技术总结
本发明提供了一种靶材焊接、冷却一体化装置及其运行方法，所述一体化装置包括焊接平台和冷却平台，所述焊接平台和冷却平台位于同一平面上；所述焊接平台上设有移动加热板，所述移动加热板的下方连接有传动组件，所述传动组件包括上下移动的传动组件和水平移动的传动组件；所述冷却平台上方设有加压组件。本发明所述装置通过将焊接平台和冷却平台集成于同一装置内，能够一体化实现靶材组件的焊接加热、自动搬运以及加压冷却，省去了人工搬运，避免了人工搬运过程中可能发生震动而导致的焊接面异常，焊接结合率较高，并降低了搬运过程的安全隐患；所述装置可自动化进行，能够快速实现靶材组件的焊接及冷却，节省时间，降低成本。本。本。
技术研发人员：姚力军 边逸军 潘杰 王学泽 翁前军 张国洪
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
技术研发日：2020.11.04
技术公布日：2021/3/2