，通过固定在管靶中间位置的液压千斤顶，由上而下压管靶的中间位置，控制合适的下压量，来达到矫直的目的。
[0020]本发明中检测和矫直方法的步骤包括:把管靶放置在转动轮上，把红外线探头放在管靶内中间位置；红外线检测数显表显示的数值为探头到管靶内壁的距离；固定红外线探头，转动旋转靶材，根据数显表上的数值变化来计算管靶的轴向直线度；最大值与最小值的差异(Max-Min)反应直线度的大小；取最大和最小值的差，作为判断依据；若Max-MinX).5mm，则需要矫直；矫直方法，把管靶放在液压矫直机上，把管靶两端支起，压管革巴的中间，控制下压量，当Max-Min ^ 0.5mm时，矫直完成。
[0021]下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
[0022]实施例1:如附图1所示，检验和矫直装置包括机架1、数显表2、支撑辊对5、轴芯杆7、红外线探头9、压辊10和液压臂11 ;机架I下部安装支撑辊对5，该支撑辊对5由二个相互平行且水平安置的刚性转辊构成，机架I外侧上安装数显表2，机架I内中部安装轴芯杆7，轴芯杆7上安装红外线探头9，机架I内侧支撑辊对5中部上方安装压辊10，压辊10上侧通过液压臂11连接。
[0023]前述中，轴芯杆7端部连接端架4，该端架4的端部安装在机架I上。其中，端架4可以是水平或竖立安装在机架I上。
[0024]前述中，轴芯杆7通过弹性撑臂6向外侧辐射地连接内撑轮8。该内撑轮8顶在管靶内壁上。或者，轴芯杆7中空而且两端外套装内撑轮8。
[0025]前述中，红外线探头9和压辊10沿轴芯杆7轴向移动。
[0026]前述中，至少二组红外线探头9和压辊10沿轴芯杆7轴向均匀分布。
[0027]前述中，支撑辊对5中的二个刚性转辊外径相同，而且，该二个刚性转辊的轴间距大于其外径和的1.5倍。另外，该二个刚性转辊的轴间距小于管靶3外径。
[0028]前述中，液压臂11上连接气动或弹簧装置。
[0029]本实施例中，内撑轮8为铁氟龙结构而且外覆聚氨酯。轴芯杆7为中空铝方管。
[0030]本发明实施例在工作时，把管靶3放置在支撑辊对5上；把红外线探头9放入管靶3内，打开电源开关，数显表2显示的数值为红外线探头9到管靶3内壁的距离；固定红外线探头9，转动管靶3，根据数显表2上的数值变化来计算管靶3的轴向直线度；取最大值Max和最小值Min的差，作为判断依据；若MaX-Min>0.5mm，则判断管靶3需要矫直；矫直方法，把管靶3两端支起，将压辊10下移压管靶3需要矫直部位的轴向中间点上侧外壁，控制适量的下压量，当再测得Max-Min ^ 0.5mm时，矫直完成。
[0031]本发明中，可以根据发明原理，分别制造检测装置和矫直装置，而且，也可以通过设置自动化系统，将检测和矫直的全过程在封闭的装置内全自动的运行。
[0032]根据本发明实施例中对管靶的测量和矫直方法的论述，本发明不限于对靶材试样的测量，也可以对其他精密管状金属件试样直线度进行测量。
[0033]以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明的技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。
[0034]上面结合附图对本发明的实施例作了详细说明，但是本发明并不限于上述实施例，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。本发明说明书中未作详细描述内容属于本领域专业技术人员公知技术。
【主权项】
1.溅射旋转靶材管靶直线度的检验和矫直方法，其特征在于，把管靶放置在转动轮上，把红外线探头放在管靶内中间位置；红外线检测数显表显示的数值为探头到管靶内壁的距离；固定红外线探头，转动旋转靶材，根据数显表上的数值变化来计算管靶的轴向直线度；最大值与最小值的差异(Max-Min)反应直线度的大小；取最大和最小值的差，作为判断依据；若Max-Min>0.5mm，则需要矫直；矫直方法，把管革E放在液压矫直机上，把管革E两端支起，压管革G的中间，控制下压量，当Max-Min ( 0.5mm时，矫直完成。2.如权利要求1所述的溅射旋转靶材管靶直线度的检验和矫直方法，其特征在于，检验和矫直装置包括机架(1)、数显表(2)、支撑辊对(5)、轴芯杆(7)、红外线探头(9)、压辊(10)和液压臂(11);机架⑴下部安装支撑辊对(5)，该支撑辊对(5)由二个相互平行且水平安置的刚性转辊构成，机架(I)外侧上安装数显表(2)，机架(I)内中部安装轴芯杆(7)，轴芯杆(7)上安装红外线探头(9)，机架(I)内侧支撑辊对(5)中部上方安装压辊(10)，压辊(10)上侧通过液压臂(11)连接。3.如权利要求2所述的溅射旋转靶材管靶直线度的检验和矫直方法，其特征在于，轴芯杆⑵端部连接端架(4)，该端架⑷的端部安装在机架⑴上。4.如权利要求2所述的溅射旋转靶材管靶直线度的检验和矫直方法，其特征在于，轴芯杆(7)通过弹性撑臂(6)向外侧辐射地连接内撑轮(8)。5.如权利要求2所述的溅射旋转靶材管靶直线度的检验和矫直方法，其特征在于，轴芯杆(7)中空而且两端外套装内撑轮(8)。6.如权利要求2所述的溅射旋转靶材管靶直线度的检验和矫直方法，其特征在于，红外线探头O)和压辊(10)沿轴芯杆(7)轴向移动。7.如权利要求2所述的溅射旋转靶材管靶直线度的检验和矫直方法，其特征在于，至少二组红外线探头(9)和压辊(10)沿轴芯杆(7)轴向均匀分布。
【专利摘要】溅射旋转靶材管靶直线度的检验和矫直方法,把管靶放置在转动轮上，把红外线探头放在管靶内中间位置；红外线检测数显表显示的数值为探头到管靶内壁的距离；固定红外线探头，转动旋转靶材，根据数显表上的数值变化来计算管靶的轴向直线度；最大值与最小值的差异（Max-Min）反应直线度的大小；取最大和最小值的差，作为判断依据；若Max-Min>0.5mm，则需要矫直；矫直方法，把管靶放在液压矫直机上，把管靶两端支起，压管靶的中间，控制下压量，当Max-Min≤0.5mm时，矫直完成。结合红外线测量和液压矫直，简便易行，操作方便。检测精确。便于自动化设计和改造，检测和矫正一次完成，省时省人工，安全节能高效。
【IPC分类】B21C51/00, B21D3/02, G01B11/27
【公开号】CN105057405
【申请号】CN201510235828
【发明人】曹兴民, 诸斌
【申请人】基迈克材料科技（苏州）有限公司
【公开日】2015年11月18日
【申请日】2015年5月11日