专利名称：制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器的制作方法
技术领域：
本发明涉及太阳电池叠层结构制作装置，特别是涉及制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器。
背景技术：
太阳电池以其清洁能源、无污染、成本低的优势被普遍的推广与应用。太阳电池的光电转换效率和稳定性关键在于叠层结构。为了提高太阳电池的效率和稳定性，要求制备太阳电池叠层结构膜层均匀，其膜层厚度可控，叠层介面清晰，无相互扩散，现有成膜技术对高技术指标的要求还有些差距。
发明内容本发明要解决的技术问题，是提供一种制备太阳电池叠层结构膜层均匀，厚度可控，叠层介面清晰，无相互扩散，完全满足使用要求的制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器。
采用的技术方案是制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器，包括喷雾头、金属源进气管、气帘进气管、氢化物进气管、冷却水管、气帘板、栅网。所述的喷雾头由第一层气室、第二层气室、金属源喷雾管、氢化物喷雾管、水套构成。第一层气室连接第二层气室，第二层气室连接水套，金属源喷雾管连接第二层气室并相通，氢化物喷雾管连接第二层气室并相通构成一个整体喷雾头。栅网通过螺钉固定在喷雾头上，位于金属源喷雾管和氢化物喷物管下面，气帘板通过螺钉固定在喷雾头上，位于栅网外侧。金属源进气管固定连接在第二层气室上并相通，氢化物进气管固定连接在第一层气室上并相通，气帘进气管固定连接在喷物头两侧上与气帘板围成的空间相通，冷却水管固定连接在水套上并相通。喷雾头设有法兰，喷雾头通过法兰固定在MOCVD真空室中，构成制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器。
本发明经过多次试验实用，制备太阳电池叠层结构均匀，叠层介面清晰，无相互扩散，成模技术指标的质量提高一个等级，优点是，可以提高电池的光电转换效率，减薄电池厚度，保持较大光电流强度，缩短制备时间，可降低太阳电池生产成本。
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器，包括喷雾头1金属源进气管5、气帘进气管6、氢化物进气管7、冷却水管8、气帘板14、栅网10。全部采用不锈钢结构，氩弧焊接，整体经电解抛光处理，按超高真空10-8pa以上的真空清洗工艺清洗组装。所述的喷雾头1由第一层气室4、第二层气室3、金属源喷雾管12、氢化物喷雾管11、水套13构成。第一层气室4连接第二层气室3，第二层气室3连接水套13，金属源喷雾管12连接第二层气室3并相通，氢化物喷雾管11连接第一层气室4并相通构成一个整体喷雾头1。栅网10通过螺钉固定在喷雾头1上，位于金属源喷雾管12和氢化物喷雾管11下面，气帘板14通过螺钉固定在喷雾头1上，位于栅网10外侧。金属源进气管5焊接在第二层气室3上并相通，氢化物进气管7焊接在第一层气室4上并相通，气帘进气管6焊接在喷物头1两侧上与气帘板14围成的空间相通，气帘板14与喷雾头1之间空隙形成气帘9，冷却水管8焊接在水套13上并相通。喷雾头1设有法兰2，喷雾头1通过法兰2固定在MOCVD真空室中。金属源喷雾管12和氢化物喷雾管11的孔径为Φ0.5-2.0mm，根据气体种类而定。栅网10孔径或目数根据喷雾气体需求而定，构成制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器。
工作原理金属源气体通过金属源进气管5进入第二层气室3，通过水套13冷却由金属源喷雾管12喷出，氢化物气通过氢化物进气管7进入第一层气室4，不需冷却经氢化物喷雾管11喷出，在栅网10前混合经栅网10喷出。通过气帘进气管6进入工作气体经气帘板14喷出气帘9，由气帘9将金属源气及氢化物气限定在规定的喷雾区内，保证喷雾成膜均匀可控。
权利要求
1.制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器，包括喷雾头(1)金属源进气管(5)、气帘进气管(6)、氢化物进气管(7)、冷却水管(8)、气帘板(14)、栅网(10)，其特征在于所述的喷雾头(1)由第一层气室(4)、第二层气室(3)、金属源喷雾管(12)、氢化物喷雾管(11)、水套(13)构成，第一层气室(4)连接第二层气室(3)，第二层气室(3)连接水套(13)，金属源喷雾管(12)连接第二层气室(3)并相通，氢化物喷雾管(11)连接第一层气室(4)并相通构成一个整体喷雾头(1)，栅网(10)通过螺钉固定在喷雾头(1)上，位于金属源喷雾管(12)和氢化物喷雾管(11)下面，气帘板(14)通过螺钉固定在喷雾头(1)上，位于栅网(10)外侧，金属源进气管(5)固定连接在第二层气室(3)上并相通，氢化物进气管(7)固定连接在第一层气室(4)上并相通，气帘进气管(6)固定连接在喷雾头(1)两侧上与气帘板(14)围成的空间相通，气帘板(14)与喷雾头(1)之间空隙形成气帘(9)，冷却水管(8)固定连接在水套(13)上并相通，喷雾头(1)设有法兰(2)，喷雾头(1)通过法兰(2)固定在MOCVD真空室中。
全文摘要
制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器，包括喷雾头、金属源进气管、气帘进气管、氢化物进气管、冷却水管、气帘板、栅网。所述的喷雾头由第一层气室连接第二层气室，第二层气室连接水套，金属源喷雾管连接第二层气室，氢化物喷雾管连接第二层气室构成一个整体喷雾头。栅网和气帘板分别固定在喷雾头下面。金属源进气管固定连接在第二层气室上并相通，氢化物进气管固定连接在第一层气室并相通，气帘进气管固定连接在喷雾头两侧上与气帘板围成的空间相通，冷却水管固定连接水套。喷雾头通过法兰固定在MOCVD真空室中，构成制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器。优点是叠层结构均匀，叠层界面清晰，无相互扩散，使成模技术指标质量提高一个等级，可提高电池的光电转换效率。
文档编号C23C16/52GK1827230SQ200610046300
公开日2006年9月6日 申请日期2006年4月13日 优先权日2006年4月13日
发明者董毅 申请人:沈阳慧宇真空技术有限公司