高度调节式扫描电镜样品座的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及高度调节式扫描电镜样品座，包含用于放置样品及调整样品位置的旋转基座、固定于样品台上的套筒和弹簧，旋转基座的下底面凸设有中心轴，中心轴上套置有弹簧，中心轴的下端通过螺纹与套筒相旋接，弹簧的上端与旋转基座的下底面相抵接，弹簧的下端与套筒的上顶面相抵接。可以同时对不同高度的样品进行测试，在测试前可以灵活的对样品位置进行调整，使样品待检测面接近同一高度，提高了样品的检测质量和效率。
【专利说明】高度调节式扫描电镜样品座
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种高度调节式扫描电镜样品座。
【背景技术】
[0002]扫描电镜是一种电子光学显像仪器，采用极细的电子束在样品表面扫描，高能电子射束与物质之交互作用产生各种讯号，这些讯号经由适当的检测器接收后，经放大器放大，然后送到显像管上成像，具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。
[0003]用扫描电镜观察样品时，应当利用导电性良好的样品夹具将样品紧固在样品室中，如果样品固定不好，在电子束的照射下，将会使图象发生微观飘移，导电性较差的样品尤为严重，从而会影响观察分析，特别会造成定点微区成分分析的误差。
[0004]目前，一般所使用的扫描电镜样品座高度固定，对于不同高度的样品不能同时进行测试，必须通过多次更换样品测试才能完成，大大影响了扫描电镜测试效率和测试成本。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种高度调节式扫描电镜样品座，旨在解决不同高度样品同时测试的问题。
[0006]本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:
[0007]高度调节式扫描电镜样品座，特点是:包含用于放置样品及调整样品位置的旋转基座、固定于样品台上的套筒和弹簧，所述旋转基座的下底面凸设有中心轴，中心轴上套置有弹簧，中心轴的下端通过螺纹与套筒相旋接，弹簧的上端与旋转基座的下底面相抵接，弹簧的下端与套筒的上顶面相抵接。
[0008]进一步地，上述的高度调节式扫描电镜样品座，所述套筒的上端凸设有台阶。
[0009]更进一步地，上述的高度调节式扫描电镜样品座，所述旋转基座上沿径向设有夹持凹槽。
[0010]本实用新型技术方案的实质性特点和进步主要体现在:
[0011]本实用新型扫描电镜样品座，其结构简单、操作方便，可以同时对不同高度的样品进行测试，在测试前可以灵活的对样品位置进行调整，使样品待检测面接近同一高度，提高了样品的检测质量和效率。采用高度可调的方式，可以简便灵活的随时对样品的高度位置进行调整，满足不同高度样品同时测试的要求。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明:
[0013]图1:本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】[0014]如图1所示，高度调节式扫描电镜样品座，包含用于放置样品及调整样品位置的旋转基座1、固定于样品台上的套筒2和弹簧3，旋转基座I的下底面凸设有中心轴，中心轴上套置有弹簧3，中心轴的下端通过螺纹C与套筒2相旋接，套筒2的轴线与中心轴的轴线同轴，弹簧3的上端与旋转基座I的下底面相抵接，弹簧3的下端与套筒2的上顶面相抵接。套筒2的上端凸设有台阶B，台阶B便于样品座在样品台上定位。旋转基座I上沿径向设有夹持凹槽A，便于用夹具将样品座安装到仪器样品台上。当旋转基座向上或向下工作时放松或挤压弹簧3，使旋转基座I与套筒2之间有适量的弹簧力而稳定。
[0015]测试前通过镊子夹持旋转基座I上凹槽A将套筒2插到扫描电镜测试台插孔中，通过套筒上端的台阶B对其定位，再调节旋转基座I将样品台上若干个测试样品测试面调整到接近的高度。
[0016]综上可见，本实用新型扫描电镜样品座，其结构简单、操作方便，可以同时对不同高度的样品进行测试，在测试前可以灵活的对样品位置进行调整，使样品待检测面接近同一高度，提高了样品的检测质量和效率。采用高度可调的方式，可以简便灵活的随时对样品的高度位置进行调整，满足不同高度样品同时测试的要求。
[0017]需要理解到的是:以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.高度调节式扫描电镜样品座，其特征在于:包含用于放置样品及调整样品位置的旋转基座、固定于样品台上的套筒和弹簧，所述旋转基座的下底面凸设有中心轴，中心轴上套置有弹簧，中心轴的下端通过螺纹与套筒相旋接，弹簧的上端与旋转基座的下底面相抵接，弹簧的下端与套筒的上顶面相抵接。
2.根据权利要求1所述的高度调节式扫描电镜样品座，其特征在于:所述套筒的上端凸设有台阶。
3.根据权利要求1所述的高度调节式扫描电镜样品座，其特征在于:所述旋转基座上沿径向设有夹持凹槽。
【文档编号】H01J37/20GK203690251SQ201320864046
【公开日】2014年7月2日 申请日期:2013年12月25日 优先权日:2013年12月25日
【发明者】严永林 申请人:苏州新锐合金工具股份有限公司