一种晶圆激光标记定位检查装置的制作方法

文档序号:14884471发布日期:2018-07-07 10:42阅读:161来源:国知局

本实用新型是一种晶圆激光标记定位检查装置,属于晶圆生产设备领域。



背景技术:

晶圆是制造半导体芯片的基本材料,半导体集成电路最主要的原料是硅,因此对应的就是硅晶圆,晶圆激光标记定位检查装置可以准确确定晶圆的打标位置,使得晶圆打标过程中标记出来的字均匀、美观、无间隙与断隙。

现有技术中,晶圆激光标记定位检查装置依然存在着许多不足之处,现有的晶圆检查装置没有储存功能,使用人员不能及时存放检查后的晶圆,增加了使用人员的劳动强度,现有的晶圆检查装置内部电机、电源等设备散热效率不佳,降低了电机、电源等设备的使用寿命,所以现有的晶圆检查装置已无法满足人们的需要,急需一种晶圆激光标记定位检查装置来解决上述出现的问题。



技术实现要素:

针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提供一种晶圆激光标记定位检查装置,以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型结构合理,便于操作,功能性强,稳定性好,可靠性高。

为了实现上述目的,本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种晶圆激光标记定位检查装置,包括晶圆检查装置本体、操作面板、激光头、显示屏、储存机构以及散热机构,所述操作面板安装在晶圆检查装置本体前端面,所述激光头安装在晶圆检查装置本体上端面左侧,所述显示屏安装在激光头右侧,所述储存机构设置在显示屏右侧,所述散热机构设置在晶圆检查装置本体内部,所述储存机构包括储存箱、第一支撑架、第一标签、第二标签以及半导体制冷片,所述储存箱安装在显示屏右侧,所述第一支撑架安装在储存箱内部上侧,所述第一标签安装在第一支撑架前端面,所述第二标签安装在储存箱前端面下侧,所述半导体制冷片安装在储存箱内底部,所述散热机构包括固定板、循环水管、风扇、回收箱、循环泵、储水箱以及电池片,所述固定板安装在晶圆检查装置本体内部,所述循环水管安装在固定板内部左侧,所述风扇安装在晶圆检查装置本体内顶部,所述回收箱安装在循环水管右侧,所述循环泵安装在回收箱下端面,所述储水箱安装在循环泵下端面,所述电池片安装在固定板右侧。

进一步地,所述晶圆检查装置本体底部设有万向轮。

进一步地,所述激光头内部设有CCD摄像头。

进一步地,所述半导体制冷片通过导线与电池片相连接。

进一步地,所述储水箱上端面设有注水口,所述储水箱右端面设有排水管。

进一步地,所述风扇通过导线与电池片相连接,所述循环泵通过导线与电池片相连接。

进一步地,所述循环水管通过软管分别与回收箱和储水箱相连接,所述循环泵通过软管分别与回收箱和储水箱相连接。

本实用新型的有益效果:本实用新型的一种晶圆激光标记定位检查装置,因本实用新型添加了储存箱、第一支撑架、第一标签、第二标签以及半导体制冷片,该设计合理利用了本实用新型的闲置空间,方便了使用人员及时的存放检查后的晶圆,减轻了使用人员的劳动强度,解决了原有晶圆检查装置没有储存功能的问题,提高了本实用新型的储存方便性。

因本实用新型添加了固定板、循环水管、风扇、回收箱、循环泵、储水箱以及电池片,该设计提高了晶圆检查装置本体内部电机、电源等设备的散热效率,增加了电机、电源等设备的使用寿命,解决了原有晶圆检查装置内部设备散热效果不佳的问题,提升了本实用新型的散热效率。

因晶圆检查装置本体底部设有万向轮,该设计方便了使用人员移动本实用新型,因激光头内部设有CCD摄像头,该设计提高了晶圆打标点的清晰度,本实用新型结构合理,便于操作,功能性强,稳定性好,可靠性高。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:

图1为本实用新型一种晶圆激光标记定位检查装置的结构示意图;

图2为本实用新型一种晶圆激光标记定位检查装置中储存机构的结构示意图;

图3为本实用新型一种晶圆激光标记定位检查装置中散热机构的结构示意图;

图中:1-晶圆检查装置本体、2-操作面板、3-激光头、4-显示屏、5-储存机构、6-散热机构、51-储存箱、52-第一支撑架、53-第一标签、54-第二标签、55-半导体制冷片、61-固定板、62-循环水管、63-风扇、64-回收箱、65-循环泵、66-储水箱、67-电池片。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。

请参阅图1-图3,本实用新型提供一种技术方案:一种晶圆激光标记定位检查装置,包括晶圆检查装置本体1、操作面板2、激光头3、显示屏4、储存机构5以及散热机构6,操作面板2安装在晶圆检查装置本体1前端面,激光头3安装在晶圆检查装置本体1上端面左侧,显示屏4安装在激光头3右侧,储存机构5设置在显示屏4右侧,散热机构6设置在晶圆检查装置本体1内部。

储存机构5包括储存箱51、第一支撑架52、第一标签53、第二标签54以及半导体制冷片55,储存箱51安装在显示屏4右侧,第一支撑架52安装在储存箱51内部上侧,第一标签53安装在第一支撑架52前端面,第二标签54安装在储存箱51前端面下侧,半导体制冷片55安装在储存箱51内底部,该设计解决了原有晶圆检查装置没有储存功能的问题。

散热机构6包括固定板61、循环水管62、风扇63、回收箱64、循环泵65、储水箱66以及电池片67,固定板61安装在晶圆检查装置本体1内部,循环水管62安装在固定板61内部左侧,风扇63安装在晶圆检查装置本体1内顶部,回收箱64安装在循环水管62右侧,循环泵65安装在回收箱64下端面,储水箱66安装在循环泵65下端面,电池片67安装在固定板61右侧,该设计解决了原有晶圆检查装置内部设备散热效果不佳的问题。

晶圆检查装置本体1底部设有万向轮,激光头3内部设有CCD摄像头,半导体制冷片55通过导线与电池片67相连接,储水箱66上端面设有注水口,储水箱66右端面设有排水管,风扇63通过导线与电池片67相连接,循环泵65通过导线与电池片67相连接,循环水管62通过软管分别与回收箱64和储水箱66相连接,循环泵65通过软管分别与回收箱64和储水箱66相连接。

具体实施方式:使用人员将检查后的晶圆放入储存箱51,使用人员把晶圆的类型记录在第一标签53和第二标签54上,并将对应的晶圆放入第一支撑架52和第一支撑架52下侧,方便了使用人员对晶圆进行分类存放,半导体制冷片55通过导线与电池片67相连接,电池片67对半导体制冷片55进行供电,半导体制冷片55制冷使得储存箱51内的温度处于一个恒温的状态,避免了晶圆存放不当受到损坏,该设计合理利用了本实用新型的闲置空间,方便了使用人员及时的存放检查后的晶圆,减轻了使用人员的劳动强度,解决了原有晶圆检查装置没有储存功能的问题,提高了本实用新型的储存方便性。

本实用新型在运行状态下,晶圆检查装置本体1内部的电机、电源等设备工作会产生热量,使用人员运行循环泵65,循环泵65工作可把储水箱66内的冷凝水排入循环水管62内进行流动,冷凝水流动的同时会和电机、电源等设备产生的热量进行换热处理,然后冷凝水会再通过循环水管62进入回收箱64内部,然后再通过循环泵65使冷凝水从回收箱64进入储水箱66,同时在风扇63转动扩大了换热范围,该设计提高了晶圆检查装置本体1内部电机、电源等设备的散热效率,增加了电机、电源等设备的使用寿命,解决了原有晶圆检查装置内部设备散热效果不佳的问题,提升了本实用新型的散热效率。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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