技术特征：
技术总结
本发明提供一种对溅射靶进行加工的方法，所述方法中，使具有在沿轴的截面中包含圆弧状的凹曲面的刃部的切削工具围绕轴进行旋转，利用刃部的凹曲面，对溅射靶的溅射面与侧面形成的角部进行倒角，以使其接近圆弧状的目标R面，其中，以在沿轴的截面中使刃部的凹曲面的曲率半径Ra大于或等于目标R面的曲率半径Rb、并且使刃部的凹曲面的两端从溅射靶离开的方式，对溅射靶的角部进行倒角。
技术研发人员：藤田昌宏
受保护的技术使用者：住友化学株式会社
技术研发日：2018.02.09
技术公布日：2018.11.09