技术总结
本发明液体辅助激光加工方法与装置涉及激光加工技术领域，其目的是为了提供一种具有快速扫描功能的液体辅助激光加工方法，同时提供一种液体辅助激光加工装置，相对之前的水助激光加工技术，具备加工分辨率更高、扫描速度更快，可以方便进行复杂图案加工等优点。本发明一种液体辅助激光加工方法，包括如下步骤：步骤a，激光器发射激光束，所述激光束被引导到扫描系统中；步骤b，所述激光束被扫描系统改变路径并聚焦后与液体耦合；步骤c，所述激光束与液体耦合后进入喷嘴，与液体一同从喷嘴射出至待加工工件上。
技术研发人员：张文武;王斌;张天润;茹浩磊
受保护的技术使用者：中国科学院宁波材料技术与工程研究所;宁波大艾激光科技有限公司
文档号码：201710038812
技术研发日：2017.01.19
技术公布日：2017.05.31