专利名称：一种多注行波管栅极的制造工艺的制作方法
技术领域：
本发明属于微波真空电子器件领域，特别涉及到一种多注行波管栅极的制造工 艺。
背景技术：
行波管是一种利用高速电子注与微波信号互作用将电子注的动能转化为微波能 量的功率放大器件。行波管的应用范围十分广阔，几乎所有的卫星通讯都使用行波管作为 末级放大器。在大多数雷达系统中都要使用一只或若干只行波管作为产生高频发射脉冲的 大功率放大器。此外，在其它设备中行波管还可以用在某些大功率放大器，如正交场放大器 的激励级。行波管按慢波结构一般分为螺旋线行波管和耦合腔行波管两大类。多注行波管是近年来发展起来的一种新型行波管，与单注行波管相比，其具有工 作电压低、体积小、重量轻、可靠性好等优点。它的作用原理是，在一个行波管的慢波系统 里使用多个电子注同时与微波信号发生互作用。每个电子注的导流系数都不大，所以可以 利用较小的聚焦磁场对这些单独的电子注进行聚焦，但是因为电子注的数量可以做的比较 多，所以总的电子注导流系数又比较大。因此，多注耦合腔行波管采用小的电压和大的电流 就能获得优良的特性。多注行波管虽然具有很多明显的优点，但其同时具有零部件加工工艺复杂、成品 率低、成本高等缺点。特别是多注栅控行波管的栅极加工工艺，其复杂程度较同类的单注行 波管高的多，不但要有尺寸精度的要求，还同时具有形状和位置公差的要求，并且要求多个 电子注中的每一注都能良好对中，要求栅极上每个电子注的通道对称性好。
发明内容
本发明的目的在于提供一种多注行波管栅极的制造工艺，解决栅极加工工艺复 杂、成品率低、成本高等问题。为实现上述目的，本发明采用的技术方案为所述的这种多注行波管栅极的制造工艺，包括以下工序钳工备料工序一三氯乙 烯去油工序一车加工工序一三氯乙烯去油工序一酸洗工序一钳加工工序一氢气退火工序 —钳加工工序一车加工工序一钳加工工序一车加工工序一钳加工工序一三氯乙烯去油工 序一化学去油工序一亮化抛光处理工序一挑选工序一检测工序一化学去油工序一酸洗工 序一氢气退火工序一镀铼工序一氢气退火烧结工序一检测工序；具体的工艺流程为(1)钳工备料工序在钳工工作台上用剪板刀切割毛坯，选取需要的零件毛坯尺寸及零件毛坯数目；(2)三氯乙烯去油工序将(1)中所得的零件毛坯用1级工业三氯乙烯，质量为0. 7KG对其去油；(3)车加工工序用螺纹车床及夹具将(2)中获得的毛坯进行车削加工，获得需要的初始零件毛坯尺寸，磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2. OL用于车床车削时的冷却剂；(4)三氯乙烯去油工序将经(3)处理的初始零件毛坯用1级工业三氯乙烯，质量为0. 7KG去油；(5)酸洗工序将经(4)处理过的初始毛坯，先用蒸馏水清洗3 5分钟，再用0. 9L丙酮，0. 06M 绡棉，0. 5KG硝酸，0. 3KG硫酸，0. 04KG工业氯化钠分别进行清洗，每次清洗时间为1 3分 钟，清洗时用通风柜通风，最后用干燥柜干燥；(6)钳工加工工序将经(5)处理过的零件毛坯放在钳工台的固定整平夹具上固定好，用P = 300士50Kg/cm2的液压机固定整平夹具上的毛坯；(7)氢气退火工序将经(6)处理过的毛坯与整平夹具一起放入氢炉中退火；氢气为体积3. 4立方米， 时间为3 5分钟；氢气体积为19. 0立方米时间为3 5分钟；(8)钳加工工序将(7)处理后的毛坯与整平夹具一起放在钳工工具台，取下毛坯，检测平面度公 差；(9)车加工工序用螺纹车床及夹具将(8)中获得的零件毛坯进行车削加工，获得需要的二次零件 毛坯加工尺寸，磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2. OL用于车床车削时的冷却剂；(10)钳工工序将经(9)处理过的零件毛坯安放固定到钳工工作台钻孔模具上，根据需求选择钻 头；钻定位孔，用赛规检测；将定位销插入定位孔中；钻电子注通道孔，用赛规检测孔径，用 花样模板在投影仪上从两侧检测孔的位置分布及其直径；再按照需求钻工艺孔，用塞规检 测孔径；将零件毛坯从磨具上取下，用铰刀清除所有孔内毛刺，再用金刚石膏剂从两侧擦拭 零件毛坯，不可破坏厚度；再次用塞规检测孔，如毛刺未清除干净，再次清除孔内毛刺，再将 零件毛坯放大8倍检测是否有毛刺；(11)车加工工序用螺纹车床及夹具将(10)中获得的零件毛坯表面进行车削加工，获得需要的三 次零件毛坯尺寸，再次磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2. OL用于车削时的冷却剂；(12)钳工工序用钳工工作台对(11)步骤处理的零件毛坯去除毛刺；(13)三氯乙烯去油工序用1级工业三氯乙烯0. 44KG对(12)中处理后的零件毛坯进行去油，用通风柜进 行通风；(14)化学去油工序先对(13)中处理后的零件毛坯进行超声清洗3 5分钟，再用0. 08KG草酸钠， 0. 08KG 二水酒石酸钠，0. 17KG丙酮，0. 02KG0P乳化剂分别对其进行酸洗，每次清洗时间为 1 2分钟；(15)亮化抛光处理工序
将经(14)中处理的零件毛坯用0. IKG盐酸及0. 15KG丙酮分别进行酸洗，每次清 洗时间为1 2分钟；(16)挑选工序将(15)中得到的零件毛坯在显微镜下放大12倍挑选出没有毛刺的零件；(17)检测工序用赛规检测(16)中得到的零件孔的精度，用花样模板检测孔的位置分布和尺寸， 去掉不符合要求的零件；(18)化学去油工序经(17)处理后的零件用蒸馏水超声清洗3 5分钟；用0. 08KG草酸钠，0. 08KG 二 水酒石酸钠，0. 02KG OP乳化剂分别对零件进行去油，每次酸洗时间为1 2分钟；(19)酸洗工序将经(18)处理后的零件用蒸馏水清洗3 5分钟；再用0. IKG硝酸，0. 15KG硫酸， 0. 2KG丙酮分别对零件进行酸洗，每次酸洗时间为1 2分钟；(20)氢气退火工序将经(19)处理后的零件放置于氢气炉中退火处理，使用3. 4立方米氢气，退火时 间3 5分钟；使用19. 0立方米氢气，退火时间3 5分钟；(21)镀铼工序将经(20)处理后的零件，使用0. OlKG铼酸钾，0. OlKG硫酸铵及1级工业丙酮 0. 2KG用镀铼设备对其镀铼；(22)氢气退火烧结工序将经(21)处理后的零件放入氢气炉3. 4立方米氢气烧结3 5分钟；19. 0立方 米氢气烧结3 5分钟；(23)检测工序对经(22)步骤处理的零件检测镀层质量，剔除不合格品，得到合格的栅极。作为本发明的进一步改进，所述工序(5)中丙酮、硝酸及硫酸浓度级别为分析纯。作为本发明的进一步改进，所述工序(7)、(20)及(22)中，3. 4立方米氢气的清洁 度为1/2，19. 0立方米氢气的清洁度为3/2。作为本发明的进一步改进，所述工序(14)中，草酸钠及二水酒石酸钠的浓度级别 为纯，丙酮的浓度级别为分析纯，OP乳化剂为A级。作为本发明的进一步改进，所述工序(15)中，盐酸的浓度级别为化学纯，丙酮的 浓度级别为分析纯。作为本发明的进一步改进，所述工序(18)中，草酸钠的浓度级别为分析纯，二水 酒石酸钠的浓度级别为纯，OP乳化剂为A级。作为本发明的进一步改进，所述工序(19)中，硝酸及硫酸的浓度级别为化学纯， 丙酮的浓度级别为分析纯。作为本发明的进一步改进，所述工序(21)中铼酸钾及硫酸铵的浓度级别为纯。作为本发明的进一步改进，所述工序(12)中使用的钳工工作台型号为ΠΜ 3-48。作为本发明的进一步改进，所述工序(21)中使用的镀铼设备型号为M3. 021. 000。作为本发明的进一步改进，所述工序(3)中车削加工，获得需要的初始零件毛坯尺寸精度为0.2mm，所述工序(9)中车削加工，获得需要的二次零件毛坯尺寸精度为 0.011mm;所述工序(10)中，定位孔径的尺寸精度为0. 01mm，电子注通道孔径的尺寸精度为 0. 02mm，工艺孔径的尺寸精度为0. Imm ；所述工序(11)中车削加工，获得需要的三次零件毛 坯尺寸精度为0. 22mm。本发明的优点在于，所述的这种多注行波管栅极的制作工艺，通过适用常用的车 加工工艺、钳工工艺、酸洗工艺、去油工艺及零部件尺寸及精度检测工艺，进行多注行波管 栅极的制备。所述的这种多注行波管栅极的制作工艺，工艺流程看似复杂，实际非常简单， 并且没有特殊工作条件的要求，在常温常压下即可完成栅极的制备。本发明适用的工艺简 单，制作成本低廉，并能够保证制备的栅极的工艺精度。
具体实施例方式通过对实施例的描述，对本发明的具体实施方式
如所涉及的制造工艺等，作进一 步详细的说明，以帮助本领域技术人员对本发明的构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解。实施例1所述的这种多注行波管栅极的制作工艺，包括以下工序钳工备料工序一三氯乙烯去油工序一车加工工序一三氯乙烯去油工序一酸洗工 序一钳加工工序一氢气退火工序一钳加工工序一车加工工序一钳加工工序一车加工工序 —钳加工工序一三氯乙烯去油工序一化学去油工序一亮化抛光处理工序一挑选工序一检 测工序一化学去油工序一酸洗工序一氢气退火工序一镀铼工序一氢气退火烧结工序一检 测工序；具体的工艺流程为(1)钳工备料工序在钳工工作台上用剪板刀切割毛坯，选取需要的零件毛坯尺寸及零件毛坯数目；(2)三氯乙烯去油工序将(1)中所得的零件毛坯用1级工业三氯乙烯，质量为0. 7KG对其进行去油；(3)车加工工序用螺纹车床及夹具将(2)中获得的毛坯进行车削加工，获得需要的初始零件毛坯 尺寸，尺寸精度为0. 2mm，磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2. OL用于车床车削时的冷却 剂；(4)三氯乙烯去油工序将经(3)处理的初始零件毛坯用1级工业三氯乙烯，质量为0. 7KG对其去油；(5)酸洗工序将经(4)处理过的初始毛坯，先用蒸馏水清洗3分钟，再用0.9L丙酮，0.06M绡棉， 0. 5KG硝酸，0. 3KG硫酸，0. 04KG工业氯化钠分别进行清洗，每次清洗时间为1分钟，清洗时 用通风柜通风，最后用干燥柜干燥；(6)钳工加工工序将经(5)处理过的零件毛坯放在钳工台的固定整平夹具上固定好，用P = 350Kg/ cm2的液压机固定整平夹具上的毛坯；
(7)氢气退火工序将经(6)处理过的毛坯与整平夹具一起放入氢炉中退火；氢气3. 4立方米，退火时 间为3分钟，19. 0立方米氢气，退火时间为5分钟；(8)钳加工工序将(7)处理后的毛坯与整平夹具一起放在钳工工具台，取下毛坯，检测平面度公 差；(9)车加工工序用螺纹车床及夹具将(8)中获得的零件毛坯进行车削加工，获得需要的二次零件 毛坯加工尺寸，尺寸精度为0. Ollmm,磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2. OL用于车床车 削时的冷却剂；(10)钳工工序将经(9)处理过的零件毛坯安放固定到钳工工作台钻孔模具上，根据需求选择钻 头；钻定位孔，孔径的尺寸精度为0. 01mm，用赛规检测；将定位销插入定位孔中；钻电子注 通道孔，孔径的尺寸精度为0. 02mm，用赛规检测孔径，用花样模板在投影仪上从两侧检测孔 的位置分布及其直径；再按照需求钻工艺孔，孔径的尺寸精度为0. 1mm，用塞规检测孔径； 将零件毛坯从磨具上取下，用铰刀清除所有孔内毛刺，再用金刚石膏剂从两侧擦拭零件毛 坯，不可破坏厚度；再次用塞规检测孔，如毛刺未清除干净，再次清除孔内毛刺，再将零件毛 坯放大8倍检测是否有毛刺；(11)车加工工序用螺纹车床及夹具将(10)中获得的零件毛坯表面进行车削加工，获得需要的三 次零件毛坯尺寸，尺寸精度为0. 22mm,再次磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2. OL用于 车削时的冷却剂；(12)钳工工序用钳工工作台对(11)步骤处理的零件毛坯去除毛刺；(13)三氯乙烯去油工序用1级工业三氯乙烯0. 44KG对(12)中处理后的零件毛坯进行去油，用通风柜进 行通风；(14)化学去油工序先对(13)中处理后的零件毛坯进行超声清洗3分钟，再0. 08KG草酸钠，0. 08KG 二 水酒石酸钠，0. 17KG丙酮，0. 02KG OP乳化剂分别对其进行酸洗，每次清洗时间为2分钟；(15)亮化抛光处理工序将经(14)中处理的零件毛坯用0. IKG盐酸及0. 15KG丙酮分别进行酸洗，每次清 洗时间为2分钟；(16)挑选工序将(15)中得到的零件毛坯在显微镜下放大12倍挑选出没有毛刺的零件；(17)检测工序用赛规检测(16)中得到的零件孔的精度，定位孔精度为0. Olmm,电子注通道孔精 度为0. 02mm，工艺孔尺寸为0. 1mm，用花样模板检测孔的位置分布和尺寸，去掉不符合要求 的零件；
(18)化学去油工序经(17)处理后的零件用蒸馏水超声清洗5分钟；用0. 08KG草酸钠，0. 08KG 二水 酒石酸钠，0. 02KG OP乳化剂分别对零件进行去油，每次酸洗时间为1分钟；(19)酸洗工序将经(18)处理后的零件用蒸馏水清洗3分钟；再用0. IKG硝酸，0. 15KG硫酸， 0. 2KG丙酮分别对零件进行酸洗，每次酸洗时间为2分钟；(20)氢气退火工序将经(19)处理后的零件放置于氢气炉中退火处理，使用3. 4立方米氢气，退火时 间5分钟；使用19. 0立方米氢气，退火时间3分钟；(21)镀铼工序将经(20)处理后的零件，使用0. OlKG铼酸钾，0. OlKG硫酸铵及1级工业丙酮 0. 2KG用镀铼设备对其镀铼；(22)氢气退火烧结工序将经(21)处理后的零件放入氢气炉3. 4立方米氢气烧结3分钟；19. 0立方米氢 气烧结5分钟；(23)检测工序对经(22)步骤处理的零件检测镀层质量，剔除不合格品，得到合格的栅极。实施例2所述的这种多注行波管栅极的制作工艺，包括以下工序钳工备料工序一三氯乙烯去油工序一车加工工序一三氯乙烯去油工序一酸洗工 序一钳加工工序一氢气退火工序一钳加工工序一车加工工序一钳加工工序一车加工工序 —钳加工工序一三氯乙烯去油工序一化学去油工序一亮化抛光处理工序一挑选工序一检 测工序一化学去油工序一酸洗工序一氢气退火工序一镀铼工序一氢气退火烧结工序一检 测工序；具体的工艺流程为(1)钳工备料工序在钳工工作台上用剪板刀切割毛坯，选取需要的零件毛坯尺寸及零件毛坯数目；(2)三氯乙烯去油工序将(1)中所得的零件毛坯用1级工业三氯乙烯，质量为0. 7KG对其去油；(3)车加工工序用螺纹车床及夹具将(2)中获得的毛坯进行车削加工，获得需要的初始零件毛坯 尺寸，尺寸精度为0. 2mm，磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2. OL用于车床车削时的冷却 剂；(4)三氯乙烯去油工序将经(3)处理的初始零件毛坯用1级工业三氯乙烯，质量为0. 7KG对其去油；(5)酸洗工序将经(4)处理过的初始毛坯，先用蒸馏水清洗5分钟，再用0.9L丙酮，0.06M绡棉， 0. 5KG硝酸，0. 3KG硫酸，0. 04KG工业氯化钠分别进行清洗，每次清洗时间为2分钟，清洗时 用通风柜通风，最后用干燥柜干燥；
(6)钳工加工工序将经(5)处理过的零件毛坯放在钳工台的固定整平夹具上固定好，用P = 250Kg/ cm2的液压机固定整平夹具上的毛坯；(7)氢气退火工序将经(6)处理过的毛坯与整平夹具一起放入氢炉中退火；氢气3. 4立方米退火时 间为5分钟，19. 0立方米氢气退火时间为3分钟；(8)钳加工工序将(7)处理后的毛坯与整平夹具一起放在钳工工具台，取下毛坯，检测平面度公 差；(9)车加工工序用螺纹车床及夹具将(8)中获得的零件毛坯进行车削加工，获得需要的二次零件 毛坯加工尺寸，尺寸精度为0. Ollmm,磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2. OL用于车床车 削时的冷却剂；(10)钳工工序将经(9)处理过的零件毛坯安放固定到钳工工作台钻孔模具上，根据需求选择钻 头；钻定位孔，孔径的尺寸精度为0. 01mm，用赛规检测；将定位销插入定位孔中；钻电子注 通道孔，孔径的尺寸精度为0. 02mm，用赛规检测孔径，用花样模板在投影仪上从两侧检测孔 的位置分布及其直径；再按照需求钻工艺孔，孔径的尺寸精度为0. 1mm，用塞规检测孔径； 将零件毛坯从磨具上取下，用铰刀清除所有孔内毛刺，再用金刚石膏剂从两侧擦拭零件毛 坯，不可破坏厚度；再次用塞规检测孔，如毛刺未清除干净，再次清除孔内毛刺，再将零件毛 坯放大8倍检测是否有毛刺；(11)车加工工序用螺纹车床及夹具将(10)中获得的零件毛坯表面进行车削加工，获得需要的三 次零件毛坯尺寸，尺寸精度为0. 22mm,再次磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2. OL用于 车削时的冷却剂；(12)钳工工序用钳工工作台对(11)步骤处理的零件毛坯去除毛刺；(13)三氯乙烯去油工序用工业1级三氯乙烯0. 44KG对(12)中处理后的零件毛坯进行去油，用通风柜进 行通风；(14)化学去油工序先对(13)中处理后的零件毛坯进行超声清洗5分钟，再0. 08KG草酸钠，0. 08KG 二 水酒石酸钠，0. 17KG丙酮，0. 02KG OP乳化剂分别对其进行酸洗，每次清洗时间为1分钟；(15)亮化抛光处理工序将经(14)中处理的零件毛坯用0. IKG盐酸及0. 15KG丙酮分别进行酸洗，每次清 洗时间为1分钟；(16)挑选工序将(15)中得到的零件毛坯在显微镜下放大12倍挑选出没有毛刺的零件；(17)检测工序
用赛规检测(16)中得到的零件孔的精度，定位孔精度为0. Olmm,电子注通道孔精 度为0. 02mm，工艺孔尺寸为0. 1mm，用花样模板检测孔的位置分布和尺寸，去掉不符合要求 的零件；(18)化学去油工序经(17)处理后的零件用蒸馏水超声清洗3分钟；用0. 08KG草酸钠，0. 08KG 二水 酒石酸钠，0. 02KG OP乳化剂分别对零件进行去油，每次酸洗时间为2分钟；(19)酸洗工序将经(18)处理后的零件用蒸馏水清洗3分钟；再用0. IKG硝酸，0. 15KG硫酸， 0. 2KG丙酮分别对零件进行酸洗，每次酸洗时间为2分钟；(20)氢气退火工序将经(19)处理后的零件放置于氢气炉中退火处理，使用3. 4立方米氢气，退火时 间3分钟；使用19. 0立方米氢气，退火时间5分钟；(21)镀铼工序将经(20)处理后的零件，使用0. OlKG铼酸钾，0. OlKG硫酸铵及1级工业丙酮用 0. 2KG用镀铼设备对其镀铼；(22)氢气退火烧结工序将经(21)处理后的零件放入氢气炉3. 4立方米氢气烧结5分钟；19. 0立方米氢 气烧结3分钟；(23)检测工序对经(22)步骤处理的零件检测镀层质量，剔除不合格品，得到合格的栅极。实施例3所述的这种多注行波管栅极的制造工艺，包括以下工序钳工备料工序一三氯乙 烯去油工序一车加工工序一三氯乙烯去油工序一酸洗工序一钳加工工序一氢气退火工序 —钳加工工序一车加工工序一钳加工工序一车加工工序一钳加工工序一三氯乙烯去油工 序一化学去油工序一亮化抛光处理工序一挑选工序一检测工序一化学去油工序一酸洗工 序一氢气退火工序一镀铼工序一氢气退火烧结工序一检测工序；具体的工艺流程为(1)钳工备料工序在钳工工作台上用剪板刀切割毛坯，选取需要的零件毛坯尺寸及零件毛坯数目；(2)三氯乙烯去油工序将(1)中所得的零件毛坯用1级工业三氯乙烯，质量为0. 7KG对其去油；(3)车加工工序用螺纹车床及夹具将(2)中获得的毛坯进行车削加工，获得需要的初始零件毛坯 尺寸，尺寸精度为0. 2mm，磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2. OL用于车床车削时的冷却 剂；(4)三氯乙烯去油工序将经(3)处理的初始零件毛坯用1级工业三氯乙烯，质量为0. 7KG对其去油；(5)酸洗工序将经(4)处理过的初始毛坯，先用蒸馏水清洗4分钟，再用0.9L丙酮，0.06M绡棉， 0. 5KG硝酸，0. 3KG硫酸，0. 04KG工业氯化钠分别进行清洗，每次清洗时间为2分钟，清洗时用通风柜通风，最后用干燥柜干燥；(6)钳工加工工序将经(5)处理过的零件毛坯放在钳工台的固定整平夹具上固定好，用P = 300Kg/ cm2的液压机固定整平夹具上的毛坯；(7)氢气退火工序将经(6)处理过的毛坯与整平夹具一起放入氢炉中退火；氢气3. 4立方米退火时 间为4分钟，19. 0立方米氢气退火时间为4分钟；(8)钳加工工序将(7)处理后的毛坯与整平夹具一起放在钳工工具台，取下毛坯，检测平面度公 差；(9)车加工工序用螺纹车床及夹具将(8)中获得的零件毛坯进行车削加工，获得需要的二次零件 毛坯加工尺寸，尺寸精度为0. Ollmm,磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2. OL用于车床车 削时的冷却剂；(10)钳工工序将经(9)处理过的零件毛坯安放固定到钳工工作台钻孔模具上，根据需求选择钻 头；钻定位孔，孔径的尺寸精度为0. 01mm，用赛规检测；将定位销插入定位孔中；钻电子注 通道孔，孔径的尺寸精度为0. 02mm，用赛规检测孔径，用花样模板在投影仪上从两侧检测孔 的位置分布及其直径；再按照需求钻工艺孔，孔径的尺寸精度为0. 1mm，用塞规检测孔径； 将零件毛坯从磨具上取下，用铰刀清除所有孔内毛刺，再用金刚石膏剂从两侧擦拭零件毛 坯，不可破坏厚度；再次用塞规检测孔，如毛刺未清除干净，再次清除孔内毛刺，再将零件毛 坯放大8倍检测是否有毛刺；(11)车加工工序用螺纹车床及夹具将(10)中获得的零件毛坯表面进行车削加工，获得需要的三 次零件毛坯尺寸，尺寸精度为0. 22mm,再次磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2. OL用于 车削时的冷却剂；(12)钳工工序用钳工工作台(11)步骤处理的零件毛坯去除毛刺；(13)三氯乙烯去油工序用1级工业三氯乙烯0. 44KG对(12)中处理后的零件毛坯进行去油，用通风柜进 行通风；(14)化学去油工序先对(13)中处理后的零件毛坯进行超声清洗4分钟，再0. 08KG草酸钠，0. 08KG 二 水酒石酸钠，0. 17KG丙酮，0. 02KG0P乳化剂分别对其进行酸洗，每次清洗时间为1. 5分钟；(15)亮化抛光处理工序将经(14)中处理的零件毛坯用0. IKG盐酸及0. 15KG丙酮分别进行酸洗，每次清 洗时间为1.5分钟；(16)挑选工序将(15)中得到的零件毛坯在显微镜下放大12倍挑选出没有毛刺的零件；
(17)检测工序用赛规检测(16)中得到的零件孔的精度，定位孔精度为0. Olmm,电子注通道孔精 度为0. 02mm，工艺孔尺寸为0. 1mm，用花样模板检测孔的位置分布和尺寸，去掉不符合要求 的零件；(18)化学去油工序经(17)处理后的零件用蒸馏水超声清洗4分钟；用0. 08KG草酸钠，0. 08KG 二水 酒石酸钠，0. 02KG OP乳化剂分别对零件进行去油，每次酸洗时间为1. 5分钟；(19)酸洗工序将经(18)处理后的零件用蒸馏水清洗4分钟；再用0. IKG硝酸，0. 15KG硫酸， 0. 2KG丙酮分别对零件进行酸洗，每次酸洗时间为1. 5分钟；(20)氢气退火工序将经(19)处理后的零件放置于氢气炉中退火处理，使用3. 4立方米氢气，退火时 间4分钟；使用19. 0立方米氢气，退火时间4分钟；(21)镀铼工序将经(20)处理后的零件，使用0. OlKG铼酸钾，0. OlKG硫酸铵及1级工业丙酮 0. 2KG用镀铼设备对其镀铼；(22)氢气退火烧结工序将经(21)处理后的零件放入氢气炉3. 4立方米氢气烧结4分钟；19. 0立方米氢 气烧结4分钟；(23)检测工序对经(22)步骤处理的零件检测镀层质量，剔除不合格品，得到合格的栅极。以上实施例1至实施例3中，所述工序(5)中丙酮、硝酸及硫酸浓度级别为分析 纯，所述工序(7)、(20)及(22)中，3.4立方米氢气的清洁度为1/2，19.0立方米氢气的清 洁度为3/2，所述工序(14)中，草酸钠及二水酒石酸钠的浓度级别为纯，丙酮的浓度级别为 分析纯，OP乳化剂为A级；所述工序(15)中，盐酸的浓度级别为化学纯，丙酮的浓度级别为 分析纯；所述工序(18)中，草酸钠的浓度级别为分析纯，二水酒石酸钠的浓度级别为纯，OP 乳化剂为A级；所述工序(19)中，硝酸及硫酸的浓度级别为化学纯，丙酮的浓度级别为分析 纯；所述工序(21)中铼酸钾及硫酸铵的浓度级别为纯；所述工序(12)中使用的钳工工作 台型号为ΠΜ 3-48;所述工序(21)中使用的镀铼设备型号为M3. 021. 000。由以上实施例得到的栅极的平面度公差为0. 02mm,电子注通道孔的位置度公差为 R0. 01mm，定位孔的对称度误差为T/20. 01mm。上面对本发明进行了示例性描述，显然本发明具体实现并不受上述方式的限制， 只要采用了本发明的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本发 明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本发明的保护范围之内。
权利要求
一种多注行波管栅极的制造工艺，其特征在于包括以下工序钳工备料工序→三氯乙烯去油工序→车加工工序→三氯乙烯去油工序→酸洗工序→钳加工工序→氢气退火工序→钳加工工序→车加工工序→钳加工工序→车加工工序→钳加工工序→三氯乙烯去油工序→化学去油工序→亮化抛光处理工序→挑选工序→检测工序→化学去油工序→酸洗工序→氢气退火工序→镀铼工序→氢气退火烧结工序→检测工序；具体为(1)钳工备料工序在钳工工作台上用剪板刀切割毛坯，选取需要的零件毛坯尺寸及零件毛坯数目；(2)三氯乙烯去油工序将(1)中所得的零件毛坯用1级工业三氯乙烯，质量为0.7KG对其去油；(3)车加工工序用螺纹车床及夹具将(2)中获得的毛坯进行车削加工，获得需要的初始零件毛坯尺寸，磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2.0L用于车床车削时的冷却剂；(4)三氯乙烯去油工序将经(3)处理的初始零件毛坯用1级工业三氯乙烯，质量为0.7KG去油；(5)酸洗工序将经(4)处理过的初始毛坯，先用蒸馏水清洗3～5分钟，再用0.9L丙酮，0.06M绡棉，0.5KG硝酸，0.3KG硫酸，0.04KG工业氯化钠分别进行清洗，每次清洗时间为1～3分钟，清洗时用通风柜通风，最后用干燥柜干燥；(6)钳工加工工序将经(5)处理过的零件毛坯放在钳工台的固定整平夹具上固定好，用P＝300±50Kg/cm2的液压机固定整平夹具上的毛坯；(7)氢气退火工序将经(6)处理过的毛坯与整平夹具一起放入氢炉中退火；氢气为体积3.4立方米，时间为3～5分钟；氢气体积为19.0立方米时间为3～5分钟；(8)钳加工工序将(7)处理后的毛坯与整平夹具一起放在钳工工具台，取下毛坯，检测平面度公差；(9)车加工工序用螺纹车床及夹具将(8)中获得的零件毛坯进行车削加工，获得需要的二次零件毛坯加工尺寸，磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2.0L用于车床车削时的冷却剂；(10)钳工工序将经(9)处理过的零件毛坯安放固定到钳工工作台钻孔模具上，根据需求选择钻头；钻定位孔，用赛规检测；将定位销插入定位孔中；钻电子注通道孔，用赛规检测孔径，用花样模板在投影仪上从两侧检测孔的位置分布及其直径；再按照需求钻工艺孔，用塞规检测孔径；将零件毛坯从磨具上取下，用铰刀清除所有孔内毛刺，再用金刚石膏剂从两侧擦拭零件毛坯，不可破坏厚度；再次用塞规检测孔，如毛刺未清除干净，再次清除孔内毛刺，再将零件毛坯放大8倍检测是否有毛刺；(11)车加工工序用螺纹车床及夹具将(10)中获得的零件毛坯表面进行车削加工，获得需要的三次零件毛坯尺寸，再次磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2.0L用于车削时的冷却剂；(12)钳工工序用钳工工作台对(11)步骤处理的零件毛坯去除毛刺；(13)三氯乙烯去油工序用1级工业三氯乙烯0.44KG对(12)中处理后的零件毛坯进行去油，用通风柜进行通风；(14)化学去油工序先对(13)中处理后的零件毛坯进行超声清洗3～5分钟，再用0.08KG草酸钠，0.08KG二水酒石酸钠，0.17KG丙酮，0.02KGOP乳化剂分别对其进行酸洗，每次清洗时间为1～2分钟；(15)亮化抛光处理工序将经(14)中处理的零件毛坯用0.1KG盐酸及0.15KG丙酮分别进行酸洗，每次清洗时间为1～2分钟；(16)挑选工序将(15)中得到的零件毛坯在显微镜下放大12倍挑选出没有毛刺的零件；(17)检测工序用赛规检测(16)中得到的零件孔的精度，用花样模板检测孔的位置分布和尺寸，去掉不符合要求的零件；(18)化学去油工序经(17)处理后的零件用蒸馏水超声清洗3～5分钟；用0.08KG草酸钠，0.08KG二水酒石酸钠，0.02KG OP乳化剂分别对零件进行去油，每次酸洗时间为1～2分钟；(19)酸洗工序将经(18)处理后的零件用蒸馏水清洗3～5分钟；再用0.1KG硝酸，0.15KG硫酸，0.2KG丙酮分别对零件进行酸洗，每次酸洗时间为1～2分钟；(20)氢气退火工序将经(19)处理后的零件放置于氢气炉中退火处理，使用3.4立方米氢气，退火时间3～5分钟；使用19.0立方米氢气，退火时间3～5分钟；(21)镀铼工序将经(20)处理后的零件，使用0.01KG铼酸钾，0.01KG硫酸铵及1级工业丙酮0.2KG用镀铼设备对其镀铼；(22)氢气退火烧结工序将经(21)处理后的零件放入氢气炉3.4立方米氢气烧结3～5分钟；19.0立方米氢气烧结3～5分钟；(23)检测工序对经(22)步骤处理的零件检测镀层质量，剔除不合格品，得到合格的栅极。
2.按照权利要求1所述的多注行波管栅极的制造工艺，其特征在于所述工序(3)中 车削加工，获得需要的初始零件毛坯尺寸精度为0.2mm，所述工序(9)中车削加工，获得需 要的二次零件毛坯尺寸精度为0.011mm;所述工序(10)中，定位孔径的尺寸精度为0. 01mm， 电子注通道孔径的尺寸精度为0. 02mm，工艺孔径的尺寸精度为0. Imm ；所述工序(11)中车 削加工，获得需要的三次零件毛坯尺寸精度为0. 22mm。
3.按照权利要求1或2所述的多注行波管栅极的制造工艺，其特征在于述工序(5) 中丙酮、硝酸及硫酸浓度级别为分析纯；所述工序(7)、(20)及(22)中，3. 4立方米氢气的 清洁度为1/2，19.0立方米氢气的清洁度为3/2 ；所述工序(14)中，草酸钠及二水酒石酸钠 的浓度级别为纯，丙酮的浓度级别为分析纯，OP乳化剂为A级；所述工序(15)中，盐酸的浓 度级别为化学纯，丙酮的浓度级别为分析纯；所述工序(18)中，草酸钠的浓度级别为分析 纯，二水酒石酸钠的浓度级别为纯，OP乳化剂为A级；所述工序(19)中，硝酸及硫酸的浓度 级别为化学纯，丙酮的浓度级别为分析纯；所述工序(21)中铼酸钾及硫酸铵的浓度级别为 纯；所述工序(12)中使用的钳工工作台型号为ΠΜ 3-48 ；所述工序(21)中使用的镀铼设 备型号为M 3. 021. 000。
全文摘要
本发明公开了一种多注行波管栅极的制作工艺，包括钳工备料工序→三氯乙烯去油工序→车加工工序→三氯乙烯去油工序→酸洗工序→钳加工工序→氢气退火工序→钳加工工序→车加工工序→钳加工工序→车加工工序→钳加工工序→三氯乙烯去油工序→化学去油工序→亮化抛光处理工序→挑选工序→检测工序→化学去油工序→酸洗工序→氢气退火工序→镀铼工序→氢气退火烧结工序→检测工序；本发明工艺流程看似复杂，实则非常简单，其通过常规车加工工艺、钳工工艺、酸洗工艺、去油工艺及零部件尺寸及精度检测工艺，制备多注行波管栅极，其在常温常压下即可完成栅极的制备。本发明适用的工艺简单，制作成本低廉，并能够保证制备的栅极的工艺精度。
文档编号B23P15/00GK101985202SQ20101052800
公开日2011年3月16日 申请日期2010年11月1日 优先权日2010年11月1日
发明者吴华夏, 张迎红, 江祝苗, 郑伟 申请人:安徽华东光电技术研究所