专利名称：真空立式行星夹具转动装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种真空镀膜门体立式行星夹具转动的装置，尤其适用于离子束溅射沉积光学薄膜系统。
背景技术：
目前，国产真空镀膜设备中的自转钟罩式或行星式夹具转动系统，是采用真空室顶部水平安装方式，电机通过橡胶圈V式真空动密封的传动轴，带动真空室中的夹具系统转动。但是，对于离子束溅射镀膜设备，行星夹具转动系统只能立式安装在真空室的门体上，这就造成了行星夹具非平衡转动，这需要在真空室内安装承重、定位轴承。由于真空室内的工作温度在80-100℃，承重、定位轴承上的真空脂在转动的情况下，在比较短的时间内就会炭化。转动负荷较重的行星夹具，在没有真空脂润滑的非平衡转动的情况下，轴承的寿命非常短，一般在50个小时以内就损坏了。同时，炭化的真空脂对真空造成了一定程度的污染。因此，传统的结构，具有真空度不高、存在污染和寿命短等缺点。
发明内容
本发明的技术解决问题是克服现有技术的不足，提供一种全新的真空立式行星夹具转动装置，不仅提高了真空度、克服了真空脂的污染，而且，更重要的是保证了行星转动可以长期稳定运行；同时，消除了传统结构具有的不确定的安全隐患。
本发明的技术解决方案是真空立式行星夹具转动装置，包括电机、真空室、行星夹具系统，其特征在于还包括安装在真空门体上的磁流体，电机通过磁流体直接带动行星夹具系统转动。
所述的磁流体主要包括密封主轴、承重和定位轴承、磁流液、磁流体壳体、隔热套、导磁套，密封主轴外部套一隔热套，导磁套位于隔热套的外侧，磁流液位于导磁套和磁流体壳体之间，磁流体壳体的两端由承重和定位轴承支撑，密封主轴的一端与电机相连，另一端接行星夹具系统。
本发明与现有技术相比的优点在于磁流体安装在真空门体上，通过引进磁流体密封技术，将定位轴承封装在磁流体内，磁流体的水冷壳体防止在真空一侧的轴承上的真空脂的炭化，这极大的提高了轴承的使用寿命。调速电机通过安装在真空室门体上的磁流体的密封轴传动给行星夹具，带动其小的从动齿轮围绕安装在支撑架上的固定的主动大齿轮转动。传统的橡胶○型圈真空动密封被磁流体中处于磁场中的磁流液密封，这种密封方式大大提高了真空度，尤其适合于真空要求较高的动密封的情况。
图1为本发明的结构示意图，其中斩光片1，调速电机2，光电开关3，大气4，真空室5，磁流体6，行星夹具7，主动固定大齿轮8，从动小齿轮9。
图2为本发明中的磁流体结构示意图，其中密封主轴10，承重和定位轴承11，磁流液12，水冷壳体13，进水接头14，旋盖15，出水接头16，隔热套17，导磁套18，法兰19。
具体实施例方式
如图1、图2所示，本发明由调速电机2、真空室5、磁流体6、行星夹具7、主动固定大齿轮8、从动小齿轮9组成，磁流体6外安装在真空室门体上，调速电机2与磁流体6的主轴相连，带动与密封主轴10相连的行星夹具7转动，行星夹具7上的从动小齿轮9绕固定在支持架上的主动大齿轮8公转的同时保持自转，必须保持各部分有比较好的同轴度，防止转动卡死。通过光电开关3和安装在密封主轴10上的斩光片1可监控行星夹具7的转动状态。
磁流体6主要包括密封主轴10、承重和定位轴承11、磁流液12、磁流体壳体13、进水接头14、旋盖15、出水接头16、隔热套17、导磁套18、法兰19，密封主轴10上紧套一聚四氟乙烯隔热套17，防止热量通过主轴传递给磁流液12，在隔热套17外侧有一导磁套18，磁流液12位于导磁套18和磁流体壳体13之间，磁流体壳体13为双层水冷设计，避免了由于真空室温度过高，而导致磁流液和润滑脂的变性。由于磁流体6的悬臂过长和转动负荷较重，两轴承11的距离不要设计的过短。承重和定位轴承11密封在磁流体壳体13内，且位于磁流体壳体13的两端，密封主轴10的一端与调速电机2相连，另一端接行星夹具7系统。
权利要求
1.真空立式行星夹具转动装置，包括电机、真空室、行星夹具系统，其特征在于还包括安装在真空门体上的磁流体，电机通过磁流体直接带动行星夹具系统转动。
2.根据权利要求1所述的真空立式行星夹具转动装置，其特征在于所述的磁流体主要包括密封主轴、承重和定位轴承、磁流液、磁流体壳体、隔热套、导磁套，密封主轴外部套一隔热套，导磁套位于隔热套的外侧，磁流液位于导磁套和磁流体壳体之间，磁流体壳体的两端由承重和定位轴承支撑，密封主轴的一端与电机相连，另一端接行星夹具系统。
3.根据权利要求2所述的真空立式行星夹具转动装置，其特征在于所述的磁流体壳体为双层水冷结构。
全文摘要
一种能够改善真空镀膜厚度均匀性的真空立式行星夹具转动装置，它是电机直接通过磁流体传动，带动行星夹具在竖直平面转动的。承重、定位轴承设计在磁流体的双层水冷壳体内，防止了轴承内真空润滑脂由于温度的过高在真空室内的挥发、炭化，避免了对真空镀膜的污染，保证了轴承的正常使用，同时，提高了真空度和运行的稳定性，本发明可广泛适用于真空镀膜及相关行业，尤其适用于门体立式转动结构。
文档编号C23C14/22GK1702190SQ20041000911
公开日2005年11月30日 申请日期2004年5月24日 优先权日2004年5月24日
发明者刘洪祥, 熊胜明, 张云洞 申请人:中国科学院光电技术研究所