专利名称：蒸发器的制作方法
技术领域：
本发明涉及例如用于薄膜生产中蒸发材料的蒸发源。
背景技术：
安全壳用于蒸发材料例如在基材上沉积膜材。通常，这种安全壳是能承受高温的坩埚，用于蒸发坩埚内容物。在光电工业中，例如材料诸如铜、铝、铟、镓或硒进行蒸发并作为薄膜涂层沉积在基材上。坩埚利用传统装置诸如电阻加热丝、电感加热等来加热，以提供蒸发系统。坩埚可以在基材下布置成阵列，基材在经过蒸发系统顶部上方的时候被蒸发的材料涂布。所述系统在足够地的真空下操作，以允许蒸发金属。许多技术类似于用于分子束外延(MBE)的技术，分子束外延具有足够地的真空，以提供从坩埚到基材的分子束流。理想的情况是，坩埚具有若干期望的特征。它们应该耐受它们保持的熔融材料的腐蚀现象以及耐受金属蒸汽腐蚀。它们应该在高达1800°C并在真空中时保持稳定。它们应该容易以足量体积的成膜材料填充、容易加热，并且它们应该具有设计成控制从坩埚流向基材的蒸汽流图案的顶部开口几何结构。对于MBE来说是这样的，并且在文献中有翔实地记载，通过逻辑延伸，这些也是光电工业所需要的。通常，坩埚用这样的材料制成，例如热压氮化硼(hpBN)、热解氮化硼(pBN)和石墨 (具体来说，以PBN涂布的石墨)。坩埚可以表现为各种形式，但是一般为柱状或者锥形，尺寸处于直径10mm、长度 20mm到直径100mm、长度400mm的量级。对于光电需求来说，标准尺寸的生产板通常为 1200mmX600mm，更大尺寸的坩埚和加热器具有优势。以往，MBE坩埚在顶部开放，具有基本上平直的柱状侧壁，或者开口很大的锥形。部分原因是，这样帮助控制“射束”流动。坩埚顶部的形状影响沉积分布，并且影响原材料的稳定性。锥形出口的锥体似乎在MBE工业中是优选方案。MBE单元通常以大约45°的角度使用，所以开放的锥形可能不能保持足量的材料。在倾翻到一定角度，开放的锥形将泼洒出其内容物。一件式的整体坩埚，具有较大的主体和狭窄的开口，在本领域是已知的。这种设计可以根据标记SUMO 从Veeco Instruments Inc.买至丨J。对于许多金属源来说，为坩埚选择的材料是热解氮化硼(pBN)。pBN是通过在石墨心轴上化学气相沉积(CVD)而形成的。为了制作开口狭窄的坩埚部件，该狭窄的开口机加工成石墨心轴，然后用pBN对该心轴进行CVD涂布，然后将心轴氧化而脱离坩埚主体。美国专利No. 4，812，326公开了具有两件式设计的蒸发源。蒸发材料被气化并通过具有扩张开口的喷嘴喷出，以控制蒸汽喷流的原子束的尺寸。W096/35091和W098/08780公开了单体的一件式负拉伸坩埚，用于MBE泄流室。坩埚结构仍然存在改进需求，以适应MBE过程以及其他光电生产领域中的热蒸发过程。
发明内容
文中提供了蒸发材料以用于向基材施加薄膜涂层的安全壳。在一种实施方式中， 安全壳包括以难熔陶瓷材料制成的至少一个单件式单体主体，所述主体包括用于容纳待蒸发材料的存储部，并具有两个相对的端部，所述端部具有与所述端部关联以允许至少两个所述主体以头对头的方式机械结合的装置，以使每个主体的存储部接合形成连续的内部空间；和控制蒸汽从所述安全壳排出的装置。在另一种实施方式中，安全壳包括以难熔陶瓷材料制成的至少一个主体，所述主体具有容纳待蒸发材料的存储部。所述主体进一步包括包含在所述主体的外表面中的加热装置。所述安全壳进一步包括用于控制蒸汽从其排出的装置。在另一种实施方式中，所述安全壳包括两个部件，这两个部件彼此接合，以便在它们之间形成气密密封，而不需要外涂布。所述安全壳具有优势地为布置用于薄膜涂布基材的系统提供灵活性和适应性。
以下参照附图描述各种实施方式，在附图中图1示出了本发明的坩埚的管状第一实施方式；图IA是坩埚的另一种管状实施方式的截面图；图2示出了本发明坩埚的第二实施方式；图2A示出了带有中间垫片构件的图2所示实施方式的坩埚组件；图3示出了用于图2所示实施方式的盖板；图4是局部剖切的透视图，示出了本发明具有沙漏状上部分的大致柱状的实施方式；图5示出了坩埚的细长实施方式；图6示出了本发明坩埚的另一种实施方式；图7示出了带有设计的配电系统的实施方式；图8是包括两部件坩埚的本发明另一种实施方式的分解局部截面图；和图9是两部件坩埚的另一种实施方式。
具体实施例方式如文中使用，可以使用近似的语言来改动可以变化而不会导致与其相关的基本功能发生变化的任何定量表示。因此，被术语或多个术语诸如“大约”和“基本上”更改的取值，在某些情况下可以不局限于具体指定的精确值。如文中所用，术语“坩埚”可以与“器皿”或“容器”互换使用。术语“多件”可以与 “多部件”或“多个部件”互换使用，以指代构成本发明的单体(或一件式、单一本体)坩埚的多个部件。 现在参照图1，在一种实施方式中，本发明的安全壳100包括柱状主体110，柱状主体具有由内表面115限定的中轴孔111。孔111为容纳待蒸发的材料提供存储部。多个间隔的开口 116沿着该主体的长度设置成至少一个线性列。开口 116从主体110的中部117的外表面113延伸到孔111，从而允许蒸汽从孔由此逃逸。主体110包括中部部分117和相对的端部部分112和114。在一种实施方式中，端部部分112的外表面113a和端部部分112的内表面11 向内逐渐收缩，以提供逐渐变小的外径。端部部分114向外扩张，从而提供逐渐增大的孔径。可以选择地，端部部分114的环形外表面IHa和内表面可以向外扩张。但是，在容器实施方式IlOa中，如图IA所示，主体110的端部部分114的外表面11 可以与中部117的外表面具有相同的直径，而主体在端部部分114的内表面114b向外扩张，从而提供逐渐增大的孔径。端部部分112的内表面可以与内表面115具有相同的直径，而只有外表面113a向内收缩。优选，端部部分112的收缩的外表面113的斜度遵循端部部分114的扩张的内表面114b的向外的斜度，从而有利于安全壳IOOa的各主体的端表面的配合。端部部分112和114的这种结构的目的是提供一种将两个或更多个容器主体110以头对头的方式组装在一起的手段，从而提供能通过接合适当数量的主体而改变长度的安全壳组件，其中存储部，即单个主体的孔111相接合，以提供连续的内部空间。扩张的表面114b向外扩张，而收缩表面113a以大约3度到大约10 度的角度向内倾斜，并且通常使得加压接头的摩擦配合提供一种稳定的结构。每个单独主体110优选是单件一体构造，并且用从B、Al、Si、( 、难熔硬质金属、 过渡金属、稀土金属或它们的络合物和/或组合物中选择的元素的氮化物、碳化物、碳氮化物、氧氮化物来制造。在一种实施方式中，坩埚体用难熔陶瓷诸如氮化铝(AlN)、二硼化钛制造，并优选用热解氮化硼(PBN)或pBN涂布的石墨制造。制造这种器皿的方法在本领域是已知的。现在参照图2和3，在第二实施方式中，容器200包括大致纵向延伸的主体210，该主体具有弧形内表面211和大致U形的横截面。弧形内表面211限定了用来容纳待蒸发的材料(例如，金属诸如Cu、Al、In、Ga、Se等)的存储部。主体210优选为单件一体式构造并优选用PBN或pBN涂布的石墨制造。主体210包括长度方向延伸的线性凸缘部分214和 215，以及终端弧形凸缘部分212和213。终端凸缘部分212和213分别包括一个或多个开口 219和218。线性凸缘部分214和215分别包括一个或多个开口 216和217。开口 218和 219适配成接收紧固件诸如螺钉、螺栓(未示出)等，并配置成彼此对准从而有利于单个主体210头对头地可拆卸地组装，由此形成长度可以根据需要改变的安全壳组件，其中由单个主体210的内表面211限定的存储部相接合，以提供连续的内部空间。可选地，主体210 的一端可以包括纵向延伸的弧形凸缘205，而另一端可以包括弧形凹陷部分206，该凹陷部分206因为下述原因配置并确定尺寸为匹配所述凸缘205。盖板220(图3)配置并确定尺寸从而安装到主体210的顶部。盖板包括一个或多个开口 226，开口 2 配置成与线性凸缘部分214的开口 216对准；和一个或多个开口 227，开口 227配置成与主体210的线性凸缘部分215的开口 217对准，从而接收紧固件(螺钉、螺栓等)，以允许将板220可拆卸地安装到主体210。板220包括多个开口 222，以允许蒸汽由此排出。图2A示出了主体210a和210b头对头地接合在一起的组件，其中垫片230设置于它们之间。所述垫片优选用石墨制成，诸如Grafoil型垫片，并且呈月牙形以匹配终端弧形凸缘212和213。优选，垫片230受到悬挂于垫片上的纵向延伸的弧形凸缘205的保护，不与熔融金属涂布材料接触。所述垫片还抑制相连的单个主体在终端凸缘212和213处发生 “焊接”，否则由于蒸发金属在所述主体之间沉积将导致发生焊接。
现在参照图4，在另一种实施方式中，容器300包括坩埚体310，坩埚体具有用于包含待蒸发材料的内部存储部313。主体310具有柱状部分311和沙漏状的上部312，所述上部向狭窄部分316收缩，并且此后扩张成环形顶部开口 314。狭窄部分316配置并确定尺寸，从而提供适配地控制流经于此的蒸汽的数量和方向的横截面。主体310优选用非导电材料诸如PBN制成，但是包括以热解石墨或松散石墨制成的成整体的图案化难熔电导体 315，电导体围绕主体310的柱状部分311的外部缠绕。制作整体加热器的方法在美国专利 No. 7，259，358中描述，该专利通过引用包含在本说明书中。优选，导体315利用额外的pBN层外涂布，在一种实施方式中，电源320借助导线 321a和321b分别连接到导电线路315的终端点31 和31恥。在操作过程中，施加在导电线路315上的电力使得其将主体310加热到足够高的温度，以便让容器内部存储部313内的至少一部分内容物蒸发。加热可以是电阻加热或电感加热。现在参照图5，在替代实施方式400中，所述容器包括具有下部411的主体410，所述主体具有适配地容纳待蒸发材料的内部存储部。与先前描述的实施方式的柱状主体310 不同的是，实施方式400的主体410具有矩形箱式结构，带有沿着轴线A的线性长度延伸部。上部412向狭窄部分416收缩并且横向扩张成矩形顶部开口 414。狭窄部分416配置并确定尺寸，从而提供适配地控制由此流过的蒸汽的数量和方向的横截出口区域。主体410 优选用PBN制成，但是也可以包括以热解石墨或松散石墨制成的成整体的图案化导体415， 该导体沿着一个或两个长边413a和/或41 延伸。优选，导体415以pBN层外涂布。通常，主体410具有的长度L为从IOOmm到600mm，以覆盖标准光电(“PV”)面板的宽度，或者高达1200mm，以覆盖标准PV面板的长度，并且宽度W根据需要为从大约50mm到大约IOOmm 以上，以包含容量足够大的材料，以实现操作效率。在使用时，电源420借助导线421a和 421b分别连接到导电线路415的终端点41 和415b。在操作过程中，施加在导电线路415 上的电力导致其将主体410加热到足够高的温度，以使安全壳400的至少一部分内容物蒸发。加热可以利用电阻加热或电感加热来实现。在另一种实施方式中，现在参照图6，安全壳500包括具有由壁511限定的矩形箱式结构的主体510，所述壁包围用于容纳待蒸发材料的内部存储部513。开口 514穿过主体 514的顶部延伸。可选地，主体510包括沿着壁511的顶部表面的开口 518，以接收紧固件， 利用所述紧固件，诸如图3所示以及上面所述的板可以连接，以调节从安全壳500排出的蒸汽。主体510优选以pBN制成，但是包括热解石墨或松散石墨制成的成整体的图案化导体515，该导体沿着至少一个或两个长边511a和511b延伸。导体515优选以pBN层外涂布。主体510的长度和宽度尺寸可以类似于上述主体410的长度和宽度。在使用时，电源 520借助导线521a和521b分别连接到终端点51 和51恥。在操作过程中，如上所述，电力施加在导电线路515上，以加热主体510。加热可以利用电阻加热来实现。作为替代，可以采用电感加热。可选地，在图1和2中说明的本发明实施方式100和200可以包括实施方式300、 400或500的加热装置(例如315,415或515)。现在参照图7，图中示出安全壳的实施方式600包括具有下部611的主体610，主体具有适配地容纳待蒸发的材料的内部存储部。上部颈部612向狭窄部分616收缩，并横向扩张成矩形顶部开口 614。狭窄部分616配置并确定尺寸，以提供适配地控制由此流过的蒸汽的数量和方向的横截出口区域。主体610优选用非导电难熔陶瓷诸如pBN制成，但是包括电解石墨或松散石墨制成的成整体的图案化导电体641，导电体沿着一个或者两个长边613a和61 延伸。优选导体641以pBN层外涂布。在使用时，供电系统640包括导电引线643和644，并且电源642连接到导体641，以便将安全壳600加热到足以蒸发主体 610内的材料的温度。材料冷凝是本发明所述这种涂布过程中经常发生的问题。例如，一些从安全壳下部611蒸发的材料可能在沙漏形上部612中冷凝并且沉积在内壁上相对较冷的部分。这种沉积材料可能阻碍蒸汽流动并导致涂布过程不均勻。为了缓解这一问题，本发明包括设计的配电系统，这种系统包括定制的电极。就是说，包含在安全壳壁中的成整体的图案化导体定位并配置成向安全壳有选择地分配或多或少的电力，以补偿容器冷凝的温度和区域差异。因此，通过向受影响的区域施加更多电力来克服冷点。参照图7，导体631，即定制电极，包含在主体610的上部612处的表面中。导电线路631可以通过间隔地更近或者利用其他适当配置来进行图案化，从而向安全壳600的较冷点施加不同的热量，从而提供更为均勻的加热。导体631可以与导体641 —样连接到相同的供电件640，或者可以与导体641分开或者与其整合。在另一种实施方式中，导体631 可以连接到包括电线633和634的单独的供电件630和电源632。可以调节电力等级来满足局部的加热补偿需求，并消除在安全壳600的内表面上可能发生的不希望出现的材料冷凝现象的冷点。现在参照图8和9，图中示出了两件式“Sumo型”坩埚。如前所述，为了将单件式 pBN坩埚制作成带有狭窄的开口，pBN通常通过化学气相沉积而沉积到适当形状的石墨心轴上，以形成坩埚的主体。但是，石墨心轴必须氧化来去除，因为它无法从坩埚中机械地撤回。为了缓解这一问题，已经制作了多件式坩埚，正如例如美国专利公开No. 2007/0289526 中所公开。石墨心轴可以从各坩埚部件物理地分开。然后将这些部件组装起来。然而在该参考文件中描述的方法仍然要求额外的步骤，即至少在接头处外涂布组装起来的坩埚部件，从而提供气密密封。正如文中所用，术语“气密密封”指的是在坩埚暴露于熔融金属并持续至少8小时的连续周期之后，坩埚部件的接头处不存在可见泄漏/失效。已经发现了一种方法来提供并组装两件式坩埚，这种坩埚免于需要额外的外涂布。通过pBN或者可以制作坩埚的其他材料的CVD沉积，在单独的石墨心轴上制造单个部件。然后石墨心轴从坩埚主体部件物理地分离。此处所述坩埚的重要特征是收缩端部，所述收缩端部彼此接合并紧密配合，从而提供致密的密封，以免除对任何后续外涂布的需求。这意味着显著节省了制造过程的时间、劳动力和花费。现在更具体地参照图8，两件式坩埚700包括上部部件710和用于容纳待蒸发的材料的下部部件720。上部部件710包括限定蒸汽流动路径712的漏斗状主体711，该蒸汽流动路径具有狭窄的开口部分713，用于控制由此流过的蒸汽。上部部件的宽阔底部部分714 终止于收缩的环形部分715。收缩的环形部分715面向外的表面适配成紧密地接合下部部件720的上部处的相应收缩的面向内的环形表面723。下部部件720包括柱状的主体721，该主体具有开放的上端722和闭合的底端724。主体721在上端附近的厚度减小，以提供收缩的表面723。但是， 主体721的外径在主体的整个长度上保持均勻。通过将上部部件的底部部分714插入下部部件的开放上端722，将上部部件710和下部部件接合起来，从而以紧密配合的接合关系配合收缩表面715和723。然后组装的坩埚700可以用于蒸发涂布过程，而不需要外涂布来密封接头区域。作为替代，顶部和底部部分的收缩角度可以相反。现在参照图9，图中示出两件式坩埚的替代实施方式的一部分，其中上部部件的壁 716终止于环形部分717，并且例如通过壁716厚度的减薄部位提供收缩的外表面718。底部部件7 包括向外扩张的环形上部部分727，以接收上部部件的收缩部分 717。扩张部分727从垂直取向V沿着倾斜取向A向外扩张，其中V和A之间的夹角α从大约3度到大约10度，并且通常使得加压接头的摩擦配合提供稳定的结构。底部部件726的上边缘7 和上部部件的壁716的下边缘719之间的插入深度可以介于从大约1到4mm的最小插入深度Dmin到从大约9mm到大约Ilmm的最大插入深度 Dmax之间，以保证上部和下部部件之间形成紧密配合，从而提供机械上结实的致密密封，而不需要外涂布该接头，并且在两个部件之间提供充分的密封，以防止原材料过多地泄漏。在本发明的实施方式中，插入深度介于3mm(Dmin)到IOmm(Dmax)之间。虽然以上描述包含具体特征，但是这些具体特征并不应该理解为限制本发明，而是仅仅用于例述本发明的优选实施方式。本领域技术人员将预见到由附带的权利要求书限定的本发明的范围和精神之内的许多其他实施方式。
权利要求
1.一种用于蒸发材料以便向基材施加涂层的安全壳，所述安全壳包括a)以难熔材料制成的至少一个单件式单体主体，所述主体包括用于容纳待蒸发材料的存储部，并具有两个相对的端部，所述端部具有与所述端部关联以允许至少两个所述主体以头对头的方式机械结合的装置，以使每个主体的存储部接合形成连续的内部空间。
2.如权利要求1所述的安全壳，进一步包括b)控制蒸汽从所述安全壳排出的装置。
3.如权利要求1所述的安全壳，其特征在于，所述难熔材料从热解氮化硼和以热解氮化硼涂布的热解石墨中选择。
4.如权利要求1所述的安全壳，其特征在于，所述至少一个主体包括柱状壁，并且所述存储部由在该主体中限定轴向孔的柱状壁的内表面提供。
5.如权利要求4所述的安全壳，其特征在于，所述主体包括第一端部部分，所述第一端部部分具有向较小的外径收缩的环状外表面；和与所述第一端部部分相对的第二端部部分，所述第二端部部分具有向更大内径向外扩张的环形内表面，以使一个柱状主体的第一端部部分配置并确定尺寸为接收在另一个柱状主体的第二端部部分内。
6.如权利要求4所述的安全壳，其特征在于，控制蒸汽从所述安全壳排出的装置包括柱状壁上的多个开口，所述开口布置成沿着所述主体长度方向延伸的至少一列，并配置和确定尺寸为控制由此经过的蒸汽。
7.如权利要求2所述的安全壳，其特征在于，所述主体纵向延伸并具有大致U形的横截面，所述存储部由弧形内表面至少部分地限定。
8.如权利要求7所述的安全壳，进一步包括第一端部部分，所述第一端部部分具有径向延伸的第一弧形凸缘；第二端部部分，所述第二端部部分具有径向延伸的第二弧形凸缘； 从所述主体的第一纵向边缘横向延伸的第一线性凸缘；和从所述主体的第二纵向边缘横向延伸的第二线性凸缘。
9.如权利要求8所述的安全壳，其特征在于，所述径向延伸的第一和第二弧形凸缘每一个包括至少一个开口，所述开口对准，从而接收用于将安全壳彼此接合的紧固件。
10.如权利要求8所述的安全壳，其特征在于，所述控制蒸汽排出的装置包括板构件， 所述板构件可拆卸地连接到第一和第二线性凸缘，并具有配置并确定尺寸为控制蒸汽通过的多个开口。
11.如权利要求5所述的安全壳，包括能以头对头的方式可拆卸地连接在一起的两个或更多个主体。
12.如权利要求8所述的安全壳，包括能以头对头的方式可拆卸地连接在一起的两个或更多个主体。
13.如权利要求12所述的安全壳，进一步包括设置在相邻的主体的弧形凸缘之间的垫片。
14.如权利要求13所述的安全壳，其特征在于，所述垫片用石墨制成。
15.如权利要求13所述的安全壳，其特征在于，一个主体的端部部分上的第一纵向延伸的弧形凸缘与相邻主体的第二端部部分上的弧形凹部配合，从而悬挂所述垫片并阻止垫片与存储部中的材料发生接触。
16.一种用于蒸发材料以便向基材施加薄膜涂层的安全壳，所述安全壳包括a)以难熔陶瓷材料制成的至少一个主体，所述主体包括用于容纳待蒸发材料的存储部；b)包含在所述主体的至少一个外表面部分中的加热装置；和c)控制蒸汽从所述安全壳排出的装置。
17.如权利要求16所述的安全壳，其特征在于，所述难熔陶瓷材料包括热解氮化硼。
18.如权利要求16所述的安全壳，其特征在于，所述主体包括包围所述存储部的大致柱状壁，和从所述大致柱状部分延伸的大致沙漏状出口部分。
19.如权利要求16所述的安全壳，其特征在于，所述主体包括纵向延伸的矩形部分。
20.如权利要求19所述的安全壳，其特征在于，所述主体进一步包括从所述矩形部分延伸并具有大致沙漏状截面的顶部部分。
21.如权利要求16所述的安全壳，其特征在于，所述加热装置包括与所述主体的外表面成整体的难熔导体。
22.如权利要求21所述的安全壳，其特征在于，所述导体包括热解石墨或松散石墨。
23.如权利要求16所述的安全壳，其特征在于，控制蒸汽排出的装置由沙漏状部分的内径收窄的部分提供，所述内径收窄的部分表现出截面出口区域，该出口区域确定尺寸为控制蒸汽由此通过。
24.如权利要求16所述的安全壳，其特征在于，控制蒸汽从所述安全壳排出的装置包括板构件，所述板构件可拆卸地安装到在所述主体中限定上部开口的周边凸缘，所述板具有配置并确定尺寸为控制蒸汽通过的多个开口。
25.一种向基材施加薄膜涂层的系统，包括权利要求16所述的安全壳和电源。
26.一种用于蒸发材料以便向基材施加薄膜涂层的安全壳，所述安全壳包括a)以难熔陶瓷材料制成的至少一个主体，所述主体包括用于容纳待蒸发材料的存储部，b)包含在所述主体的至少一个外表面部分中的加热装置，其中所述加热装置是经过设计的配电系统，该配电系统包括定制电极，所述定制电极定位、配置并确定尺寸，以便向所述主体的选定部分应用不同程度的加热。
27.如权利要求沈所述的安全壳，其特征在于，所述主体包括狭窄的颈部，并且所述定制电极沿着所述颈部设置。
28.一种向基材施加涂层的过程，包括步骤a)提供安全壳，所述安全壳包括以难熔陶瓷材料制成的至少一个主体，所述主体包括用于容纳待蒸发材料的存储部；和控制蒸发材料通过所述安全壳的出口流动的装置；b)将所述安全壳定位在待涂布的基材附近，以使从所述安全壳流出的蒸发材料接触所述基材的表面并在其上冷凝，以提供所述涂层；和c)向所述主体施加图案化的程度的加热，以防止在所述主体的内表面上形成材料会发生冷凝的较冷区域。
29.一种用于蒸发涂布材料以便向基材施加涂层的安全壳，所述安全壳包括a)用难熔陶瓷材料制成的上部部件，该上部部件限定内部通道，用于蒸汽从中流过， 并具有内径相对较小以控制蒸汽流动的部分，所述上部部件包括带有收缩外表面的底部部分；和b)用难熔陶瓷材料制成的下部部件，所述下部部件限定内部空间用于容纳待蒸发的材料，并具有适配成紧密接合所述上部部件的所述底部部分的所述收缩外表面从而与其形成机械接合的上部部分。
30.如权利要求四所述的安全壳，其特征在于，所述难熔陶瓷材料包括热解氮化硼。
31.如权利要求四所述的安全壳，其特征在于，所述上部部件的所述底部部分为环状， 并且所述外表面向内收缩。
32.如权利要求31所述的安全壳，其特征在于，所述下部部件包括位于其上端的环状部分，所述环状部分包括向外倾斜的内表面。
33.如权利要求31所述的安全壳，其特征在于，所述下部部件包括位于其上端的环状部分，所述环状部分以对应于所述上部部件的所述底部部分的所述外表面的斜度的角度向外扩张。
34.如权利要求33所述的安全壳，其特征在于，所述上部部件插入所述下部部件的深度介于从大约3mm到大约IOmm之间。
全文摘要
一种用于蒸发材料以便向基材施加涂层的安全壳(100)包括用难熔材料制成的主体(110)。在一种实施方式中，所述主体包括能以头对头的方式连接到其他主体的端部部分(112、114)。在另一种实施方式中，所述主体包括包含在所述主体的外表面部分中的整体的图案化导体，以便于与电源关联，用于加热。
文档编号C23C14/24GK102177272SQ200980140280
公开日2011年9月7日 申请日期2009年8月6日 优先权日2008年8月12日
发明者卢忠浩, 小唐纳德.W.普尔茨, 廖峰, 戴维.M.拉辛科, 约翰.马里纳, 蒂莫西.J.赫吉尔, 道格拉斯.A.朗沃思 申请人:莫门蒂夫性能材料股份有限公司