专利名称：具有保护功能的彩色显像管分子泵系统的制作方法
技术领域：
本实用新型是一种用于彩色显像管排气的具有保护功能的分子泵系统。
目前，对于广泛用于计算机、自动化仪表和广播电视的彩色显像管及高分辨率显示器的技术要求越来越高。很多生产部门相应对其真空排气系统提出了更高的要求，即要做到无油、快速、高真空度。国际上已有单位开始采用分子泵作为排气系统主泵的无油系统。用该系统可以延长显像管阴极寿命，提高荧光屏的亮度。但是，这种分子泵系统需要满足一定的条件，才能推广使用，即在频繁抽气、放气或意外漏入大气时，保持分子泵运转的稳定性，避免粉屑进入分子泵。而且，应该操作方便，价格合理，但是，现有的分子泵系统，由于缺乏理想的保护装置，很难达到上述要求。因而限制分子泵系统在电真空工业部门的广泛应用。此外，在排气过程中，可能会发生外力或玻璃内应力，而造成屏锥微裂颈断或排气管折断，或管子发生意外爆炸等情况时，往往招致分子泵的损坏。
本实用新型的目的在于提供一种具有保护装置的彩色显像管排气分子泵系统，使当在频繁抽气、放气或意外漏入大气时，能保持分子泵稳定运转，碰到意外情况时，仍能使分子泵处于正常状态。
本实用新型设计的彩色显像管排气用的分子泵系统包括分子泵，与前级机械泵连接的隔断放气阀，此外，还包括电磁快阀及控制器。其结构如
图1所示。分子泵11与电磁快阀5的一端连接，快阀5的另一端通过管道接被抽容器8(如彩色显像管或高分辨率显示器)，电磁快阀5受控制器7控制。分子泵系统与前级机械泵1之间由旁路隔断阀12来联接或切断。B-A规6用于测量真空压力。分子泵部分和机械泵部分正常工作时，机械泵抽到正常，关闭阀12，打开阀门5，抽显像管内的气体。当显像管突然炸裂，系统内真空迅速下降，在一个最低的压力范围即阀值P(亦称分子泵最低工作压强)内，快阀控制器7工作，使阀门5关闭，从而使系统处于正常工作状态。
上述电磁快阀控制器的原理图如图2所示。它由传感器阀件电压延时电路13、隔离放大器14、上行迟滞比较器15、控制阀门驱动电源16组成。其中隔离放大器14、上行迟滞比较器15、和电压延迟电路13的电路如图3所示。上行迟滞比较器15由运放放大器A4及电阻R12、R13、R14、R15、R16和晶体管D7等经电路连接组成，隔离放大器14由运算放大器A5及电阻R7、R8、R9、R11等经电路连接组成A5电压延迟电路13由二极管D1、D2、D3、D4、晶体管Q2、Q3、电阻R17、R18、R19、R20经电路连接组成。本实用新型中其余部件和电路均为通常的。
来自传感器的毫伏信号经过R29送到低漂移隔离放大器中的A4，放大后送到上行迟滞比较器中的A5相同端。当A4的输出电压高于上行设定阀值电压时，A5输出正高电压，使晶体管Q2导通，继电器K1吸合，即电磁阀5关闭，同时指示灯1Pa灯亮。当传感器信号低于比较器A5的下阀值时，晶体管Q2截止，电磁阀K1开放，信号送入控制阀驱动电源，使快速阀5迅速打开，同时指示灯10Pa亮。阀值电路由电位器R15调节。
图1为分子泵系统气路图。
图2为快阀控制器电路框图。
图3为快阀控制电路中的传感器阀件电压延时电路、隔离放大器电路、上行迟滞比较器电路，图中标号，1为机械泵，2为前级压强指示器，3为隔断放气阀，4为烘烤套，5为电磁快阀，6为B-A规，7为快阀控制器、8为被抽容器，9为水冷却控制器、10为水源、11为分子泵、12为旁路隔断阀、13为传感器阀件电压延时电路、14为隔离放大器、15为上行迟滞比较器电路、16为控制阀门驱动电源。
本实用新型由于在分子泵气路中设置了快速开闭的电磁阀(快阀)，对分子泵起到很好的保护作用。在显像管排气过程中，如果系统中突然冲入大气，使系统内真空度10-5～10-6mb迅速降到10-1mb(该阀值可调节)时，快阀将迅速关闭气路，保护分子泵仍处于正常状态。当换上新的显像管时，由旁路管道排气，使主系统内压强抽到10-3mb，快阀又自动打开，使分子泵又开始抽主系统。在整个显像管漏气或换管过程中，分子泵无需关闭。这样，不仅保护分子泵，而且节省了操作时间。
实施例分子泵系统气路连接如
图1所示，分子泵功率为110型，电磁阀5φ30通径，电磁阀控制器7中传感器阀件电压延时电路13、隔离放大器电路14、上行迟滞比较器电路15如图3所示，其中各主要器件的参数和型号如下R7、R8、R9、为1K，R11为20K，R12、R13、R15、R16为10K，R14为8K，R17、R30为5.1K，R32为100Ω，R18、R19为2K，R20为100K，D1、D4为1N4148，D5为1N4004，D7为2.7V，Q2为3DG12，Q3为PO13。
权利要求1.一种具有保护功能的彩色显像管排气用的分子泵系统，包括分子泵、与前级机械泵连接的隔断放气阀，其持征在于还包括电磁快阀及快阀控制器，电磁快阀的一端与分子泵连接，另一端通过管道接被抽器，电磁快阀受快阀控制器控制。
2.根据权利要求1所述的彩色显像管排气用的分子泵系统，其特征在于电磁阀控制器由传感器阀件电压延时电路、隔离放大器、上行迟滞比较器、控制阀门驱动电源组成，其中上行迟滞比较器由运算放大器A4及电阻R12、R13、R14、R15、R16和晶体管D7经电路连接组成，隔离放大器由运算放大器A5及电阻R7、R8、R9、R11等经电路连接组成，电压延迟电路由二极管D1、D2、D3、D4、晶体管Q2、Q3、电阻R17、R18、R19、R20经电路连接组成。
专利摘要本实用新型是一种具有保护功能的彩色显像管分子泵系统，包括分子泵与前级机械泵连接的隔断放气阀、电磁快阀及快阀控制器等。在对显像管排气过程中，如果碰上异常情况，真空度迅速下降到一定阀值时，快阀迅速关闭气路，分子泵仍处于正常工作状态。换管时，由旁路管道排气，当主系统压强达到一定值时，快阀又自动打开，使分子泵又开始抽主系统。在显像管漏气或换管过程中，分子泵无需关闭。这样，既保护了分子泵，又节省了操作时间。
文档编号H01J9/385GK2271747SQ9524407
公开日1997年12月31日 申请日期1995年5月24日 优先权日1995年5月24日
发明者华中一, 潘星龙, 张强基, 诸葛健, 于亦谦 申请人:复旦大学