专利名称：双室真空镀膜机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于装饰镀的真空镀膜机，特别是一种双室真空镀膜机。
背景技术：
众所周知，利用真空蒸发技术或溅射技术在塑料工件表面镀金属达到装饰或反射或导电的目的，现已成熟应用于工业生产，这种传统的真空镀膜机如图1所示。为了提高产量，现有的作法是加大真空室的直径，直径从1.2米到1.4米，1.6米，1.8米，甚至更大。为此配泵也越配越大，粗抽泵由一合变二台，精抽扩散泵由K600泵变为K800，K1000或两台K600并用，这样虽然产量能提高一些，但设备的大型化必然导致设备投资增大，配电增大，占地增大。表1是传统机型的有关数据一览表。
表1 几种传统的镀膜机的有关数据
该传统技术存在如下缺陷1.空间利用率低，由表1的数据得知，传统机型的空间利用率(工件轴总体积/真空室内体积)都不足一半，其真空室内工件架中心轴是沿圆周方向均布的，而且真空室直径越大，需要排的多余空间越多，因此直径越大的真空室必须配置容量更大的粉抽泵2.泵的利用率低，在粗抽时扩散泵是不起作用的，在精抽时大容积的粗抽泵仅作扩散泵的前级，这太浪费了。3.真中室放大，工件装载量增多，这对镀膜不利，为了保证镀膜质量，必须要加大蒸发电源的功率或者磁控电源的功率，这些电源的利用率更低，对设备成本的增加很明显。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种能实现高产量低成本的双室真空镀膜机。
本实用新型的目的是通过如下途径实现的双室真空镀膜机，包括真空室和排气系统，装有工件架[12]及蒸发电极或磁控溅射源[13]的真空室[11]有两个，且排气系统采用粗、精抽分离的双路排气系统[15]、[14]分别连通两个真空室[11]对其交替排气交替镀或溅射镀，交替放气和装卸工件架，粗抽系统[15]是由滑阀泵[18]接罗茨泵[17]后分别接左粗抽阀[16]、右粗抽阀[19]组成；精抽系统[14]是由旋片泵[23]接扩散泵[21]后分别接左精抽阀[20]、右精抽阀[22]组成。真空室[11]内的工件架[12]装有一轴或一轴以上，一轴以上的工件架[12]按其工件架中心轴相互平行方式排列。真空室[11]内的工件架[12]的中心轴最好是平行排列二轴。
本实用新型的有益效果是采用两个真空室，由粗、精抽分离的双路排气系统对两个真空室进行交替排气，与表1中ZZ-1400机型相比，其排气系统的泵、及真空室内的蒸发电极或磁投溅射电源的功率要小，其设备成本及电力配备下降，占地面积小，日产量由传统的24-30轴/小时提高到60轴/小时。
附图给出了本实用新型的一个实施例图1为传统的真空镀膜机的结构示意图；图2为本实用新型实施例1的结构示意图；图3为本实用新型实施例1的俯视图图4、图5分别是真空室内工件架中心轴排列示意图。
具体实施方式
下面参照附图对本实用新型作进一步详细说明参照图1，为传统的真空镀膜机的结构示意图；它有一个大圆筒形真空室1，通常直径为1.2-2米，筒长2米；真空室中心有一组蒸发电极3，蒸发电极3周围均匀分布六个工件轴2，它的真空排气系统4由扩散泵10，罗茨泵17，旋片泵9及上阀6、下阀7精抽阀5组成，粗抽和精抽为一个整体系统，完成真空室的粗抽和精抽。
参照图2、图3，为本实用新型实施例1的结构示意图及俯视图，它采用两个真空室11，每个真空室11内部装有一组蒸发电极13，蒸发电极13也可以用磁控溅射源来取代，每个真空室11内平行装有二轴工件架12，它的排气系统由高真精抽系统14和低真空粗抽系统15组合，高真空精系统14由左精抽阀20、右精抽阀22、扩散泵21、加片泵23组成，低其中粗抽系统15由左粗抽阀16、右粗抽阀19、罗茨泵17、滑阀泵18组成。14和15是完全独立的系统，它的工作过程是当左粗抽阀16开，左室粗抽时，右室的精抽阀已开，正在精抽与镀膜。当左粗抽阀关，左室粗抽完毕时，左精抽阀20开，左室这时转入精抽，心室正在放气，更换工件架12，因此这对高真空精抽系统14的利用率是很高的。同样，当右室更换好工件12需要重新粗抽时，左室已进入精抽阶段，低真空粗抽系统15立即对右室粗抽，所以低真空粗抽系统15的利用率是很充分的。当排气达到一定真空度时，电机27转动带动工件架12转动，接着蒸发器13(或磁控源)开始工作，镀膜开始，镀膜开始完毕后，放气阀25开启，真空室放大气，将门车28拉出，工件架12随之带出，装卸完毕再其新抽真空专11，进行前面所述的粗抽和精抽的排气过程。其粗、粗抽系统的工作过程由自动程序控制，参照图4、图5，工件架中心轴可是多轴成二排或多排排列，或成三角形排列。
权利要求1.一种用于装饰镀的双室真空镀膜机，包括真中室和排气系统，其特征是装有工件架[12]及蒸发电极或磁控溅射源[13]的真空室[11]有两个，且排气系统采用粗、精抽分离的双路排气系统[15][14]分别连通两个真空室[11]对其交替排气交替蒸镀或溅射镀；交替放气和装卸工件架。
2.如权利要求1所述双室其空镀膜机，其特征是真空室[11]内的工件架[12]装有一轴或一轴以上，一轴以上的工件架[12]按其工件架中心轴相互平行方式排列。
3.如权利要求1所述双室真空镀膜机，其特征是真空室[11]内的工件架[12]的中心轴平行排列二轴。
4.如权利要求1所述双室真空镀膜机，其特征是粗抽系统[15]是由滑阀泵[18]接罗茨泵[17]后分别接左粗抽阀[16]、右粗抽阀[19]组成；精抽系统[14]是由旋片泵[23]接扩散泵[21]后分别接左精抽阀[20]、右精抽阀[22]组成，粗抽系统[15]完全独立与精抽系统[14]。
专利摘要本实用新型涉及一种用于装饰镀的真空镀膜机，它主要由两个真空室，采用粗、精抽分离的双路排气系统对两个真中室交替排气组成，它占地面积小，设备成本及电力配备比现有的镀膜机下降，且产量由传统的24－30轴/小时提高到60轴/小时。
文档编号C23C14/35GK2734773SQ200420068899
公开日2005年10月19日 申请日期2004年10月10日 优先权日2004年10月10日
发明者黄国兴 申请人:黄国兴