一种晶圆切割装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种晶圆切割装置，属于晶圆切割技术领域。
【背景技术】
[0002]随着晶圆的使用需求越来越大，晶圆的加工生产的效率亟需提高。在现有技术中对晶圆大多是采用激光切割方式，这种方式不仅无污染而且效率高，但是在节能方面，由于激光切割本身的耗能就相对比较大，因此虽然效率高了，但是实际生产过程中的能源消耗也是很大的，给企业的生产提高了很大的成本。
【实用新型内容】
[0003]为解决现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种节省能源的晶圆切割装置。
[0004]为了实现上述目标，本实用新型采用如下的技术方案:
[0005]一种晶圆切割装置，其特征是，包括传送带、位于所述传送带上方的切割模块；所述切割模块包括定位电缸和位于所述定位电缸上的激光切割器；所述定位电缸包括X轴电缸、I轴电缸和Z轴电缸；所述激光切割器位于X轴电缸上。
[0006]前述的一种晶圆切割装置，其特征是，所述X轴电缸的一端设置在所述z轴电缸上，所述z轴电缸设置在所述y轴电缸上。
[0007]前述的一种晶圆切割装置，其特征是，所述y轴电缸的末端设置有z轴方向的滑轨，所述滑轨用于z轴电缸的垂直滑动。
[0008]前所述的一种晶圆切割装置，其特征是，还包括来料检测模块；所述来料检测模块包括控制模块和CCD检料模块。
[0009]前述的一种晶圆切割装置，其特征是，所述控制模块用于控制传送带的传送速度和切割模块的运作。
[0010]如述的一种晶圆切割装置，其特征是，所述y轴电缸的侧面设置有启动按钮和急停开关。
[0011]本实用新型所达到的有益效果:采用来料检测模块进行监控是否有待加工的晶圆传送过来，当CCD检料模块检测到有晶圆时，控制模块启动切割模块进行切割，可以节省一部分的能源浪费，X、1、Z三轴电缸的设计可以使得激光切割器在切割的过程中更加容易定位，切割准确且效率高。
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型的结构示意图。
[0013]图中附图标记的含义:
[0014]1-来料检测模块，2-传送带，3-y轴电缸，4_滑轨，5_z轴电缸，6_x轴电缸。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本实用新型作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
[0016]本实用新型涉及的一种晶圆切割装置，包括传送带2、位于传送带2上方的切割模块和来料检测模块I。
[0017]如图1，切割模块包括定位电缸和激光切割器。定位电缸包括X轴电缸6、y轴电缸3和z轴电缸5。激光切割器位于X轴电缸6上。X轴电缸6的一端设置在z轴电缸5上，z轴电缸5设置在y轴电缸3上。y轴电缸3的末端设置有z轴方向的滑轨4，滑轨4用于z轴电缸5的垂直滑动。这样z轴电缸5在滑轨4上进行垂直方向也就是z轴方向的滑动，在y轴电缸3上进行y轴方向的滑动，X轴电缸6在z轴电缸5上进行x轴方向的滑动。整个定位电缸只有y轴电缸3是固定不动的。y轴电缸3的侧面设置有启动按钮和急停开关，用作紧急状况下的备用按钮。
[0018]来料检测模块I包括控制模块和CXD检料模块。控制模块用于控制传送带2的传送速度和切割模块的运作。来料检测模块I进行监控是否有待加工的晶圆传送过来，当CCD检料模块检测到有晶圆时，控制模块启动切割模块进行切割，可以节省一部分的能源浪费，X、y、z三轴电缸的设计可以使得激光切割器在切割的过程中更加容易定位，切割准确且效率高。
[0019]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种晶圆切割装置，其特征是，包括传送带、位于所述传送带上方的切割模块；所述切割模块包括定位电缸和位于所述定位电缸上的激光切割器；所述定位电缸包括X轴电缸、I轴电缸和Z轴电缸；所述激光切割器位于X轴电缸上。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割装置，其特征是，所述X轴电缸的一端设置在所述z轴电缸上，所述z轴电缸设置在所述I轴电缸上。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割装置，其特征是，所述y轴电缸的末端设置有z轴方向的滑轨，所述滑轨用于z轴电缸的垂直滑动。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割装置，其特征是，还包括来料检测模块；所述来料检测模块包括控制模块和CCD检料模块。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆切割装置，其特征是，所述控制模块用于控制传送带的传送速度和切割模块的运作。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割装置，其特征是，所述y轴电缸的侧面设置有启动按钮和急停开关。
【专利摘要】本实用新型公开了一种晶圆切割装置，其特征是，包括传送带、位于所述传送带上方的切割模块；所述切割模块包括定位电缸和位于所述定位电缸上的激光切割器；所述定位电缸包括x轴电缸、y轴电缸和z轴电缸；所述激光切割器位于x轴电缸上。本实用新型所达到的有益效果：采用来料检测模块进行监控是否有待加工的晶圆传送过来，当CCD检料模块检测到有晶圆时，控制模块启动切割模块进行切割，可以节省一部分的能源浪费，x、y、z三轴电缸的设计可以使得激光切割器在切割的过程中更加容易定位，切割准确且效率高。
【IPC分类】B23K26-38, B23K26-08
【公开号】CN204504515
【申请号】CN201420861060
【发明人】刘思佳
【申请人】苏州凯锝微电子有限公司
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2014年12月31日