专利名称：真空镀膜设备的制作方法
技术领域：
本实用新型与电阻加热式蒸发源对工件蒸镀金属膜的设备有关。
背景技术：
已有的真空镀膜设备用于真空环境下，采用电阻加热式蒸发源对工件(如汽车车灯反射板)蒸镀金属膜，采用等离子体轰击对工件清洗和镀重合保护膜。用传统镀膜机蒸镀工件，由于真空箱体积大，工件要累积到一定数量才放入真空箱内进行蒸镀。因此，工件在大气中暴露的时间长，会吸附大量水气，使抽真空的时间加长,而且空气会对工件表面产生污染，还会造成物流积压。目前真空电阻加热式镀膜机由于体积庞大，在包装发货时，要将设备进行拆卸成几个部分，分别进行包装，到用户现场再组装，组装后进行真空检漏，设备调试。因再次组装，需要用户提供多种工具，并且受用户生产现场条件限制，组装困难，组装时间较长。实用新型内容本实用新型的目的是提供一种体积小，可整体运输，工件清洗后可即时镀膜，工作周期短，镀膜成本低，镀膜效率高的真空镀膜设备。本实用新型是这样实现的本实用新型真空镀膜设备，机架内安装有真空箱、真空管道、电气控制系统、真空阀门、真空泵、水管、压缩空气管、电缆，机架的四周由封板封闭，机架前端内置一固定箱体，机架前端面的左、右两侧各安装有左门、右门，左门和右门的腔体内各安装有一根工件架，左门或右门关闭后， 与位于机架内的箱体形成一个封闭的真空箱。机架左右两侧面的封板由折叠推拉门构成。本实用新型有如下优点1.真空箱采用立式双开门结构，右门3关闭工作时，可以在左门I上进行工件拆卸和安装。右门3工作完成后，就可以关闭左门1，对左门I上的工件进行蒸镀金属和镀重合保护膜。因此，可以节约时间，提高产量。2.左门I和右门3各有I套用于安装工件的旋转装置，即工件架2。工件架2只有一根旋转轴，因此，真空箱体积小，达到工作状态要求的真空度所需的时间短，使一个工作周期所需时间缩短，可与上游设备配套，形成一对一的流水线生产，减少工件在大气中暴露的时间，减少空气对工件污染，缩短抽真空时间，并提高产品质量，还可避免因工件积压增加存放空间。3.装置为整体式，真空箱、真空管道7、电气控制系统8、真空阀门9、真空泵10及水管、压缩空气管、电缆等所有部件安装在机架4内，发货时不需拆卸，整体包装，到用户现场安装到指定位置，通水电和压缩空气后就能使用，减少组装时间；不会因为客户现场组装条件限制，增加组装难度(如厂房没有吊车，把各部件放置在需要指定位置时，需要使用叉车，而使用叉车组装很不方便)。因此，降低劳动强度，减少到用户现场的出差人员的人数；因为只需要将设备移动到指定位置并固定，因此，最大程度减少需要客户提供的工具种类和数量。[0015]4.机架4四周全封闭，机架左右两侧为折叠推拉门5，机架前后有封板6，设备外观简洁美观。维护保养时，只需要打开推拉门就可以进行。
图1为本实用新型的结构图。
具体实施方式
机架4左、右侧面用折叠推拉门5封闭，前后有封板6，机架内安装有真空箱、真空阀门9、真空泵10、真空管道7、水管、压缩空气管、电缆和电气控制系统8。机架前端内置一固定箱体，左、右两侧各安装有左门、右门。左门和右门的腔体内各安装有一根工件架，用户把安装工件的夹具固定在旋转轴上，旋转轴上的圆柱形区域为工件安装区域，左门或右门关闭后，与位于机架内的固定箱体形成一个封闭的真空箱。对封闭的真空箱抽真空，工件架带动工件旋转，在真空箱 内完成工件清洗、镀铝膜、镀重合保护膜等工序。
权利要求1.真空镀膜设备，其特征在于机架内安装有真空箱、真空管道、电气控制系统、真空阀门、真空泵、水管、压缩空气管、电缆，机架的四周由封板封闭，机架前端内置一固定箱体，机架前端面的左、右两侧各安装有左门、右门，左门和右门的腔体内各安装有一根工件架，左门或右门关闭后，与位于机架内的固定箱体形成一个封闭的真空箱。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于机架左右两侧面的封板由折叠推拉门构成。
专利摘要本实用新型为真空镀膜设备，解决已有设备体积大，运输安装不便，工件清洗后镀膜周期长，镀膜成本高，效率低的问题。机架内安装有真空箱、真空管道、电气控制系统、真空阀门、真空泵、水管、压缩空气管、电缆，机架前端内置一固定箱体，机架前端面的左、右两侧各安装有左门、右门，左门和右门的腔体内各安装有一根工件架，左门或右门关闭后,与位于机架内的固定箱体形成一个封闭的真空箱。
文档编号C23C14/56GK202881380SQ201220545448
公开日2013年4月17日 申请日期2012年10月24日 优先权日2012年10月24日
发明者张果, 王伟, 姜玉伦, 张鑫, 唐钺丰, 段晓英 申请人:爱发科东方真空(成都)有限公司