专利名称：Pecvd用硅片载片器的挂钩的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能光伏产业工艺设备，具体地说是用于平板炉PECVD(等离子增强化学气相沉积)中的配套装置。
背景技术：
平板炉PECVD在实施工艺时，是把硅片放在硅片载片器的挂钩上，再进入平板炉中的。太阳能光伏电池在加工过程中，有碎片和彩片的问题，原因之一就是挂钩造成的。[0003] 如图1、图2所示，现有的挂钩是用0. 5 1毫米的板材，经冲压成型，表面粗糙度较差，不容易达到工艺要求。挂钩的钩体2近似呈H字形，钩体2的上部内侧有两个直角锐边1 ，钩体2的下部两侧有向外上方弯曲的钩尖3，钩尖3的顶部是一条直线4。使用该挂钩，在放片、取片时，由于钩体2的表面粗糙度差以及直角锐边1的存在，很容易把只有150 200微米厚的硅片刮出应力或微裂痕，在以后的热加工过程中，应力扩大，微裂痕会变大，甚至导致硅片破碎，产生碎片；另外，工艺要求挂钩与硅片的接触面积越小越好，这样不容易产生彩片，但由于钩尖3的顶部是一条直线4，接触面积较大，不能满足工艺要求。
发明内容本实用新型针对上述问题，提供一种PECVD用硅片载片器的挂钩，该挂钩可降低碎片率，并且不易产生彩片。 按照本实用新型的技术方案一种PECVD用硅片载片器的挂钩，包括钩体，其特征是所述钩体包括两个向下延伸的支臂，钩体的下部两侧为向外上方弯曲的钩尖，钩体的腰部内侧设置有向内伸的顶尖。 所述钩体的顶部设置有向下弯曲的折弯部。所述钩体的材料为冷拉不锈钢丝。所述支臂的截面为圆形。所述钩尖为圆锥体。所述顶尖为圆锥体。所述的两个支臂是对称设置的。 本实用新型的技术效果在于本实用新型钩体的截面为圆形，表面很光，粗糙度小，装取片时，不容易对硅片造成影响，不易产生碎片；钩尖为圆锥体，与硅片是点接触，不易产生彩片。
图1为现有技术中的挂钩的结构示意图； 图2为图1的俯视图； 图3为本实用新型的结构示意图； 图4为图3的俯视图； 图5为本实用新型装上垫片后的结构示意图； 图6为图5的俯视图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。[0015] 如图3、图4所示，所述挂钩包括钩体l，所述钩体1包括两个向下延伸的支臂，钩体l的下部两侧为向外上方弯曲的钩尖3，钩体1的腰部内侧设置有向内伸的顶尖2。所述钩体1的顶部设置有向下弯曲的折弯部4。所述钩体l的材料为冷拉不锈钢丝。所述支臂的截面为圆形。所述钩尖3为圆锥体。所述顶尖2为圆锥体。 本实用新型包括钩体1，钩体1的材料为冷拉不锈钢丝，钩体1包括两个向下延伸的支臂，支臂的截面为圆形，表面很光，不会刮伤硅片。钩体l由不锈钢丝弯曲成"几"字形，其顶部设置有向下的弯曲的折弯部4。钩体1的下部两侧为向外上方弯曲的钩尖3，钩尖3为圆锥体，磨制成针尖状。钩体1的腰部内侧设置有向内伸的顶尖2，顶尖2也为圆锥体，磨制成针尖状。 如图5、图6所示，本实用新型使用时，腰部的顶尖2上装配有垫片5，顶部的弯曲的折弯部4下也垫有垫片。本实用新型装配到硅片载片器上后，钩尖3的圆锥体顶部与硅片是点接触，不易产生彩片。钩体l的表面很光，不会刮伤硅片，可降低碎片率0.2个百分点。
权利要求一种PECVD用硅片载片器的挂钩，包括钩体(1)，其特征是所述钩体(1)包括两个向下延伸的支臂，钩体(1)的下部两侧为向外上方弯曲的钩尖(3)，钩体(1)的腰部内侧设置有向内伸的顶尖(2)。
2. 按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的挂钩，其特征是所述钩体(1)的顶部设置有向下弯曲的折弯部(4)。
3. 按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的挂钩，其特征是所述钩体(1)的材料为冷拉不锈钢丝。
4. 按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的挂钩，其特征是所述支臂的截面为圆形。
5. 按照权利要求l所述的PECVD用硅片载片器的挂钩，其特征是所述钩尖(3)为圆锥体。
6. 按照权利要求l所述的PECVD用硅片载片器的挂钩，其特征是所述顶尖(2)为圆锥体。
7. 按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的挂钩，其特征是所述的两个支臂是对称设置的。
专利摘要本实用新型涉及一种PECVD用硅片载片器的挂钩，包括钩体，所述钩体包括两个向下延伸的支臂，所述支臂的截面为圆形，钩体的下部两侧为向外上方弯曲的钩尖，钩尖为圆锥体，钩体的腰部内侧设置有向内伸的顶尖，顶尖也为圆锥体。本实用新型钩体的截面为圆形，表面很光，粗糙度小，装取片时，不容易对硅片造成影响，不易产生碎片；钩尖为圆锥体，与硅片是点接触，不易产生彩片。
文档编号H01J37/32GK201473588SQ20092023483
公开日2010年5月19日 申请日期2009年8月7日 优先权日2009年8月7日
发明者尤耀明 申请人:无锡绿波新能源设备有限公司