1.光束整形和可调节光束能量密度的系统,包括激光源(1)、准直镜(2)、空间光调制器(3)、x向偏转反射镜(5)、聚焦组件(6)和y向偏转反射镜(10),其特征在于:所述空间光调制器(3)包括依次设置的二元光栅(31)和几何掩膜(4),所述激光源(1)发射出的激光束依次通过所述准直镜(2)、所述空间光调制器(3)、所述x向偏转反射镜(5)、所述聚焦组件(6)和所述y向偏转反射镜(10),通过改变所述二元光栅(31)的衍射周期对激光束进行整形,调节所述几何掩膜(4)的光栅密度来改变激光束的能量密度分布,所述x向偏转反射镜(5)和y向偏转反射镜(10)用于激光束的动态扫描移动。
2.根据权利要求1所述的光束整形和可调节光束能量密度的系统,其特征在于:
3.根据权利要求2所述的光束整形和可调节光束能量密度的系统,其特征在于:
4.根据权利要求2所述的光束整形和可调节光束能量密度的系统,其特征在于:
5.根据权利要求1所述的光束整形和可调节光束能量密度的系统,其特征在于:
6.一种激光热处理工艺,其特征在于,由权利要求1-5任一项所述光束整形和可调节光束能量密度的系统实现,包括以下步骤:
7.根据权利要求6所述的激光热处理工艺,其特征在于:
8.根据权利要求7所述的激光热处理工艺,其特征在于:
9.根据权利要求6所述的激光热处理工艺,其特征在于:
10.根据权利要求6-9任一项所述的激光热处理工艺,其特征在于: