线放电加工机的制作方法

本发明涉及一种线放电加工机，特别涉及一种具有将工件浸泡在加工液中的状态下的接触探针的测定功能。

背景技术：

在线放电加工机中，重要的是在加工被加工物(以下称为“工件”)后，正确测定形状尺寸，判定是否正确地进行了加工。一般来说，在工件的尺寸测定中，在加工后从机械取出工件，通过专用的测定机例如CMM(三维测定机)或测定显微镜来进行形状尺寸的测定。

但是，当在测定后发现了尺寸误差时，需要进行用于修正的再加工。因此，需要将一度取出的工件重新正确地固定在线放电加工机中，得到基准的开始位置。该作业需要大量的工时，并需要熟练度。如果在取出的工件的再加工用定位中产生误差，则无法通过再加工正确进行尺寸的修正。

因此，提出了一种在线放电加工机的主体或上导向部上安装接触式测定器(以下称为“接触探针”)，不需要取出工件而紧接加工之后进行测定的方法(日本特开昭60-85829号公报)。

图18是表示现有的加工程序的流程图，图19是表示现有的测定程序的流程图。

[步骤sh01]读取上导向器位置。

[步骤sh02]直到没过上导向器位置为止在加工槽中贮存加工液。

[步骤sh03]检测水位并判断加工液贮存是否完成，在完成时(是)移动到步骤sh04，在没有完成时(否)返回到步骤sh02。

[步骤sh04]开始工件的加工。

[步骤sh05]确认加工程序是否结束，在结束时(是)移动到步骤sh06，在没有结束时(否)等待加工程序结束。

[步骤sh06]执行从加工槽排水的处理，并移动到步骤sh07。

[步骤sh07]判断测定程序是否与加工程序联动(是否在加工程序结束后执行测定程序)，在联动时开始测定程序，在测定程序不联动时结束程序。

[步骤si01]判断从加工槽的排水是否完成，在完成时(是)移动到步骤si02。

[步骤si02]读取工件厚度设定值。

[步骤si03]将上导向器移动到测定高度。

[步骤si04]使接触探针下降。

[步骤si05]开始测定。

[步骤si06]判断测定程序是否结束，在结束时移动到步骤si07，在没有结束时等到测定程序的结束。

[步骤si07]使接触探针上升，并结束处理。

另外，提出了根据工件的温度的热变化量和测定的环境温度的设定值来对形状的测定值进行修正的方法(日本特开2009-279727号公报)。但是，无论哪个方法都不是像

技术实现要素：
中记载的那样，正确求出与加工过程中为相同的环境下的工件的尺寸测定值的方法。

在线放电加工机中，为了防止加工液的飞散、防止加工中的工件上表面发生锈蚀、并降低温度变化，一般在加工液中进行加工。如在背景技术中所说明的那样，在不取出工件而进行测定时，以往在从加工槽将加工液全部排出，并除去了附着在工件上的加工液的状态下使用接触探针来进行测定。

图20说明在将加工槽内的加工液排空的状态下进行测定时发生误差的情况。在该机上测定时，当从加工槽23将加工液(水)全部排出时，在工件上表面26a或机械工作台(以下称为“工作台”)24周围附着的加工液开始蒸发，此时与加工液接触的金属材料即工件26以及工作台24的热作为汽化热被吸收，从而工件26和工作台24产生收缩。结果，在加工液中加工后的位置和形状、测定时的位置和形状由于温度变化而产生变形，从而难以通过(探针3的)检测元件3a进行正确的尺寸测定。

发明内容

因此，本发明是鉴于上述现有技术的问题点而提出的，其目的在于提供一种难以产生金属材料制成的工件以及工作台因温度变化而导致的收缩、膨胀，在加工液中加工后的位置和形状以及测定时的位置和形状的变化少，能够进行更加正确的尺寸测定的，具有将工件浸泡在加工液中的状态下使用接触探针的测定功能的线放电加工机。

本发明的线放电加工机具备：贮存加工液的加工槽；设置在该加工槽中的用于放置工件的工作台；支撑线电极的上导向器以及下导向器；以及相对于具有所述上导向器的上导向部可装卸或可移动地设置的、且在前端具有检测元件的测定器，所述线放电加工机加工浸泡在所述加工液中的工件，并且在加工结束后使用所述测定器来测定所述工件，所述线放电加工机的特征在于，具有：板厚取得单元，其取得所述工件的板厚；水位检测单元，其检测所述加工槽的加工液的水位；水位调整单元，其根据所述上导向器的位置与测定器主体之间的相对位置、所述上导向器的位置和所述板厚，来调整通过所述测定器测定工件时的加工液的水位，使其在工件的上表面高度以上且在所述测定器的主体以下。

另外，本发明的线放电加工机具备：贮存加工液的加工槽；设置在该加工槽中的用于放置工件的工作台；支撑线电极的上导向器以及下导向器；以及相对于具有所述上导向器的上导向部可装卸或可移动地设置的、且在前端具有检测元件的测定器，所述线放电加工机加工浸泡在所述加工液中的工件，并且在加工结束后使用所述测定器来测定所述工件，所述线放电加工机的特征在于，具有：取得所述工件的板厚的板厚取得单元或设定单元；水位检测单元，其检测所述加工槽的加工液的水位；水位调整单元，其调整通过所述测定器测定工件时的加工液的水位，使其在放置工件的工作台的上表面高度以上且在工件的上表面高度以下。

通过线放电加工机的发明，即使只浸泡了工件的下表面，与全部未浸泡而干燥后的状态相比精度稳定。另外，在工作台的脚部没有浸泡时，还产生工作台的热变形，所以即使在浸泡到工作台上表面的状态下，也能够以某种程度达成目的。

另外，本发明的线放电加工机具备贮存加工液的加工槽；设置在该加工槽中的用于放置工件的工作台；支撑线电极的上导向器以及下导向器；以及相对于具有所述上导向器的上导向部可装卸或可移动地设置的、且在前端具有检测元件的测定器，所述线放电加工机加工浸泡在所述加工液中的工件，并且在加工结束后使用所述测定器来测定所述工件，所述线放电加工机的特征在于，具有：水位检测单元，其检测所述加工槽的加工液的水位；水位调整单元，其对于以所述上导向器的位置、以及从所述位置开始直到位于在上导向器上安装的位置或者可升降地进行固定且下降后的位置的所述测定器的检测元件的前端为止的距离，使用所述测定器测定工件时的加工液的水位，根据位于在上导向器上安装的位置或者可升降地进行固定且下降后的位置的所述测定器的检测元件的位置，进行向加工槽供水以及从加工槽排水的操作以使水位检测单元的水位进行联动，从而来调整水位。

另外，本发明的线放电加工机具备贮存加工液的加工槽；设置在该加工槽中的用于放置工件的工作台；支撑线电极的上导向器以及下导向器；以及相对于具有所述上导向器的上导向部可装卸或可移动地设置的、且在前端具有检测元件的测定器，所述线放电加工机加工浸泡在所述加工液中的工件，并且在加工结束后使用所述测定器来测定所述工件，所述线放电加工机的特征在于，具有：水位检测单元，其检测所述加工槽的加工液的水位；水位调整单元，其求出从预先设定的上导向器位置到检测元件的前端的距离、从工作台上表面到测定器的前端的距离，对于通过所述测定器测定工件时的加工液的水位，根据所述测定器的检测元件的位置，进行向加工槽供水以及从加工槽排水的操作以使通过水位检测单元的水位进行联动，并且，调整通过所述测定器测定工件时的加工液的水位，使其在放置工件的工作台的上表面高度以上且在所述测定器的主体以下。

所述水位检测单元通过压力传感器检测加工槽槽底附近的水压、或将水压转换为空气压通过压力传感器检测该压力，根据检测到的压力来计算水位的高度。

本发明的线放电加工机具备：贮存加工液的加工槽；设置在该加工槽中的用于放置工件的工作台；支撑线电极的上导向器以及下导向器；以及相对于具有所述上导向器的上导向部可装卸或可移动地设置的、且具有照相机具有识别测定部位的图像来检测边缘部的测定功能的光学式测定器，所述线放电加工机加工浸泡在所述加工液中的工件，并且在加工结束后使用所述测定器来测定所述工件，所述线放电加工机的特征在于，具有：取得所述工件的板厚的板厚测定单元或设定单元；水位检测单元，其检测所述加工槽的加工液的水位；水位调整单元，其调整通过所述测定器测定工件时的加工液的水位，使其在放置工件的工作台的上表面高度以上且在工件的上表面高度以下。

通过本发明，能够提供一种难以产生金属材料制成的工件以及工作台因温度变化而导致的收缩、膨胀，在加工液中加工后的位置和形状以及测定时的位置和形状的变化少，能够进行更加正确的尺寸测定的，具有将工件浸泡在加工液中的状态下使用接触探针的测定功能的线放电加工机。

附图说明

通过参照以下的附图，能够更加明确地理解本发明的上述以及其他目的及特征。在这些附图中：

图1A说明本发明的线放电加工机的概要。

图1B是说明对线放电加工机主体进行控制的控制装置的简要图。

图2说明在加工槽内贮存加工液，在工件浸入加工液中的状态下进行测定时误差的发生减少的情况。

图3是表示检测压力与水位的关系的图表。

图4是说明本发明实施方式的水位调整的流程图。

图5说明线放电加工机的工件加工时的水位的控制。

图6说明实施方式1的测定时的水位控制。

图7是表示加工时的加工程序处理的流程图。

图8是表示测定时的测定程序处理的流程图。

图9说明实施方式2的测定时的水位控制。

图10是表示测定时的测定程序处理的流程图。

图11说明实施方式3的测定时的水位控制。

图12是表示测定时的测定程序处理的流程图。

图13说明实施方式4的测定时的水位控制。

图14是表示测定时的测定程序处理的流程图。

图15说明使用在加工槽外配置的压力传感器来控制加工时的水位。

图16说明使用在加工槽外配置的压力传感器来控制测定时的水位。

图17是表示与上导向器高度位置进行联动，根据通过水压传感器等水位检测装置检测到的压力来自动调整加工槽内的加工液水位的处理的流程图。

图18是表示现有的测定流程的流程图(其一)。

图19是表示现有的测定流程的流程图(其二)。

图20说明在将加工槽内的加工液排空的状态下进行测定时发生误差的情况。

具体实施方式

以下，参照附图来说明本发明的实施方式。

图1A说明本发明的线放电加工机的概要。线放电加工机1具备线放电加工机主体40和控制线放电加工机主体40的控制装置50。缠绕线电极2的绕线管11通过送出部力矩电动机10在与线电极2的引出方向相反的方向上赋予所指定的预定的低力矩。

从绕线管11放出的线电极2经由多个导向辊(未图示)，通过由制动电动机12驱动的制动靴13，来调节制动靴13与通过线电极进给电动机(未图示)驱动的进料辊19之间的张力。张力检测器20是检测在上导向器14与下导向器15间行驶的线电极2的张力大小的检测器。另外，如图5所示的那样，上导向器14收纳在上导向部21内。

经过了制动靴13的线电极2经由上导向器14、下导向器15、下导向辊16，由夹送辊18和通过线电极进给电动机(未图示)驱动的进料辊19夹住，回收到线电极回收箱17中。

上导向部21安装了保持接触探针3的保持部22。保持部22具有接触探针3的进退功能。换而言之，将接触探针3经由具有进退功能的保持部22来安装到上导向部21上。接触探针3具备前端形成为球状的检测元件3a。接触探针3是通过进退功能与线电极2的行驶方向平行地可上下移动地安装的，当检测元件3a的前端接触到测定对象物(工件)时输出检测到接触的信号的传感器。在测定时以外，接触探针3提升到后退位置。

图1B是说明控制线放电加工机主体40的控制装置50的简要图。在使用接触探针3来测定工件26的测定部位时，能够为了将接触探针3的检测元件3a的前端定位到预定的位置而使接触探针3下降。另外，上导向器14也可以具备U轴驱动机构以及V轴驱动机构(未图示)，由此能够调整其XYZ轴位置。通过具备该机构能够进行工件(切削工具)的锥度加工。

线放电加工机主体40通过图1A所示的控制装置50来进行控制，进行工件的加工。控制装置50是处理器(CPU)51、RAM/ROM等存储器52、显示用接口53、显示装置54、键盘接口55、键盘56、伺服接口57、伺服放大器58、进行与外部设备之间的信号收发的输入输出接口60。并且，上述各要素经由总线61相互连接。

伺服电动机62通过伺服放大器58来进行驱动。伺服电动机62意味着与X轴、Y轴、Z轴这样的各驱动轴相对应的伺服电动机，并意味着与所需要的驱动轴相对应的数量的伺服电动机。在各轴所具备的伺服电动机62中具备检测位置的未图示的位置检测装置。把伺服电动机62中安装的各位置检测装置检测到的位置检测信号反馈给控制装置50。在本发明的实施方式中，可使探针3进退的保持部22的驱动部也通过伺服电动机62进行驱动。

经由接口59控制包含加工用电源的线放电加工机主体40。在开始了加工程序时，经由接口59进行加工电源接通的指令。在切断加工电源时也经由接口59来向线放电加工机主体40进行指令。输入输出设备63经由输入输出接口60来收发输入输出信号。

在线放电加工机1中，关于加工过程中的加工液的高度(水位)，通常通过在上导向部21上安装的水位检测装置(浮标开关)(未图示)，来检测加工槽23内的水面的高度(加工液4的液面高度)，并与上导向器14的高度联动来进行自动调整。该高度通常是加工液4不会飞散，能够吸收上导向部21的电流供给部分(即电极棒)的发热的高度，一般以从工件上表面50～100mm的高度进行调整。

接触探针3所具备的检测元件3a如图6所示，在测定时在工件上表面的下侧且在工件下表面的上侧，以从工件上表面26a下降10mm左右的位置到工件厚度的大致中央之间的高度来检测加工面，因此检测元件3a位于上导向部21的紧贴工件26的喷嘴下表面的下侧。

然后，为了防止在加工过程中接触探针3的检测元件3a干扰工件，在加工过程中通过升降装置(具有探针3的进退功能的保持部22)使接触探针3向上方后退，在测定时使其下降，使检测元件3a位于上导向部21的下方。或者，通过装卸式固定装置将接触探针3拆卸。此时，在加工过程中的水位控制下，如果将水位上升到淹没上导向部21的高度，则也会淹没接触探针3的主体，因此有可能会造成高价的测定用检测发生故障。

因此，使用以下的机构：作为检测水位高度的方法，取代浮标开关，使用检测加工液4的水压的水压传感器来测定水位，并在数值控制装置中通过电动机以及位置检测器读取上导向部21的高度，与上导向器14(上导向部21)的高度联动地调整水位。水压传感器25测定加工槽23的底部附近的水压。本发明的一个实施方式是在通过接触探针3测定工件形状的情况下，将水位控制为上导向部21的淹没位置减去到接触探针3的检测元件3a的前端为止的距离而得到的高度位置。

在加工时，在上导向部21接近工件上表面的状态下，为了防止加工液4的飞散和上导向部21的供电元件的冷却，与上导向器14的高度位置联动地，通过检测压力的水位传感器25等水位检测装置自动调整上导向部21能够充分浸泡在加工液4中的水位，此时，通过保持部22将接触探针3定位到上升位置，从而避免对工件26的干扰，并且避免被淹没。或者将接触探针3拆卸。

在测定时使上导向部21上升，将接触探针3定位到下降位置，或者安装在上导向部21上。图2说明在加工槽23内贮存加工液4，在工件26浸入加工液4中的状态下进行测定时误差发生减少的情况。在测定时，贮存通过与加工时相同的加工液温度控制的加工液4，来降低工件26、机械工作台的温度变化。控制加工液4的水位的机构(水位传感器25、未图示的阀开闭开关、泵等)沿用在加工时使用的装置。

在水位传感器25中使用通过压力传感器检测加工槽底部附近的水压，并具有根据水压来计算水位的运算装置的水位传感器。如果是该水位传感器25，则与固定在上导向部的用于水位检测的浮标开关不同，即便使上导向器14上升浮标开关离开水面，也能够将水位调整到使接触探针3下降时的接触探针高度。通过进行控制来维持没有淹没接触探针主体并且浸泡工件上表面26a的水位，能够保持最佳的水位。

图3是表示检测压力与水位(加工液4的液面高度)的关系的图表。能够基于来自水位传感器25的检测压力Pa，进行加工槽23内的水位的控制。

图4是说明本发明的实施方式的加工槽内的水位调整的流程。以下，按照步骤来进行说明。

[步骤sa01]读取上导向器的位置。

[步骤sa02]读取水位传感器的压力。

[步骤sa03]判断测定时位置的压力是超过适当范围、还是低于适当范围、还是在适当范围内，在超过适当范围时移动到步骤sa04，在低于适当范围时移动到步骤sa05，在为适当范围时结束水位调整的处理。

[步骤sa04]进行排水，返回到步骤sa02。

[步骤sa05]进行供水，返回到步骤sa02。

<实施方式1>

(加工时)

图5说明线放电加工机加工工件26时的水位的控制的原理。

在上导向部21接近工件上表面26a的状态下，为了防止加工液4的飞散和对上导向部21在供电时产生的热进行冷却(供电元件的冷却)，与加工时上导向器高度位置L1联动地自动调整上导向部21能够充分浸入加工液4中的水位(通过水压传感器25测定的加工时加工液水位L3)。为了避免接触探针3的主体针对工件26的干扰，并且为了避免接触探针3的主体被淹没，通过保持部22的驱动使接触探针3向探针上升方向30的方向移动，定位在相对于上导向部21上升位置。或者，从线放电加工机1拆卸接触探针3。

(测定时)

图6说明在实施方式1的测定时的水位的控制。使上导向部21上升(符号31)，并将接触探针3定位到下降位置(符号32)。通过水压传感器25等水位检测装置、未图示的加工液供给装置以及排水装置，根据工件26的工件上表面26a浸泡在加工液4中，并且接触探针3的主体没有被淹没的位置，即放置工件26的工作台24的事先设定的工作台上表面高度位置L2的信息、工件厚度L5的信息、以及数值控制装置的上导向器位置信息，来自动调整加工液水位，从而使其在工件的上表面高度以上且在接触探针3的主体位置以下。

式1

工作台上表面高度L2+工件厚度L5≤测定时加工液水位L3’≤工作台上表面高度L2+测定时上导向器高度L1’－测定时测定器主体位置L4’

此外，(测定时上导向器高度L1’－测定时测定器主体位置L4’)与权利要求中记载的“上导向器与测定器主体之间的相对位置”对应。测定时测定器主体位置L4’与将测定时上导向器高度作为基准直到探针3的壳体最下部为止的距离对应。

由此，在测定中，防止用于放置工件26的线膨胀系数大的不锈钢制的工作台24、支撑工件26的追加的辅助工作台的热位移，并且防止工件整体由于温度变化导致的热位移，由此能够在加工后的位置和测定时的位置减少由于温度变化导致的位移，因此与排出加工液4来进行测定相比，能够进行准确性远远好于前者的尺寸测定。难以产生金属材料的工件以及工作台由于温度变化造成的收缩、膨胀。在加工液4中加工后的位置和形状尺寸以及测定时的位置和形状尺寸的变化小，因此能够进行更准确的尺寸测定。

图7、图8是说明本发明的实施方式1的处理的流程图。图7是表示基于加工程序的工件加工处理的流程图。以下，按照各步骤来进行说明。

[步骤sb01]读取上导向器位置。

[步骤sb02]进行加工液贮存直到没过上导向器位置为止。

[步骤sb03]判断水位检测加工液贮存是否完成，在完成时移动到步骤sb04。

[步骤sb04]开始加工。

[步骤sb05]判断加工程序是否结束，在结束时移动到步骤sb06。在没有结束时等待结束。

[步骤sb06]判断测定程序是否联动，在不联动时移动到步骤sb07，在联动时开始测定程序。

[步骤sb07]执行从加工槽排水处理，并结束处理。

图8是表示实施方式1的测定程序的处理的流程图。

[步骤sc01]读取设定的工件厚度设定值。

[步骤sc02]将上导向器移动到测定高度。

[步骤sc03]将水位调整到浸泡工件上表面。

[步骤sc04]判断基于水位检测的调整是否完成，如果完成则移动到步骤sc05，如果没有完成返回到步骤sc03。

[步骤sc05]使接触探针下降。

[步骤sc06]开始测定。

[步骤sc07]判断测定程序是否结束，并在结束时移动到步骤sc08，在没有结束时等待测定程序的结束。

[步骤sc08]将接触探针上升，并进行排水，结束处理。

补充说明流程图。步骤sc01与权利要求中的板材厚度取得单元对应。步骤sc03与水位调整单元对应。

<实施方式2>

(加工时)

因为与实施方式1的说明相同，所以省略记载。

(测定时)

图9说明实施方式2的测定时的水位控制。在测定时，使上导向部21上升(符号31)，将接触探针3定位到下降位置(符号32)、或者安装到上导向部21。然后，通过水压传感器25等水位检测装置和加工液供给装置以及排水装置，根据事先设定的放置工件26的工作台上表面的工作台上表面高度位置L2的信息以及工件厚度L5的信息，以在工作台上表面高度L2以上且在工件的上表面高度(工作台上表面高度L2+工件厚度L5)以下的方式，将加工液面水位自动调整为工件26的工件下表面浸泡，并且工作台24或未图示的在工件与工作台之间安装的工件安装夹具完全浸泡的位置。

式2

工作台上表面高度L2≤测定时加工液水位L3’≤工作台上表面高度L2+工件厚度L5

由此，还在测定中，至少防止线膨胀系数大的不锈钢制的工作台、支撑工件的追加的辅助工作台的热位移，并且防止工件下表面由于汽化热导致的温度降低，由此能够减小整个工件的温度变化，并能够减小加工后的位置和测定时的位置由于温度变化导致的位移，因此与完全排出加工液4来进行测定相比，能够进行准确性远远好于前者的尺寸测定。

图10是说明本发明的实施方式2的测定程序处理的流程图。以下，按照各步骤来进行说明。

[步骤sd01]读取设定的工件厚度设定值。

[步骤sd02]将上导向器移动到测定高度。

[步骤sd03]将水位调整到浸泡工作台上表面的高度。

[步骤sd04]判断基于水位检测的调整是否完成，在完成时移动到步骤sd05，在没有完成时返回到步骤sd03。

[步骤sd05]使接触探针下降。

[步骤sd06]开始测定。

[步骤sd07]判断测定程序是否结束，在结束时移动到步骤sd08，在没有结束时等待测定程序的结束。

[步骤sd08]使接触探针上升，并进行排水，然后结束处理。

补充说明流程图。步骤sd01与权利要求的板材厚度取得单元或设定单元对应。步骤sd03与水位调整单元对应。

作为实施方式2的其他方式，也可以使用具有以光学方式识别测定部位的图像来检测工件的边缘部的测定功能的测定器，来取代接触探针3。

<实施方式3>

(加工时)

因为与实施方式1的说明相同，所以省略记载。

(测定时)

图11说明实施方式3的测定时的水位控制。

在测定时，使上导向部21上升(符号31)，将接触探针3定位到下降位置(符号32)、或者安装到上导向部21。然后，通过水压传感器25等水位检测装置和未图示的加工液供给装置以及排水装置，根据事先设定的测定时上导向器高度L1’和到接触探针3的前端的检测元件3a为止的距离(测定时检测元件位置L6’)，与接触探针3的前端的检测元件3a的高度位置联动地自动调整加工液面水位，从而使其成为检测元件3a的高度附近。

式3

测定时加工液水位L3’＝工作台上表面高度L2+测定时上导向器高度L1’－测定时检测元件位置L6’

由此，还在测定中，至少防止线膨胀系数大的不锈钢制的工作台24、支撑工件26的追加的辅助工作台的热位移，并且防止工件26由于汽化热导致的温度降低，由此能够减小整个工件26的温度变化，并能够减小加工后的位置和测定时的位置由于温度变化导致的位移，因此与排出加工液4来进行测定相比，能够进行准确性远远好于前者的尺寸测定。

图12是说明本发明的实施方式3的测定程序处理的流程图。以下，按照各步骤来进行说明。

[步骤se01]读取检测元件距离(测定时检测元件位置L6’)的设定值。

[步骤se02]将上导向器移动到测定高度。

[步骤se03]从上导向器位置到检测元件的距离调节水位。

[步骤se04]判断基于水位检测的调整是否完成，在完成时移动到步骤se05，在没有完成时返回步骤se03。

[步骤se05]使接触探针下降。

[步骤se06]开始测定。

[步骤se07]判断测定程序是否结束，在结束时移动到步骤se08，在没有结束时等待测定程序的结束。

[步骤se08]将接触探针上升，并进行排水，然后结束处理。

<实施方式4>

(加工时)

因为与实施方式1的说明相同，所以省略记载。

(测定时)

图13说明实施方式4的测定时的水位控制。

在测定时，使上导向部21(符号31)上升，将接触探针3定位到下降位置(符号32)、或者安装到上导向部21。然后，通过水压传感器25等水位检测装置和未图示的加工液供给装置以及排水装置，根据事先设定的测定时上导向器高度L1’和到接触探针3的前端的检测元件3a为止的距离(测定时检测元件位置L6’)，与接触探针3的前端的检测元件3a的高度位置联动地自动调整测定时加工液面水位，使其成为从检测元件3a的高度到接触探针3的主体(主体的最下部)之间。通过L4’来表示测定时主体位置。

式4

工作台上表面高度L2+测定时上导向器高度L1’－测定时检测元件位置L6’≤测定时加工液水位L3’≤工作台上表面高度L2+测定时上导向器高度L1’－测定时测定器主体位置L4’

由此，还在测定中，至少防止线膨胀系数大的不锈钢制的工作台24、支撑工件26的追加的辅助工作台的热位移，并且防止工件26由于汽化热导致的温度降低，由此能够减小整个工件26的温度变化，并能够减小加工后的位置和测定时的位置由于温度变化导致的位移，因此与排出加工液4来进行测定相比，能够进行准确性远远好于前者的尺寸测定。

图14是说明本发明的实施方式4的测定程序处理的流程图。以下，按照各步骤来进行说明。

[步骤sf01]读取检测元件距离的设定值。

[步骤sf02]将上导向器移动到测定高度。

[步骤sf03]在上导向器位置到降低了检测元件距离的位置为止调节水位。

[步骤sf04]判断基于水位检测的调整是否完成，在完成时移动到步骤sf05，在没有完成时返回步骤sf03。

[步骤sf05]使接触探针下降。

[步骤sf06]开始测定。

[步骤sf07]判断测定程序是否结束，在结束时移动到步骤sf08，在没有结束时等待测定程序的结束。

[步骤sf08]使接触探针上升，并进行排水，然后结束处理。

接着，说明测定加工槽内的加工液4的水位的其他例子。图15说明加工时的水位控制。上述水位检测单元通过压力传感器34检测加工槽23底部附近的水压、或通过配管33将水压转换为空气压，通过压力传感器34检测该压力，根据检测到的压力来计算水位的高度。可将该水位的测定单元用于实施方式1～4。图16说明测定时的水位的控制。

图17是表示与上导向器高度位置联动地，根据通过水压传感器等水位检测装置检测到的压力来自动调整加工槽内的加工液水位的处理的流程图。能够在上述各实施方式中，能够作为测定时加工液水位的自动调整来使用。

[步骤sg01]读取上导向器位置。

[步骤sg02]读取水位传感器的压力。

[步骤sg03]判断测定时位置的压力是超过适当范围，还是低于适当范围、还是在适当范围内，在超过适当范围时移动到步骤sg04，在低于适当范围时移动到步骤sg05，在为适当范围时结束水位调整的处理。

[步骤sg04]进行排水。

[步骤sg05]进行供水。

[步骤sg06]判断上导向器位置是否发生了变化，或者压力是否发生了变化，在有变化时返回步骤sg01，在没有变化时等待发生变化。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但是本发明并不限于上述的实施方式的例子，通过添加适当的变更，能够以其他的方式来进行实施。