专利名称：一种无铜环保镜合金溅射专用靶材的制作方法
技术领域：
一种无铜环保镜合金溅射专用靶材技术领域[0001]本实用新型涉及一种靶材，具体涉及一种无铜环保镜合金溅射专用靶材。
技术背景[0002]众所周知，靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关，随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进，靶材技术也应随之变化。如Ic制造商， 最近致力于低电阻率铜布线的开发，预计未来几年将大幅度取代原来的铝膜，这样铜靶及其所需阻挡层靶材的开发将刻不容缓。另外，近年来平面显示器大幅度取代原以阴极射线管为主的屯脑显示器及电视机市场.亦将人幅增加ITO靶材的技术与市场需求。[0003]溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式，较之较早点的蒸发镀膜方式，其很多方面的优势相当明显。作为一项已经发展的较为成熟的技术，磁控溅射已经被应用于许多领域。[0004]目前一般的靶材，抗氧化能力差，耐释性弱，且镜子的反射效果不是很好。 实用新型内容[0005]本实用新型的目的是提供一种无铜环保镜合金溅射专用靶材，它抗氧化能力强， 耐释性强，且使镜子的反射效果得到很大的提高。[0006]为了解决背景技术所存在的问题，本实用新型是采用以下技术方案它包含靶材本体1，它还包含抗氧化层2，抗氧化层2包裹在靶材本体1的外侧。[0007]所述的抗氧化层2是由硅元素、铁元素、铜元素、镍元素、镁元素、铬元素、锌元素、 钛元素混合制备而成，能够提高靶材的抗氧化能力，同时提供镜子反射效果。[0008]本实用新型具有以下有益效果抗氧化能力强，耐释性强，且使镜子的反射效果得到很大的提高。
[0009]图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
[0010]参看图1，本具体实施方式
采用以下技术方案它包含靶材本体1，它还包含抗氧化层2，抗氧化层2包裹在靶材本体1的外侧。[0011]所述的抗氧化层2是由硅元素、铁元素、铜元素、镍元素、镁元素、铬元素、锌元素、 钛元素混合制备而成，能够提高靶材的抗氧化能力，同时提供镜子反射效果。[0012]本具体实施方式
抗氧化能力强，耐释性强，且使镜子的反射效果得到很大的提高。
权利要求1. 一种无铜环保镜合金溅射专用靶材，它包含靶材本体(1)，其特征在于它还包含抗氧化层O)，抗氧化层( 包裹在靶材本体(1)的外侧。
专利摘要一种无铜环保镜合金溅射专用靶材，它涉及一种靶材。它包含靶材本体，它还包含抗氧化层，抗氧化层包裹在靶材本体的外侧，抗氧化层是由硅元素、铁元素、铜元素、镍元素、镁元素、铬元素、锌元素、钛元素混合制备而成，能够提高靶材的抗氧化能力，同时提供镜子反射效果；本实用新型抗氧化能力强，耐释性强，且使镜子的反射效果得到很大的提高。
文档编号C23C14/34GK202246840SQ20112034761
公开日2012年5月30日 申请日期2011年9月16日 优先权日2011年9月16日
发明者林百涛 申请人:河南金林玻璃有限公司