一种用于晶粒侧面观察的固定装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于晶粒侧面观察的固定装置，包括装置本体，装置本体包括夹板和夹体，夹板包括第一和第二夹板，第一和第二夹板的整体形状为长方形，第一和第二夹板之间设有连接板，其通过连接板相连接，连接板将第一和第二夹板分割为夹板后部和夹板前部，夹体包括第一和第二夹体，第一夹体设在第一夹板的前端，第二夹体设在第二夹板的前端，第一和第二夹体之间设有夹缝腔；本实用新型的用于晶粒侧面观察的固定装置，夹取方便，便于固定，可夹取不同厚度,不同尺寸的晶粒，且夹取后便于观察，使用方便。
【专利说明】
一种用于晶粒侧面观察的固定装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及固定装置，特别涉及一种用于晶粒侧面观察的固定装置。
【背景技术】
[0002]晶圆切割完成后，为了确认切割品质都会在高倍显微镜下抽检一定的晶圆数量，抽检时会抽取部分材料，材料除了查看晶圆正面和背面状况，一般还要侧立起来看下四个侧面的状况，由此确认下是否有碎裂隐裂之类的失效状况，晶粒材质比较脆，又比较薄，有些厚度甚至不到30微米，检测过程中的置放方式不当，极易造成二次伤害从而对检查结果造成干扰，用于检查的高倍显微镜放大倍数几十倍到上千倍不等，这样对晶粒放置的稳固要求非常高，如果30微米厚的材料侧立很容易受到震动及空气流动等因素的影响，晶圆稍微的抖动，在显微镜下就是很大的幅度，不容易看到晶圆清晰真实的状况。
【发明内容】
[0003]本实用新型为了解决现有技术的问题，提供了一种夹取方便，便于固定，可夹取不同厚度的晶粒，且夹取后便于观察，使用方便的用于晶粒侧面观察的固定装置。
[0004]本实用新型的具体技术方案如下:一种用于晶粒侧面观察的固定装置，包括装置本体，所述装置本体包括夹板和夹体，所述夹板包括第一夹板和第二夹板，所述第一夹板和第二夹板的整体形状为长方形，所述第一夹板和第二夹板之间设有连接板，其通过连接板相连接，所述连接板将第一夹板和第二夹板分割为夹板后部和夹板前部，所述夹体包括第一夹体和第二夹体，所述第一夹体设在第一夹板的前端，所述第二夹体设在第二夹板的前端，所述第一夹体和第二夹体均为直角三角形，所述第一夹体和第二夹体之间设有夹缝腔。
[0005]以下为本实用新型的附属技术方案。
[0006]作为优选方案，所述装置本体的材质为防静电PVC。
[0007]作为优选方案，所述夹板后部的长度均为20.06mm，高度为10mm。
[0008]作为优选方案，所述夹板前部的长度为10.15mm。
[0009]作为优选方案，所述第一夹体和第二夹体的长度均为9.17mm。
[0010]本实用新型的技术效果:本实用新型的一种用于晶粒侧面观察的固定装置，通过第一和第二夹板的设置，便于夹持操作;通过第一夹体和第二夹体的设置，便于夹取，固定不同的晶粒;整个设计，夹取方便，便于固定，可夹取不同厚度，不同大小的晶粒，且夹取后便于观察，使用方便。
【附图说明】
[0011]图1是本实用新型实施例的一种用于晶粒侧面观察的固定装置的结构示意图。
[0012]图2是本实用新型实施例的一种用于晶粒侧面观察的固定装置的使用状态示意图。
[0013]图3是本实用新型实施例的一种用于晶粒侧面观察的固定装置的另一使用状态示意图。
[0014]图中:装置本体I，夹板2，第一夹板21，第二夹板22，夹板后部23，夹板前部24，夹体3，第一夹体31，第二夹体32，夹缝腔321，连接板4，晶粒5。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本实用新型做进一步说明。
[0016]如图1至图3所示，本实施例的一种用于晶粒侧面观察的固定装置，包括装置本体I，所述装置本体I的材质为防静电PVC。这样设置，PVC材料制成的固定装置，自身较小的弹性即可满足对晶粒的固定，且PVC硬度比晶粒小对晶粒不易造成损伤;所述装置本体I包括夹板2和夹体3，所述夹板2包括第一夹板21和第二夹板22，所述第一和第二夹板的整体形状为长方形，所述第一和第二夹板之间设有连接板4，其通过连接板4相连接，所述连接板4将第一和第二夹板分割为夹板后部23和夹板前部24，所述夹板后部23的长度均为20.06mm，高度为10mm。所述夹板前部24的长度为10.15mm。这样设置，便于夹取操作。所述夹体3包括第一夹体31和第二夹体32，所述第一夹体31设在第一夹板21的前端，所述第二夹体32设在第二夹板22的前端，所述第一和第二夹体的整体形状均为直角三角形，所述第一和第二夹体的长度均为9.17_。这样设置，第一和第二夹体的直角三角形的形状也方便晶粒的取放，所述第一和第一夹尖之间设有夹缝腔321。这样设置，便于固定晶粒。
[0017]进一步地，本实施例的一种用于晶粒侧面观察的固定装置，通过第一和第二夹板之间通过连接板的连接，可以适用于固定不同尺寸的晶粒，第一和第二夹板前端设有第一和第二夹体的设置，方便晶粒的取放，由于晶粒比较脆，易碎且易划伤，固定装置整体使用防静电PVC材料制成，这样制成的固定装置，由于自身较小的弹性，可满足对晶粒的固定，且PVC材质的硬度比晶粒小，对晶粒不易造成损伤，另外，晶粒属于微电子集成电路，静电很容易对其造成损伤，采用的是防静电PVC材料做成的装置，可以有效起到ESD防护作用;将该固定装置放置在一个平面上，其和置放平台的接触面呈“Y”形状，可以很好保持其在平台上置放的平稳性;根据目前晶圆减薄的厚度范围看，该装置适用于所有的常见厚度晶粒。
[0018]本实施例的一种用于晶粒侧面观察的固定装置，1、通过第一和第二夹板的设置，便于夹持操作；2、通过第一夹体和第二夹体的设置，便于夹取固定不同的晶粒；3、整个设计，夹取方便，便于固定，可夹取不同厚度，不同大小的晶粒，且夹取后便于观察，使用方便。需要指出的是，上述较佳实施例仅为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种用于晶粒侧面观察的固定装置，包括装置本体，其特征在于:所述装置本体包括夹板和夹体，所述夹板包括第一夹板和第二夹板，所述第一夹板和第二夹板的整体形状为长方形，所述第一夹板和第二夹板之间设有连接板，其通过连接板相连接，所述连接板将第一夹板和第二夹板分割为夹板后部和夹板前部，所述夹体包括第一夹体和第二夹体，所述第一夹体设在第一夹板的前端，所述第二夹体设在第二夹板的前端，所述第一夹体和第二夹体均为直角三角形，所述第一夹体和第二夹体之间设有夹缝腔。2.如权利要求1所述的一种用于晶粒侧面观察的固定装置，其特征在于:所述装置本体的材质为防静电PVC。3.如权利要求1所述的一种用于晶粒侧面观察的固定装置，其特征在于:所述夹板后部的长度均为20.06mm，高度为10mm。4.如权利要求1所述的一种用于晶粒侧面观察的固定装置，其特征在于:所述夹板前部的长度为10.15mm。5.如权利要求1所述的一种用于晶粒侧面观察的固定装置，其特征在于:所述第一夹体和第二夹体的长度均为9.17mm。
【文档编号】B25B11/00GK205685214SQ201620531393
【公开日】2016年11月16日
【申请日】2016年6月5日 公开号201620531393.3, CN 201620531393, CN 205685214 U, CN 205685214U, CN-U-205685214, CN201620531393, CN201620531393.3, CN205685214 U, CN205685214U
【发明人】彭志文, 凡会建
【申请人】特科芯有限公司