侧控阴极发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。
具体实施例方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，但并不局限于这些实施例。
所述的一种带有双叉型侧控阴极发射结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[15]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[20]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[16]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[18]；在阴极玻璃面板上有栅极引线层[3]、碳纳米管[14]以及双叉型侧控阴极发射结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[19]以及消气剂附属元件[21]。
所述的双叉型侧控阴极发射结构包括阴极玻璃面板[1]、绝缘层[2]、栅极引线层[3]、栅极升高层[4]、栅极延长线层[5]、栅极管制一层[6]、附加栅极升高层[7]、栅极管制二层[8]、隔离层[9]、阴极过渡层[10]、阴极导电层[11]、阴极引线层[12]、阴极覆盖层[13]和碳纳米管[14]部分。
所述的双叉型侧控阴极发射结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成栅极升高层；栅极升高层覆盖住栅极引线层；栅极升高层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；栅极升高层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层；栅极升高层上面刻蚀后的金属层形成栅极管制一层；栅极管制一层呈现圆盘面型形状，依附于栅极升高层上表面，栅极管制一层下表面和栅极引线层相互连通；栅极管制一层上面印刷的绝缘浆料层形成附加栅极升高层；附加栅极升高层呈现圆柱体型形状，坐落于栅极管制一层上面，且其中心位置与圆盘面型栅极管制一层的中心位置相重合，但附加栅极升高层直径小于栅极管制一层的直径，从而在附加栅极升高层周围暴露出呈现环形形状的栅极管制一层；附加栅极升高层上顶部不是一个平面，而是呈现一个弧型的向内凹陷孔，弧型凹陷孔最大直径与附加栅极升高层的直径相同，且附加栅极升高层的上顶平面与弧型凹陷孔的底面相重合；附加栅极升高层侧面上刻蚀后的金属层形成栅极管制二层；栅极管制二层依附于附加栅极升高层的外部侧壁上，其余位置不存在栅极管制二层；栅极管制二层和底部的栅极管制一层相互连通；栅极管制一层和栅极管制二层上面印刷的绝缘浆料层形成隔离层；隔离层环绕在附加栅极升高层的周围，其下表面完全覆盖住栅极管制一层和栅极管制二层，而其上表面则是呈现一个向内凹陷的弧形形状；隔离层上表面上的和附加栅极升高层上顶面上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满隔离层上表面以及附加栅极升高层上顶面，而且是连接在一起的；阴极过渡层上面刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层则分别位于隔离层的上表面上的阴极过渡层上面，以及附加栅极升高层上表面上的阴极过渡层上面，且仅仅位于弧形面上；栅极升高层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层和阴极过渡层、阴极导电层相互连通；阴极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。
所述的双叉型侧控阴极发射结构固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬；栅极管制一层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；栅极管制二层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层走向和栅极引线层走向相互垂直；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍。
一种双叉型侧控阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下1)阴极玻璃面板[1]的制作对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；2)绝缘层[2]的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；3)栅极引线层[3]的制作在绝缘层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；4)栅极升高层[4]的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；5)栅极延长线层[5]的制作在栅极升高层小圆孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；6)栅极管制一层[6]的制作在栅极升高层上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极管制一层；7)附加栅极升高层[7]的制作在栅极管制一层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加栅极升高层；8)栅极管制二层[8]的制作在附加栅极升高层的侧面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极管制二层；9)隔离层[9]的制作在栅极管制一层和栅极管制二层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离层；10)阴极过渡层[10]的制作在隔离层的上表面以及附加栅极升高层的上表面上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极过渡层；11)阴极导电层[11]的制作在阴极过渡层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；12)阴极引线层[12]的制作在栅极升高层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；
13)阴极覆盖层[13]的制作在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；14)双叉型侧控阴极发射结构的表面清洁处理对双叉型侧控阴极发射结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；15)碳纳米管[14]的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面；16)碳纳米管的后处理对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；17)阳极玻璃面板[15]制作对整体平板钠钙玻璃划割，作出阳极玻璃面板；18)阳极导电层[16]的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；19)绝缘浆料层[17]的制作在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；20)荧光粉层[18]的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；21)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[19]和四周玻璃围框[20]装配到一起，并将消气剂[21]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定。
22)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
所述步骤19具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度150℃，保持时间5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度580℃，保持时间10分钟)。
所述步骤20具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度120℃，保持时间10分钟)。
所述步骤22具体为对已经装配好的器件进行如下封装工艺将样品器件放入烘箱中进行烘烤；放入烧结炉中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
权利要求
1.一种双叉型侧控阴极发射结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[15]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[20]所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[16]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[18]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[19]以及消气剂附属元件[21]；其特征在于在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层[3]、碳纳米管[14]以及双叉型侧控阴极发射结构。
2.根据权利要求1所述的双叉型侧控阴极发射结构的平板显示器，其特征在于所述的双叉型侧控阴极发射结构的衬底材料为钠钙玻璃、硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面印刷的绝缘浆料层形成栅极升高层；栅极升高层完全覆盖栅极引线层；栅极升高层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；栅极升高层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层；栅极升高层上面刻蚀后的金属层形成栅极管制一层；栅极管制一层呈现圆盘面型形状，依附于栅极升高层的上表面，栅极管制一层的下表面和栅极引线层相互连通；栅极管制一层上面的印刷的绝缘浆料层形成附加栅极升高层；附加栅极升高层呈现圆柱体型形状，坐落于栅极管制一层的上面，且其中心位置与圆盘面型栅极管制一层的中心位置相重合，但附加栅极升高层的直径小于栅极管制一层的直径，在附加栅极升高层的周围暴露出呈现环形形状的栅极管制一层；附加栅极升高层的上顶部不是一个平面，而是呈现一个弧型的向内凹陷孔，弧型凹陷孔的最大直径与附加栅极升高层的直径相同，且附加栅极升高层的上顶平面与弧型凹陷孔的底面相重合；附加栅极升高层的侧面上的刻蚀后的金属层形成栅极管制二层；栅极管制二层依附于附加栅极升高层的外部侧壁上，其余位置不存在栅极管制二层；栅极管制二层和底部的栅极管制一层是相互连通的；栅极管制一层和栅极管制二层上面的印刷的绝缘浆料层形成隔离层；隔离层环绕在附加栅极升高层的周围，其下表面要完全覆盖住栅极管制一层和栅极管制二层，而其上表面则是呈现一个向内凹陷的弧形形状；隔离层上表面上的和附加栅极升高层上顶面上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；阴极过渡层布满隔离层的上表面以及附加栅极升高层的上顶面，而是连接在一起；阴极过渡层上面刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层则分别位于隔离层的上表面上的阴极过渡层上面，以及附加栅极升高层上表面上的阴极过渡层上面，且仅仅位于弧形面上；栅极升高层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层和阴极过渡层、阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。
3.根据权利要求2所述的双叉型侧控阴极发射结构的平板显示器，其特征在于所述的双叉型侧控阴极发射结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬；栅极管制一层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；栅极管制二层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向相互垂直；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；阴极过渡层为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍。
4.一种双叉型侧控阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下1)阴极玻璃面板[1]的制作对整体平板玻璃划割，制出阴极玻璃面板；2)绝缘层[2]的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；3)栅极引线层[3]的制作在绝缘层的上面制出金属层，刻蚀形成栅极引线层；4)栅极升高层[4]的制作在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；5)栅极延长线层[5]的制作在栅极升高层小圆孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；6)栅极管制一层[6]的制作在栅极升高层上面制备出金属层，刻蚀后形成栅极管制一层；7)附加栅极升高层[7]的制作在栅极管制一层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加栅极升高层；8)栅极管制二层[8]的制作在附加栅极升高层的侧面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极管制二层；9)隔离层[9]的制作在栅极管制一层和栅极管制二层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成隔离层；10)阴极过渡层[10]的制作在隔离层的上表面以及附加栅极升高层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；11)阴极导电层[11]的制作在阴极过渡层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；12)阴极引线层[12]的制作在栅极升高层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；13)阴极覆盖层[13]的制作在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；14)双叉型侧控阴极发射结构的表面清洁处理对双叉型侧控阴极发射结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；15)碳纳米管[14]的制备将碳纳米管制备在阴极导电层上面；16)阳极玻璃面板[15]的制作对整体平板玻璃划割，制出阳极玻璃面板；17)阳极导电层[16]的制作在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；18)绝缘浆料层[17]的制作在阳极导电层非显示区域印刷绝缘浆料层；19)荧光粉层[18]的制作在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；20)器件装配将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[19]和四周玻璃围框[20]装到一起，将消气剂[21]放到空腔中，用低熔点玻璃粉固定；21)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。
5.根据权利要求4所述的双叉型侧控阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤18具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，经过烘烤，烘烤温度150℃，保持时间5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度580℃，保持时间10分钟。
6.根据权利要求4所述的双叉型侧控阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤19具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱中进行烘烤，烘烤温度120℃，保持时间10分钟。
7.根据权利要求4所述的双叉型侧控阴极发射结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤21具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
全文摘要
本发明涉及一种双叉型侧控阴极发射结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上设置有栅极引线层、碳纳米管以及双叉型侧控阴极发射结构；能够进一步增强栅极结构的控制功能和控制效率，提高碳纳米管阴极的电子发射面积和发射效率，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。
文档编号H01J1/30GK101093775SQ20071005462
公开日2007年12月26日 申请日期2007年6月19日 优先权日2007年6月19日
发明者李玉魁 申请人:中原工学院