专利名称：高频感应加热式蒸发源的制作方法
技术领域：
本实用新型与真空卷绕镀膜机的金属蒸发源有关。
背景技术：
真空卷绕镀膜机是在塑料薄膜上蒸镀一层金属膜，使膜材熔化的蒸发源有电阻加热、感应加热、电子束加热方式。感应加热式蒸发源的优点是1)蒸发速率大，2)蒸发温度稳定，不易产生膜材飞溅，3)膜材安装简单，4)膜材纯度要求低。已有的高频感应加热式蒸发源与塑料膜之间的距离调节不便，蒸发源之间的水平距离调节不便，感应线圈和坩埚在安装座上易发生晃动，感线圈温度过闻而影响使用寿命。石墨纟甘祸容易损坏。实用新型内容本实用新型的目的是提供一种安装和调节方便，使用寿命长的高频感应加热式蒸发源。本实用新型是这样实现的本实用新型、高频感应加热式蒸发源，安装座6上部圆盘上有同心凸台11，外坩锅2位于凸台上，外坩埚2的外表面有感应线圈5，压块10上端有凸缘压在线圈5上端，压块10通过螺栓与安装座上的支架连接，安装座6下面的轴与调节杆8的内腔竖向滑动配合，由锁紧螺钉7固定，调节杆8的下端与安装导轨9水平滑动配合，有固定螺栓12，内坩埚I位于外坩埚2内，内、外坩埚之间有隔热层3。所述的感应线圈5为铜管，与水管接头4连接。
本实用新型有如下优点1、蒸发的膜材放置在内坩锅I里，感应线圈5通入高频感应电流，膜材在高频电磁场感应下产生强大的涡流，使膜材升温熔化，直至蒸发。2、内坩锅I为石墨坩锅，为防止损坏，导致膜材流出，增加一个材料为陶瓷外坩锅2，内外坩锅之间有隔热层3。3、通过升降高度调节杆8，可以调节坩锅与膜材的距离，使膜厚均匀，调节到需要高度后，用锁紧螺钉7固定。4、感应线圈5为铜管，并安装水管接头4，可以在线圈5内通冷却水，防止线圈温度过闻。5、坩锅可以在安装导轨9上移动，调节坩锅间的距离，使膜厚均匀，移到需要的位置后，用螺栓12固定。6、线圈压块10用螺钉固定在安装座6上，用于压住感应线圈5，防止线圈晃动；坩锅直接放在安装座6上，不需要固定，通过安装座凸台11对线圈定位，从而达到限制坩锅位置，使用方便。
图1为本实用新型的主视图。图2为图1的右视图。
具体实施方式
[0021]外坩埚2由陶瓷制成，内坩埚I为石墨坩埚位于外坩埚内，内、外坩埚之间有
隔热层3，感应线圈5为铜管与水管接头4连接，感应线圈位于外坩埚表面，压块10压住感应线圈，用螺钉固定在安装座6上，安装座6上的凸台11对线圈定位，安装座6与调节杆8连接，有锁紧螺钉7。调节杆8与安装导轨滑动配合，用螺栓12固定。
权利要求1.高频感应加热式蒸发源，其特征在于安装座(6)上部圆盘上有同心凸台(11)，外坩锅(2)位于凸台上，外坩埚(2)的外表面有感应线圈(5)，压块(10)上端有凸缘压在线圈(5) 上端，压块(10 )通过螺栓与安装座上的支架连接，安装座(6 )下面的轴与调节杆(8 )的内腔竖向滑动配合，由锁紧螺钉(7)固定，调节杆(8)的下端与安装导轨(9)水平滑动配合，有固定螺栓(12)，内坩埚(I)位于外坩埚(2)内，内、外坩埚之间有隔热层(3)。
2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于所述的感应线圈(5)为铜管，与水管接头 (4)连接。
专利摘要本实用新型为高频感应加热式蒸发源，安装座(6)上部圆盘上有同心凸台(11)，外坩埚(2)位于凸台上，外坩埚(2)的外表面有感应线圈(5)，压块(10)上端有凸缘压在线圈(5)上端，压块(10)通过螺栓与安装座上的支架连接，安装座(6)下面的轴与调节杆(8)的内腔竖向滑动配合，由锁紧螺钉(7)固定，调节杆(8)的下端与安装导轨(9)水平滑动配合，有固定螺栓(12)，内坩埚(1)位于外坩埚(2)内，内、外坩埚之间有隔热层(3)。本实用新型解决已有蒸发源蒸镀膜厚不均，调节不便，安装不稳定，使用寿命短，易损坏的问题。
文档编号C23C14/20GK202881374SQ201220545430
公开日2013年4月17日 申请日期2012年10月24日 优先权日2012年10月24日
发明者张果, 王伟, 姜玉伦, 晋照春 申请人:爱发科东方真空(成都)有限公司