专利名称：真空镀膜机用多路阀的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种多路阀，特别是一种双室真空镀膜机用多路阀。
背景技术：
目前，真空镀膜机普遍采用的技术是由一个扩散泵和一个三通歧管相连接，然后由两个高真空阀分别接到歧管法兰上，再由两个高真空阔分别接到两个真空室上，这个结构要有三个部件才能完成，常常使两个真空室分开得较远。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种能实现高产量低成本的双室真空镀膜机用多路阀。
本实用新型的目的是通过如下途径实现的多路控制阀为二层，下层实为一个三通歧管，上层又分为左右两个阀室。这两个阀均为独立的阀，阀盖由各自的动力驱动。每个阀室上有两个接口一个可接真空室；另一个可接粗抽阀。当要对真空室粗抽时，粗袖阀打开，真空室便与粗抽泵直通。当要对某一真空室精抽时，与该真空室连接的阀打开，扩散泵便对它进行精抽。
本实用新型的有益效果是把三通歧管与两个独立的高真空阀集中一体，将扩散泵和两个真空室连接起来，完成一台扩散泵分别对两个真空室的抽气控制。用一个部件取代了老设计中三个部件，同样完成扩散泵与两个其空室的连接和控制。使得双室镀膜执结构更紧凑，制造成本低。
图1为传统的真空镀膜机的分布示意图。
图2为本实用新型主视图。
图3为本实用新型的后视图。
1，高真空泵连接室，2、7、11、12法兰，3、6.高真空阀室，4、5.提动阀，8.隔板，9.阀体，10.高真空阀，13、14粗抽阀。
具体实施方式
下面参照附图对本实用新型作进一步详细说明
参照图2、图3，多路控制阀外形为一方箱。方箱分为二层，下层实为一个三通歧管，一通连高真空泵连接室1。另二通分别与高真空阀室3和6相连。上层分为左右两个阀室3和6。提动阀4和5为独立的阀，阀盖由各自的气缸驱动。每个阀室上有两个法兰接口，如图2，左阀室6的法兰接口为7和11，右阀室3法兰接口为2和12，法兰11和12接两个不同的真空室，法兰2和7接粗抽阀。
当要对真空室3和6粗抽时，与法兰2和7相连的粗抽阀打开，提动阀4和5闭合。真空室便与粗抽泵直通。
当只要对真空室3粗抽时，与法兰2相连的粗抽阀14打开，与法兰7相连的粗抽阀13闭合，提动阀4和5闭合。同理可实现只对真空室6的粗抽。
当要对真空室3精抽时，真空室3上的法兰2连接的粗抽阀14闭合，提动阀4打开，提动阀5闭合，高其空阀10打开，与之相连的扩散泵或分子泵高真空阀室3进行精抽。同理，可实现对高真空阀室6的精抽。
通过对5个阀的控制，可以实现两个真空室之间及精抽与粗抽之间的循环操作。
上述阀的“打开”是指阀处于“通”的状态，“闭合”是指阀处于“不通”。
权利要求1.一种真空镀膜机用多路阀，其特征是阀体内有隔板(8)，把阀体(9)分为两层，一层再分为二个独立的高真空阀室(3、6)，每个高真空阀室(3、6)上都有两个口，一个连真空室(3、6)，另一个连粗抽阀(2、7)，另一层为一三通歧管，一通用于与高真空泵(10)相连，其余二通分别连高真空阀室(3、6)。
专利摘要本实用新型涉及一种双室真空镀膜机用多路阀。目前，真空镀膜多采用由一个扩散泵和一个三通歧管相连接，然后由两个高真空阀分别接到歧管法兰上，再由两个高真空阀分别接到两个真空室上，这个结构要有三个部件才能完成，常常使两个真空室分开得较远。本实用新型的阀体分为两层，一层为二个独立的高真空阀室，另一层为一三通歧管。把双真空室与精抽泵、粗抽泵之间实现了完整的连接，替代了过去常用的一个三通歧管和两个高真空阀的组合，使得双室镀膜机结构更紧凑，成本更低。
文档编号C23C14/56GK2734776SQ20042006890
公开日2005年10月19日 申请日期2004年10月10日 优先权日2004年10月10日
发明者黄国兴 申请人:黄国兴