专利名称：一种化学机械研磨样品固定工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及化学机械研磨技术领域，特别涉及一种化学机械研磨样品固定工具。
背景技术：
化学机械抛光(CMP)是利用混有极小磨粒的化学溶液与加工表面发生化学反应 来改变其表面的化学键，生成容易以机械方式去除的产物，再经机械摩擦去除化学反应物 获得超光滑无损伤的平坦化表面的。图1为现有的化学机械研磨设备的结构示意图，如图1所示，该装置包括外壳 101，表面贴有研磨垫的转台102和用于输送研磨液的研磨液供应管103。现有技术中研磨 时，先将待研磨样品104的待研磨面向下放置于研磨垫上，通过手在待研磨样品104上施加 向下的压力，使待研磨样品104的待研磨面紧压到研磨垫上；然后，表面贴有研磨垫的转台 102在电机的带动下旋转，实现机械对待研磨样品104的研磨；同时，研磨液通过研磨液供 应管103输送到研磨垫上，并利用转台旋转的离心力均勻地分布在研磨垫上，在待研磨样 品104和研磨垫之间形成一层液体薄膜，该薄膜与待研磨样品104的表面发生化学反应，生 成易去除的产物。这一过程结合机械作用和化学反应将待研磨样品104表面的材料去除。现有技术中在对待研磨样品进行研磨时通常通过人手向样品施加压力将样品压 在研磨垫上实施机械研磨，这样研磨起来力度较难把握，容易造成研磨结果的不稳定性，且 研磨起来比较浪费时间。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种化学机械研磨样品固定工具，以解决现 有技术中通过人手向研磨样品施加压力将样品压在研磨垫上实施机械研磨，研磨起来力度 较难把握，容易造成研磨结果的不稳定性，且研磨起来比较浪费时间的问题。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种化学机械研磨样品固定工具，包括平 板本体，所述平板本体上具有中空的样品定位孔，所述样品定位孔的两侧具有中空的样品 定位轨道；所述平板本体之上置有样品固定板，所述样品固定板上设置有中空的样品固定 筒，所述样品固定筒的两端均为开放式，所述样品固定板的两端通过固定件固定于所述样 品定位轨道上，所述样品固定筒置于所述样品定位孔之内。可选的，所述平板本体上的样品定位孔为一个或一个以上。可选的，所述平板本体的两端具有垂直于所述平板本体的凸起。可选的，所述化学机械研磨样品固定工具的材质为铁或不锈钢。使用本实用新型的化学机械研磨样品固定工具对样品进行研磨时，可使样品固定 于化学机械研磨设备的转盘之上，且对样品施以均勻的力度，使得样品研磨得到的研磨面 非常平整，且可使研磨的结果比较稳定，不但无需工程师手工按住样品，有效节约了人力成 本，且本实用新型的化学机械研磨样品固定工具本身相较于全自动的化学机械研磨样品固定工具成本低廉，易于制造使用。
图1为现有的化学机械研磨设备的结构示意图；图2为本实用新型的化学机械研磨样品固定工具的俯视结构示意图；图3为本实用新型的化学机械研磨样品固定工具的侧视结构示意图；图图如为本实用新型的化学机械研磨样品固定工具中加重装置的侧视结构 示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，
以下结合附图对本 实用新型的具体实施方式
做详细的说明。本实用新型的化学机械研磨样品固定工具可广泛应用于多种领域，并且可以利用 多种替换方式实现，下面是通过较佳的实施例来加以说明，当然本实用新型并不局限于该 具体实施例，本领域内的普通技术人员所熟知的一般的替换无疑地涵盖在本实用新型的保 护范围内。其次，本实用新型利用示意图进行了详细描述，在详述本实用新型实施例时，为了 便于说明，示意图不依一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。请参看图2和图3，图2为本实用新型的化学机械研磨样品固定工具的俯视结构 示意图，图3为本实用新型的化学机械研磨样品固定工具的侧视结构示意图。如图2和图 3所示，本实用新型的化学机械研磨样品固定工具包括平板本体200，所述平板本体200上 具有中空的样品定位孔201，所述样品定位孔201的两侧具有中空的样品定位轨道202 ；所 述平板本体200之上置有样品固定板210，所述样品固定板210上设置有中空的样品固定筒 211，所述样品固定筒211的两端均为开放式，所述样品固定板210的两端通过固定件212 固定于所述样品定位轨道202上，所述样品固定筒211置于所述样品定位孔201之内。所 述样品固定板210可在所述样品定位孔内201沿所述样品定位轨道202移动固定于不同的 位置。所述平板本体200上的样品定位孔201为一个或一个以上。所述平板本体200的两 端具有垂直于所述平板本体的凸起203，用于使所述平板本体200在置于化学机械研磨设 备的外壳上时不会滑落。所述化学机械研磨样品固定工具的材质为铁或不锈钢。本实用新型的化学机械研磨样品固定工具在使用时将其平板本体200放置于化 学机械研磨设备的外壳之上，使得所述样品固定筒211悬于所述化学机械研磨设备的研磨 垫上空，需进行化学机械研磨的样品被放置于所述样品固定筒211内，样品的待研磨面朝 向所述化学机械研磨设备的研磨垫，由于样品固定筒211面向研磨垫的一端为开口，因此 样品的一部分露于所述样品固定筒211外，另一部分位于样品固定筒211内。为了控制对 样品的研磨力度，在所述样品固定筒211内、所述样品之上还可放置有如图4a-图如所示 的多个重量不等的加重装置，通过所述加重装置对样品施加一定的压力，使得化学机械研 磨设备的转盘转动时对样品产生不同的研磨力度。使用本实用新型的化学机械研磨样品固定工具对样品进行研磨时，可使样品固定 于化学机械研磨设备的研磨垫之上，且对样品施以均勻的力度，使得样品研磨得到的研磨面非常平整，且可使研磨的结果比较稳定，不但无需工程师手工按住样品，有效节约了人力 成本，且本实用新型的化学机械研磨样品固定工具本身相较于全自动的化学机械研磨样品 固定工具成本低廉，易于制造使用。 显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种化学机械研磨样品固定工具，其特征在于，包括平板本体，所述平板本体上具 有中空的样品定位孔，所述样品定位孔的两侧具有中空的样品定位轨道；所述平板本体之 上置有样品固定板，所述样品固定板上设置有中空的样品固定筒，所述样品固定筒的两端 均为开放式，所述样品固定板的两端通过固定件固定于所述样品定位轨道上，所述样品固 定筒置于所述样品定位孔之内。
2.如权利要求1所述的化学机械研磨样品固定工具，其特征在于，所述平板本体上的 样品定位孔为一个或一个以上。
3.如权利要求1所述的化学机械研磨样品固定工具，其特征在于，所述平板本体的两 端具有垂直于所述平板本体的凸起。
4.如权利要求1所述的化学机械研磨样品固定工具，其特征在于，所述化学机械研磨 样品固定工具的材质为铁或不锈钢。
专利摘要本实用新型提供一种化学机械研磨样品固定工具，包括平板本体，所述平板本体上具有中空的样品定位孔，所述样品定位孔的两侧具有中空的样品定位轨道；所述平板本体之上置有样品固定板，所述样品固定板上设置有中空的样品固定筒，所述样品固定筒的两端均为开放式，所述样品固定板的两端通过固定件固定于所述样品定位轨道上，所述样品固定筒置于所述样品定位孔之内。使用本实用新型的化学机械研磨样品固定工具对样品进行研磨时，可使样品研磨得到的研磨面非常平整，成本低廉，易于制造使用。
文档编号B24B41/06GK201863114SQ20102056488
公开日2011年6月15日 申请日期2010年10月16日 优先权日2010年10月16日
发明者蓝业顷 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司