线放电加工机的制作方法

本发明涉及一种线放电加工机。

背景技术：

以往，已知有作为放电加工之一的线放电加工。在线放电加工中，通过在具有导电性的线电极与被加工物之间发生放电现象来对被加工物进行轮廓形状的加工。

线放电加工利用线放电加工机进行。线放电加工机包括用于支承被加工物及线电极的机构部以及连续地供给伴随着放电现象而消耗的线电极的构造，并且，还包括利用数控装置控制线电极与被加工物的相对位置的构造。

线电极以规整的形态卷绕于圆筒形状的线轴，利用线放电加工机所包括的用于连续地供给线电极的构造从线轴拉出。另外，线放电加工机具有作为将线电极支承在正确的位置的构造的引导件，并且具有利用数控装置相对于线电极控制张力的机构及功能。并且，线放电加工机具有利用数控装置监视及控制在线电极与被加工物之间发生的放电的状态的功能。并且，通过向数控装置输入任意的移动指令，线放电加工机能够利用线电极对被加工物进行轮廓形状加工(参照专利文献1、2、3)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本实开平2－107429号公报

专利文献2：日本实开平5－009830号公报

专利文献3：日本实公昭58－052035号公报

技术实现要素：

发明要解决的问题

公知将因线放电加工产生的加工碎屑(以下，称作“淤渣”)以及在放电加工时被供给至线电极的放电部位(放电加工部)的加工液因放电加工发生电解而产生的气体从放电加工部高效地除去对加工速度及加工精度的改善有效果。并且，公知有这样的结构：在线放电加工机设置管嘴形状的加工液供给构造，从被加工物的上表面和下表面向放电部位供给加工液，从而进行因放电产生的热量的除去、放电部位的导电度的稳定化、产生的淤渣及气体的除去。

此外，如上述专利文献1～3中记载的那样，利用加工液供给构造的局部或者附加的抽吸机构，抽吸产生的淤渣及气体，从而试着改善加工速度及加工精度。

但是，在利用加工液供给构造的局部进行抽吸的方法中，放电加工中的加工液供给的效率降低，因此加工速度及加工精度降低。另外，在附加抽吸机构的方法中，抽吸机构固定于线放电加工机的局部。因此，抽吸机构的移动、更换比较困难，因此难以灵活地应对各种被加工物的形状、随着线放电加工的进行而变化的淤渣及气体的产生。

本发明的目的在于提供一种能够抑制加工速度及加工精度降低并且能够灵活地应对各种被加工物的形状、随着线放电加工的进行而变化的淤渣及气体的产生的线放电加工机。

用于解决问题的方案

(1)本发明的线放电加工机(例如，后述的线放电加工机1)是一种通过使线电极(例如，后述的线电极21)与被加工物(例如，后述的工件w)相对移动来对所述被加工物进行放电加工的线放电加工机，其中，该线放电加工机包括：多关节机器人(例如，后述的机器人40)；以及抽吸机构(例如，后述的抽吸机构50)，其设于所述多关节机器人的前端部(例如，后述的手腕前端部41)，用于抽吸因线放电加工产生的加工碎屑(例如，后述的淤渣s)和气体(例如，后述的气体g)。

(2)也可以是，在(1)的线放电加工机的基础上，具有同步控制部件(例如，后述的机器人控制器35)，该同步控制部件用于使所述多关节机器人与相对于所述被加工物相对移动的所述线电极的移动同步。

(3)也可以是，在(1)或(2)的线放电加工机的基础上，具有支承所述线电极的主体部(例如，后述的柱15)，所述多关节机器人支承于所述主体部。

(4)也可以是，在(1)的线放电加工机的基础上，所述线电极利用上引导部(例如，后述的上引导部23)和下引导部(例如，后述的下引导部25)支承，所述多关节机器人能够使所述抽吸机构相对于所述上引导部相对移动。

(5)也可以是，在(1)的线放电加工机的基础上，所述多关节机器人能够使所述抽吸机构沿着所述线电极移动。(6)也可以是，在(1)的线放电加工机的基础上，所述抽吸机构具有抽吸部(例如，后述的抽吸部51)，该抽吸部具有半圆环形状，并抽吸因线放电加工产生的加工碎屑和气体。(7)也可以是，在(6)的线放电加工机的基础上，所述抽吸部相对于所述线电极而言配置在与利用所述线电极对所述被加工物进行加工的加工方向相反的一侧。

(8)也可以是，在(1)的线放电加工机的基础上，所述抽吸机构配置在所述多关节机器人的前端部(例如，后述的手腕前端部41)，该线放电加工机具有连结机构(例如，后述连结机构45)，该连结机构将所述多关节机器人的前端部与所述多关节机器人的基部(例如，后述的基部42)可拆卸地连结起来。

发明的效果

采用本发明，能够提供一种能够抑制加工速度及加工精度降低并且能够灵活地应对各种被加工物的形状、随着线放电加工的进行而变化的淤渣及气体的产生的线放电加工机。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的线放电加工机1的概略主视图。

图2是表示本发明的第一实施方式的线放电加工机1的机器人40的手腕前端部41的抽吸部51位于远离线电极21的位置的状态的主视图。

图3是表示本发明的第一实施方式的线放电加工机1的机器人40的手腕前端部41的抽吸部51位于线电极21的附近的状态的主视图。

图4是表示本发明的第一实施方式的线放电加工机1的机器人40的手腕前端部41的抽吸部51的概略仰视图。

图5是表示本发明的第一实施方式的线放电加工机1的机器人40的手腕前端部41与基部42分离开的情况的概略图。

图6是表示本发明的第一实施方式的线放电加工机1的机器人40的手腕前端部41与基部42分离开的情况的连结机构45的放大图。

图7是表示使本发明的第一实施方式的线放电加工机1的机器人40的手腕前端部41的旋转卡合构件452和基部42的旋转卡合构件462旋转而以面相抵接的情况的连结机构45的主要部分放大图。

图8是表示本发明的第一实施方式的线放电加工机1的机器人40的手腕前端部41与基部42连接的情况的连结机构45的主要部分放大图。

图9是表示在本发明的第一实施方式的线放电加工机1的机器人40的手腕前端部41与基部42连接的状态下使手腕前端部41的旋转卡合构件452和基部42的旋转卡合构件462旋转了的情况的连结机构45的主要部分放大图。

图10是表示在使本发明的第一实施方式的线放电加工机1的机器人40的手腕前端部41的旋转卡合构件462和基部42的旋转卡合构件462旋转了的状态下手腕前端部41开始远离基部42的情况的连结机构45的主要部分放大图。

图11是表示本发明的第一实施方式的线放电加工机1的机器人40的手腕前端部41与基部42分开的情况的连结机构45的主要部分放大图。

图12是表示利用本发明的第一实施方式的线放电加工机1对上下方向上的厚度恒定的工件w进行放电加工的情况的主要部分剖视图。

图13是表示利用本发明的第一实施方式的线放电加工机1对上下方向上的厚度局部不同的工件w的较厚的部分进行放电加工的情况的主要部分剖视图。

图14是表示利用本发明的第一实施方式的线放电加工机1对上下方向上的厚度局部不同的工件w的较薄的部分进行放电加工的情况的主要部分剖视图。

图15是表示本发明的第二实施方式的线放电加工机1a的概略主视图。

附图标记说明

1、线放电加工机；15、柱(主体部)；23、上引导部；25、下引导部；35、机器人控制器(同步控制部件)；40、机器人(多关节机器人)；41、手腕前端部(前端部)；42、基部；45、连结机构；50、抽吸机构；51、抽吸部；g、气体；s、淤渣(加工碎屑)；w、工件(被加工物)

具体实施方式

以下，对本发明的第一实施方式进行说明。

在以下的说明中，为了便于说明，将图1的上方定义为铅垂上方，将反方向定义为下方，将它们定义为上下方向。并且，将图1的从纸面的背面朝向表面的方向定义为被加工物(工件w)的加工方向。另外，在图1及后述的图15中，为了便于说明，以线电极21为轴心使机器人40的抽吸机构50的抽吸部51的方向旋转了90°，并以这样的状态进行了图示，在实际进行放电加工时，抽吸部51被定向为后述的图12～图14所示的方向。

线放电加工机1是利用线电极21进行放电加工的数控机床，如图1所示，包括机座11、加工槽13、作为主体部的柱15、工件载置台17、线电极21、上引导部23及下引导部25、数控装置31、伺服电动机33、机器人控制器35、回收机构37、机器人40、抽吸机构50。

线电极21被从安装于柱15的上部的卷绕有线电极21的卷线筒211抽出。利用未图示的输送部力矩马达向与线电极21的抽出方向相反的方向对卷线筒211赋予规定的力矩。从卷线筒211抽出的线电极21经由未图示的利用制动马达驱动的制动件、上引导部23、下引导部25、未图示的下导辊及进给辊，被回收至未图示的线电极回收箱。

在图1所示的主视图中，线电极21由上引导部23和下引导部25支承，并在上引导部23和下引导部25之间呈一直线状伸展开，该上引导部23配置于加工槽13的上部，被柱15支承，用于向加工槽13供给加工液，该下引导部25配置于加工槽13的下部，被柱15支承，用于向加工槽13供给加工液。该呈一直线状伸展开的线电极21构成对工件w进行加工的放电加工部，并浸渍于加工液。支承线放电加工机1的线电极21的上引导部23及下引导部25的位置根据与工件w的形状、固定方法及要对工件w加工的形状相对应的程序固定或可变。

在机座11上的加工槽13设有用于载置工件w的工件载置台17。在上引导部23与下引导部25之间的放电加工区域(放电加工部)，成为放电加工对象的未图示的作为被加工物的工件w载置于工件载置台17。线电极21和工件载置台17的相对位置通过利用数控装置31和伺服电动机33控制来决定。从未图示的加工用电源对线电极21施加高频电压，对工件w进行放电加工。

机器人40由能够相对于上引导部23和线电极21相对移动的多关节机器人构成。机器人40的基部42固定于柱15的上部而被支承，机器人40的基部42能够与线电极21一体地相对于工件w相对移动。作为机器人40的前端部的手腕前端部41包括抽吸机构50。因而，机器人40能够使抽吸机构50的后述的抽吸部51相对于上引导部23相对移动，并且，能够使抽吸机构50的抽吸部51沿着线电极21移动。具体而言，机器人40能够使抽吸部51沿着线电极21在上下方向上移动，并且，机器人40能够使抽吸部51相对于上引导部23沿着加工方向、与加工方向相反的方向以及与加工方向正交的方向移动。

机器人40的姿势、动作由机器人控制器35控制。数控装置31和机器人控制器35通过有线或无线连接，数控装置31和机器人控制器35相互共享所控制的对象的信息，从而数控装置31依次识别机器人40的位置及姿势(机器人40的手腕前端部41的抽吸机构50的抽吸部51的位置及姿势)，机器人控制器35依次识别线电极21及工件载置台17的位置。并且，数控装置31根据机器人40的抽吸机构50的抽吸部51的位置和姿势来调整用于支承线电极21的上引导部23及下引导部25的位置。

对于安装于机器人40的手腕前端部41的抽吸机构50和线电极21的相对位置，在线放电加工机1的数控装置31和伺服电动机33预先将工件载置台17配置在控制上的原点(机械原点)的位置时，通过手动操作使机器人40的抽吸机构50定位在张设在上引导部23与下引导部25之间的线电极21的附近或与其接触，使数控装置31或机器人控制器35存储当前位置，从而共享。

抽吸机构50具有抽吸部51，该抽吸部51包括多个管嘴52，该管嘴52能够对从上引导部23及下引导部25供给至加工槽13的加工液因放电加工发生电解而产生的气体g及液体(加工液)或者粉末状的固体(淤渣s等)进行抽吸。在需要抽吸淤渣s及气体g的情况下，利用机器人40将抽吸机构50的抽吸部51定位在上引导部23附近。并且，为了能够在不使上引导部23移动的前提下使设于抽吸机构50的抽吸管嘴52定位在上引导部23附近，抽吸部51形成为包围上引导部23的形状，更具体而言，如图4等所示，形成为大致半圆环形状。对于抽吸部51，抽吸部51的周向上的中央的部分与机器人40的后述的前端部41连接，在放电加工时，上引导部23的下端部位于由抽吸部51的内周面包围的空间511，成为上引导部23的下端部被抽吸部51包围的位置关系，并且，线电极21位于由抽吸部51的内周面包围的空间511，成为线电极21被抽吸部51包围的位置关系。

多个管嘴52设于大致半圆形状的抽吸部51的整个下表面，如图1所示，多个管嘴52利用管构件55与回收机构37连接。回收机构37具备将由抽吸机构50的管嘴52抽吸到的淤渣s及气体g送回线放电加工机1的机构及功能。回收机构37与数控装置31通过有线或无线连接，对于回收与管构件55连接的抽吸机构50所抽吸到的淤渣s及气体g的压力及流量，通过数控装置31控制。

如上述那样，根据与工件w的形状、固定方法及要对工件w加工的形状相对应的程序，支承线放电加工机1的线电极21的上引导部23及下引导部25的位置固定或可变。与上引导部23及下引导部25的位置相应地，使机器人40的姿势变化，从而维持上引导部23及下引导部25相对于抽吸机构50的抽吸部51的相对位置。

与机器人40和位于手腕前端部41的抽吸机构50的位置、姿势相关的信息存储于数控装置31。线放电加工机1的操作者能够根据数控装置31的显示器311的显示确认机器人40和手腕前端部41的抽吸部51的与被加工的被加工构件的形状相对应的动作及动作轨迹。

机器人40具有将多关节机器人的手腕前端部41和多关节机器人的基部42可拆卸地连结起来的连结机构45。具体而言，机器人40的手腕前端部41相对于机器人40的基部42可拆卸。手腕前端部41的基部侧端部和基部42的前端侧端部分别具有：突起451、461；旋转卡合构件452、462，其为凸侧的引导件；旋转卡合构件卡合空间4532、4632，旋转卡合构件452、462能够插入该旋转卡合构件卡合空间4532、4632，并且，旋转卡合构件452、462能够在该旋转卡合构件卡合空间4532、4632旋转；突起收纳空间4531、4631，其为凹侧的引导件，并能够收纳突起451、461；释放棒454、464，其使旋转卡合构件452、462旋转；以及复位弹簧456、466，其用于向使旋转卡合构件452、462向初始位置返回的方向对释放棒454、464施力。

如图6等所示，手腕前端部41的突起451朝向基部42的方向突出，在手腕前端部41与基部42连接时，如图8所示，手腕前端部41的突起451被收纳于被卡合部的突起收纳空间4631。另外，基部42的突起461朝向手腕前端部41的方向突出，在手腕前端部41与基部42连接时，如图8所示，基部42的突起461被收纳于被卡合部的突起收纳空间4531。

手腕前端部41的旋转卡合构件452被手腕前端部41支承为能够旋转。旋转卡合构件452的沿着旋转轴线方向观察到的截面形状如图6等所示那样为半圆形状，并被收纳于在沿着相同的方向进行观察时具有相比旋转卡合构件452而言半径稍大的半圆形状的旋转卡合构件卡合空间4532。旋转卡合构件452与释放棒454的一端部连接，释放棒454被由压缩弹簧构成的复位弹簧456施力，由此，如图6所示，旋转卡合构件452以相对于旋转卡合构件卡合空间4532旋转了大致45°左右的位置关系收纳于旋转卡合构件卡合空间4532。被像这样收纳的旋转卡合构件452的状态为旋转卡合构件452的初始状态。

基部42的旋转卡合构件462被基部42支承为能够旋转。旋转卡合构件462的沿着旋转轴线方向观察到的截面形状为半圆形状，被收纳于在沿着相同的方向进行观察时具有相比旋转卡合构件462而言半径稍大的半圆形状的旋转卡合构件卡合空间4632。旋转卡合构件462与释放棒464连接，释放棒464被由压缩弹簧构成的复位弹簧466施力，由此，如图6所示，旋转卡合构件462以相对于旋转卡合构件卡合空间4632旋转了大致45°左右的位置关系收纳于旋转卡合构件卡合空间4632。被像这样收纳的旋转卡合构件462的状态为旋转卡合构件462的初始状态。

如图9所示，释放棒464、454的另一端部能够连接气压缸cy，并且，线放电加工机1的操作者能够通过手h操作。通过拉拽释放棒454、464的另一端部，从而旋转卡合构件452、462旋转，成为与旋转卡合构件卡合空间4532、4632一致的位置关系。在复位弹簧456、466的施力作用下，旋转卡合构件452、462旋转，向初始状态返回。

以下，对机器人40的手腕前端部41与机器人40的基部42之间的连结及分开的动作进行说明。

如图6所示，在机器人40的手腕前端部41与机器人40的基部42分开，旋转卡合构件452、462位于初始位置时，使机器人40的手腕前端部41与基部42相互靠近。之后，如图7所示，将手腕前端部41的突起451插入基部42的突起收纳空间4631，并且将基部42的突起461插入手腕前端部41的突起收纳空间4531。于是，手腕前端部41的旋转卡合构件452与基部42的旋转卡合构件462相互抵接，而均进行旋转，如图7所示，成为构成旋转卡合构件452、462的直径的面彼此以面相抵接的状态。

之后，进一步使机器人40的手腕前端部41与基部42相互靠近，从而如图8所示那样，手腕前端部41及基部42的旋转卡合构件452、462旋转，手腕前端部41的旋转卡合构件452的局部进入基部42的旋转卡合构件卡合空间4632而与其卡合，并且基部42的旋转卡合构件462的局部进入手腕前端部41的旋转卡合构件卡合空间4532而与其卡合。由此，机器人40的手腕前端部41与机器人40的基部42连结并固定。

接着，为了从如图8所示那样机器人40的手腕前端部41与机器人40的基部42连结的状态变为分开的状态，首先，如图9所示，使机器人40的基部42的释放棒464的另一端部经由三角形的曲柄构件k与气压缸cy连接。之后，驱动气压缸cy，对机器人40的基部42的释放棒464进行拉拽，并且由线放电加工机1的操作者的手h对机器人40的手腕前端部41的释放棒454进行拉拽。由此，成为手腕前端部41的旋转卡合构件452整体进入手腕前端部41的旋转卡合构件卡合空间4532的状态，并且，成为基部42的旋转卡合构件462整体进入基部42的旋转卡合构件卡合空间4632的状态。结果，成为能够将机器人40的手腕前端部41与机器人40的基部42分离的状态。

接着，如图10所示，将机器人40的手腕前端部41与机器人40的基部42分离，如图11所示，成为机器人40的手腕前端部41的旋转卡合构件452与机器人40的基部42的旋转卡合构件462不抵接的状态，而且，成为基部42的突起461从手腕前端部41的突起收纳空间4531拔出并且手腕前端部41的突起451从基部42的突起收纳空间4631拔出的状态。由此，在复位弹簧456、466的施力作用下，释放棒454、464被拉回来，并且旋转卡合构件452、462进行旋转，向初始状态返回。

接着，对利用线放电加工机1对工件w进行的放电加工进行说明。

如图12所示，在对上下方向上的厚度恒定的工件w进行放电加工时，以工件w相对于线电极21向图12中的左方相对地移动的方式使工件载置台17移动。即，工件w的加工方向为从图12中的左往右的方向，工件w相对于线电极21被沿着该方向加工。

在该情况下，抽吸部51相对于线电极21而言配置在与利用线电极21对工件w进行加工的加工方向相反的一侧、即在图12中相对于线电极21而言配置在左侧，大致半圆形状的抽吸部51的开口部(图4所示的抽吸部51的左侧的部分)以朝向右侧的状态配置。由此，从上引导部23及下引导部25供给至加工槽13(参照图1)的加工液因放电加工发生电解而产生的气体g与因放电加工产生的淤渣s一起包含在加工液中，并如图12所示那样向与加工方向相反的一侧(线电极21的左侧)排出，这样的淤渣s、气体g被抽吸部51的管嘴52抽吸，被向回收机构37(参照图1)回收。在回收机构37，加工液被过滤，之后再次被经由未图示的管构件向上引导部23及下引导部25供给。

在对上下方向上的厚度具有较厚的部分和较薄的部分的工件w进行放电加工时，抽吸部51相对于线电极21而言配置在与利用线电极21对工件w进行加工的加工方向相同的一侧。

即，在图13～图14中，以工件w相对于线电极21向与图12所示的方向相反的方向相对地移动的方式进行了图示，但抽吸部51相对于线电极21而言配置在与利用线电极21对工件w进行加工的加工方向相同的一侧、即在图13中相对于线电极21而言配置在左侧，大致半圆形状的抽吸部51的开口部以朝向右侧的状态配置。

并且，如图13所示，在对上下方向上的厚度较厚的部分进行了加工之后，如图14所示，在对上下方向上的厚度较薄的部分进行加工时，利用机器人40使抽吸部51沿着线电极21向下方移动并配置在工件w的上表面的附近的位置，从而由抽吸部51的管嘴52高效地抽吸淤渣s及气体g。

如以上那样，根据本实施方式，使线电极21与作为被加工物的工件w相对移动来对工件w进行放电加工的线放电加工机1包括：机器人40；以及抽吸机构50，其设于机器人40的手腕前端部41，用于抽吸因线放电加工产生的加工碎屑(淤渣s)和气体g。

由此，与工件w的形状、线放电加工的进行相应地，通过机器人40的动作改变抽吸机构50的抽吸部51的姿势，从而能够灵活地应对在线放电加工中自工件w产生并且伴随着线放电加工的进行而变化的淤渣s及气体g，能够高效地抽吸淤渣s及气体g，谋求提高工件w的加工速度和加工精度。

另外，在从作为放电加工部的线电极21的附近排出淤渣s和气体g时，并不像以往那样依赖来自上引导部23和下引导部25的加工液的压力及流量，而是能够通过机器人40的抽吸机构50抽吸淤渣s及气体g来进行排出。由此，促进来自放电加工部的淤渣s及气体g的排出，从而能够提高线放电加工的效率，能够提高加工速度。

另外，线放电加工机1具有支承线电极21的作为主体部的柱15，机器人40支承于柱15。由此，柱15及线电极21与机器人40一体地相对于工件w相对地移动，因此不需要对机器人40进行使机器人40的手腕前端部41的抽吸机构50的抽吸部51与线电极21同步的控制。

另外，线电极21利用上引导部23和下引导部25支承，机器人40能够使抽吸机构50相对于上引导部23相对地移动。

如以往那样，在将用于排出淤渣s和气体g的抽吸机构部附加固定在上引导部附近的结构的情况下，被附加固定的抽吸机构部位于上引导部附近。因此，在利用各种测量器具手动或自动地将工件w的位置登记于线放电加工机的数控装置的被称作“准备工序”的准备作业中，在使各种测量器具靠近工件w时成为障碍，因此“准备工序”作业的效率降低。

相对于此，在本实施方式中，能够通过使机器人40的姿势变化来使安装于机器人40的手腕前端部41的抽吸机构50的抽吸部51相对于上引导部23相对地移动、即容易使抽吸部51远离上引导部23附近等，因此在“准备工序”作业时能够实现与没有抽吸机构50的线放电加工机同样的准备作业。

另外，如以往那样，在将用于排出淤渣s和气体g的抽吸机构部附加固定在上引导部附近的结构的情况下，在线放电加工机的操作者向线放电加工机1张设线电极21时以及上引导部23的维修时，被附加固定的抽吸机构部和连接于抽吸机构部的管构件有可能成为障碍。

相对于此，在本实施方式中，能够通过使机器人40的姿势变化而容易地使安装于机器人40的手腕前端部41的抽吸机构50的抽吸部51远离上引导部23附近，因此，能够与没有抽吸机构部的线放电加工机同样地进行线电极21的张设、上引导部23的维修。

另外，机器人40能够使抽吸机构50沿着线电极21移动。

如以往那样，在将用于排出淤渣s和气体g的抽吸机构部附加固定在上引导部附近的结构的情况下，如图13、图14所示，在工件w的形状在板厚方向上发生变化那样的情况下，无法使抽吸机构部靠近作为利用线电极对工件w进行加工的部分的放电加工部的板厚较薄的部分。

相对于此，在上述本实施方式中，利用机器人40进行抽吸机构50的抽吸部51的定位，因此，即使工件w的形状在板厚方向上发生变化，也能够通过使机器人40的姿势变化来使抽吸机构50的抽吸部51靠近放电加工部。因此，即使在线放电加工中工件w的板厚方向上的形状发生变化，也能够通过使抽吸机构50的抽吸部51沿着线电极21移动来使抽吸机构50的抽吸部51配置在放电加工部的附近(工件w的板厚较薄的部分的附近)，从而对来自放电加工部的淤渣s和气体g进行抽吸。

并且，抽吸机构50具有抽吸部51，该抽吸部51具有半圆环形状，用于抽吸因线放电加工产生的淤渣s和气体g。由此，能够将抽吸部51配置为将线电极21包围的位置关系，或者配置在远离线电极21的位置。

并且，抽吸部51相对于线电极21而言配置在与利用线电极21对工件w进行加工的加工方向相反的一侧。由此，能够利用抽吸机构50的抽吸部51高效地抽吸大都产生在与工件w的加工方向相反的一侧的气体g、淤渣s。

并且，抽吸机构50配置于机器人40的手腕前端部41，该线放电加工机1具有用于将机器人40的手腕前端部41和机器人40的基部42可拆卸地连结起来的连结机构45。

如以往那样，在将用于排出淤渣s和气体g的抽吸机构部附加固定在上引导部附近的结构的情况下，被附加固定的抽吸机构部的形状的变更非常困难，在工件w的上表面不平滑的情况下，无法高效地抽吸淤渣s和气体g。

相对于此，在本实施方式中，如果识别出工件w的上表面不平滑或者存在上表面的局部不平滑的部分，则预先准备包括适合不平滑的形状的抽吸机构50的抽吸部51的机器人40的手腕前端部41，从而能够根据工件w的上表面的形状装卸、更换机器人40的手腕前端部41。由此，能够高效地抽吸淤渣s和气体g。

接着，一边参照图15一边说明本发明的第2实施方式的线放电加工机1a。

在第2实施方式的线放电加工机1a中，机器人40的基部42没有固定于柱15，而是固定于工件载置台17a，在这一点上，与第1实施方式的线放电加工机1不同。并且，伴随于此，机器人控制器35对机器人40的控制不同。除此以外的结构与第1实施方式的线放电加工机1的结构相同，因此对与第1实施方式的各结构相同的结构标注相同的附图标记并省略说明。

如图15所示，机器人40的基部42没有固定于柱15，而是固定于工件载置台17a。因此，机器人40的基部42与工件w及支承工件w的工件载置台17a一体地相对于线电极21相对地移动。作为同步控制部件的机器人控制器35进行使机器人40的手腕前端部41的抽吸部51与相对于作为被加工物的工件w相对移动的线电极21的移动同步的控制，控制为图12～图14所示那样的抽吸部51相对于线电极21的位置关系。

利用这样的结构，即使在机器人40的基部42不与用于对工件w进行放电加工的作为线电极21的部分的放电加工部一体地移动的情况下，在放电加工时，也能够使抽吸机构50的抽吸部51配置在线电极21的附近的适当的位置，从而能够高效地抽吸淤渣s、气体g。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述的实施方式。另外，本实施方式中记载的效果只不过是列举了由本发明产生的最佳的效果，本发明的效果并不限定于本实施方式中记载的效果。

例如，线放电加工机的各部分的结构并不限定于本实施方式的线放电加工机1、1a的各部分的结构。具体而言，例如，抽吸机构的结构并不限定于本实施方式的抽吸机构50的结构。并且，供机器人40的基部42固定的部分并不限定于柱15、工件载置台17。并且，连结机构的结构并不限定于本实施方式的连结机构45的结构。另外，驱动气压缸cy，对机器人40的基部42的释放棒464进行拉拽，并且通过线放电加工机1的操作者的手h对机器人40的手腕前端部41的释放棒454进行拉拽，但并不限定于此。例如，也可以是通过操作者的手h对机器人40的基部42的释放棒464进行拉拽，还可以是通过驱动气压缸cy对机器人40的手腕前端部41的释放棒454进行拉拽。