一种离子注入机外部门状态监控装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种离子注入机外部门状态监控装置包括依次串联的门行程开关，所述门行程开关设有常开触点和常闭触点，其特征在于：所述立体注入机外部门状态监控装置还包括有门状态指示器，所述的门状态指示器由电阻和发光二极管依次串联组成并串接在门行程开关的常闭触点之后。本设计充分利用闲置常闭触点用来监控离子注入机门的开闭状态。
【专利说明】一种离子注入机外部门状态监控装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及离子注入机外部门状态监控装置，属于工业控制系统【技术领域】。【背景技术】
[0002]离子注入机是集成电路制造工序中的关键设备，离子注入机是一种高电压、具有一定辐射、装有特种气体及部分部件高速旋转的设备，为了防止工作时高压电击、辐射、气体泄漏及运动部件压伤等危及人身安全的事件发生，在离子注入机进入工作状态之前需要确保外部防护门全部关闭，而且注入机在制造时增加了安全互锁，即在工作时所有门不允许打开，一旦开启，注入机将无法正常工作。目前的外部防护门监控电路是由多个门开关与高压保护继电器直接串联，只要其中有一个门没有关闭，高压保护继电器就不会吸合，离子注入机就不会正常工作，从而起到保护作用，但是有很多注入机设计时只是显示外部防护门有没有关好，而外部防护门有多扇，并没有显示那一扇门没有关好，这给设备的维修保养带来不便，一旦出现该故障，维修人员就必须对所有外部防护门逐一查找，才能够发现故障点，而且测量不方便，浪费人力及生产时间，造成注入机产能下降，生产效率降低。因此设计一个能够逐一显示每扇外部门状态的监控装置势在必行，以减轻维修工作量和提高设备利用率。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的:旨在提供一种结构简单，安全可靠，能够快速定位离子注入机外部防护门故障点的监控装装置。
[0004]这种离子注入机外部门状态监控装置包括依次串联的门行程开关，所述门行程开关设有常开触点和常闭触点，其特征在于:所述立体注入机外部门状态监控装置还包括有门状态指示器，所述的门状态指示器由电阻和发光二极管依次串联组成并串接在门行程开关的常闭触点之后。
[0005]本实用新型的有益效果是:1.能够迅速准确的判断出没有关好的门位置。2.避免了逐一查找的繁琐过程。3.节约了维修时间，提高了设备利用率。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0007]图1是本实用新型的电路图；
[0008]图中，1-门行程开关1.1-常开触点1.2-常闭触点2-电阻3-发光二极管。【具体实施方式】
[0009]下面我们结合附图和具体的实例来对这种一种离子注入机外部门状态监控装置进一步的详细说明，以求更为清楚明白地阐述其结构和使用方式。
[0010]这种离子注入机外部门状态监控装置包括依次串联的门行程开关1，所述门行程开关I设有常开触点1.1和常闭触点1.2，其特征在于:所述立体注入机外部门状态监控装置还包括有门状态指示器，所述的门状态指示器由电阻2和发光二极管3依次串联组成并串接在门行程开关I的常闭触点1.2之后。电阻2起到限制电流，防止电流过大烧坏发光二极管3的作用。
[0011]若干个门状态指示器分别与离子注入机每扇门所对应的门行程开关的常闭触点串接。原有注入机只利用了门行程开关的常开触点，所有门串联形成保护，若离子注入机的其中一扇门未正常关闭，那么离子注入机就不会正常工作，但常闭触点处于闲置状态，本设计充分利用闲置常闭触点用来监控离子注入机门的开闭状态。SWl--SWN (N为外部门的数量)是离子注入机原有外部门所对应的门行程开关或接近开关的常闭触点，优先级别为门I到门N,即:当门I关好时，门I对应的发光二极管亮，其余不亮;当门2关好时，门I和门2对应的发光二极管亮，其余不亮。如果有多扇外部防护门没有关好，把发光二级管未点亮的外部防护门按次序关好，依次处理即可，简单明了。
[0012]电源也利用原 有开关上的+12V电源，不用外接电源。
【权利要求】
1.一种离子注入机外部门状态监控装置，包括依次串联的门行程开关(1)，所述门行程开关(I)设有常开触点(1.1)和常闭触点(1.2)，其特征在于:所述立体注入机外部门状态监控装置还包括有门状态指示器，所述的门状态指示器由电阻(2)和发光二极管(3)依次串联组成并串接在门行程开关(I)的常闭触点(1.2)之后。
【文档编号】H01J37/244GK203644727SQ201320685462
【公开日】2014年6月11日 申请日期:2013年10月31日 优先权日:2013年10月31日
【发明者】郭杰 申请人:上海广奕电子科技有限公司