专利名称：一种离子注入机的低能注入模式切换器制造方法
技术领域：
本发明涉及低能注入模式切换器的制造方法。进一步地，本发明涉及简单而且经济的气缸制造方法。属于半导体器件制造装备领域。
背景技术：
在离子注入工艺中，根据注入元素的不同，要求的电离能量也是差距极大，尤其在在四方位注入中，靶台上待注人的晶片自转45°注入一次，既要保证注入质量，还要尽可能高效率就成了必须解决的问题。由于是能量转换，安全因素必须考虑，离子注入工艺中通常要加几十-几百kv电压，所以用气动控制器来调节能量是最安全的方法。根据能量要求， 只需控制线路开关来启动或关闭低能电源，从而达到电离不同元素的目的。发明内容
本发明公开一种简单、经济的低能注入模式切换器的制造方法。
一种低能注入模式切换器的制造方法包括一个绝缘桶，两端用金属盖封闭，由密封圈密封。其中一个金属盖装有收线器并且开有送气口，收线器和活塞杆由钢丝相连，另一个金属盖通过螺纹与切换器上盖相连。由送气口充气时，活塞升到上盖一端，停止送气后由收线器把活塞拉回到下盖一端，从而达到控制线路闭合和导通的目的。
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。
图1是滑动密封组件示意图。
图2是三维滑动密封组件剖视图。
图3是三维组件顶端局部放大视图。
具体实施方式
图1是滑动密封组件示意图，部件包括顶盖1，连接端2，弹簧3，挡柱4，上盖5， 切换器桶6，活塞7，活塞杆8，钢丝9，下盖10，收线器11，磁铁12，磁力开关13.
所述顶盖1使用绝缘材料PP，顶盖1与连接端2用螺钉连接。
所述连接端2内开有内腔，弹簧3 —端与连接端2内腔相连，另外一端与挡柱4相连，起对活塞7缓冲作用。
所述连接端2与上盖5螺纹连接，上盖5开有放气口。
所述上盖5与切换器桶6用螺钉连接，上盖5与切换器桶6之间装有0型密封圈。
所述切换器桶6内装有活塞7，切换器桶6材料为PP，活塞7材料为PDEF，以保证绝缘性能和耐磨，抗压性能。
所述活塞7通过活塞杆8和钢丝9与收线器11相连。
所述收线器11用于使活塞7在切换器停止供气时更快的回到下盖一端。所述收线器11与下盖10用轴间螺钉相连。下盖10开有送气口，用于控制活塞位置。所述下盖10与切换器桶6用螺钉连接，下盖10与切换器桶6之间装有0型密封圈。所述活塞7上装有磁铁12，通过磁性开关13确定活塞7位置。以上所述已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
权利要求
1.一种低能注入模式切换器的制造方法，所述低能注入模式切换器利用气动控制电路开关，其特征在于控制器外壳由绝缘材料制作，内部为金属导体材料，通过气动导通或断开电路。
2.权力要求1所述低能注入模式切换器的制造方法，其特征在于切换器桶两端由密封圈密封，其中一端供气。
3.权力要求1所述低能注入模式切换器的制造方法，其特征在于活塞由钢丝和下盖相连。
4.权力要求1所述低能注入模式切换器的制造方法，其特征在于活塞内的活塞杆为金属材料。
5.权力要求1所述低能注入模式切换器的制造方法，其特征在于控制器上盖与顶盖为金属材料，以保证导电性和结构强度。
全文摘要
一种离子注入机的低能注入模式切换器制造方法包括制成一个长行程绝缘单作用式气缸，低能电源一端与低能注入模式切换器相连，活塞与切换器另一端用钢丝连接，利用活塞控制电路导通或断开，从而达到切换低能注入模式的目的。
文档编号H01J37/302GK102522302SQ20101024346
公开日2012年6月27日 申请日期2010年8月2日 优先权日2010年8月2日
发明者伍三忠, 唐景庭, 孙勇, 李涛 申请人:北京中科信电子装备有限公司