专利名称：一种适应多管pecvd设备的石墨舟自动运行系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种石墨舟自动运行系统，用于多管PECVD设备中完成石墨舟的全自动运行，属于电子工业专用装备领域。
背景技术：
传统的PECVD的工艺桨都是与工艺管配套，装备从原来的二管增加到三管、四管，甚至是五管，工艺桨也从原来的二个相应增加。装备的安装强度大，安装周期长，安装工艺复杂，每一个工艺桨需要两个电机及其驱动控制器，管越多成本越高，维护难度越大。另外最重要的一点是工作人员劳动强度大，工作环境要求严格，容易造成人为的对硅片或者石墨舟的污染、损坏。工业生产未来的趋势是高度机械化、自动化、信息化，尽量降低和减少人为因素的干扰。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是，针对现有技术不足，提供一种适应多管PECVD设备的石墨舟自动运行系统，使得多管PECVD设备只需一个工艺桨就能实现石墨舟的全自动运行。为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是:一种适应多管PECVD设备的石墨舟自动运行系统，包括推车，所述推车上装有锁紧或释放推车的推车驱动装置，还包括底座，所述底座上设有两根立柱，所述两根立柱一侧各安装有一个用于在水平方向运送由推车装载的石墨舟的机械手；所述底座一侧安装有用于在竖直方向运送石墨舟的龙门升降机，所述龙门升降机上安装有用于承载石墨舟并能在竖直方向移动的工艺桨。作为优选方案，所述龙门升降机包括两根竖直安装在所述底座上作为滑轨的竖梁，所述竖梁上装有带刹车装置的驱动电机。作为优选方案，所述两根立柱上的通过同步轴相连的两个机械手由一个电机驱动。作为优选方案，所述工艺桨内嵌有由电机驱动的蜗轮蜗杆。所述电机通过PLC与计算机连接。与现有技术相比，本实用新型所具有的有益效果为:本实用新型多管PECVD只需要使用一个工艺桨，多管PECVD的石墨舟自动运行系统的实现使得PECVD自动化操作程度大大的提高，工作效率高，缩短了生产周期，减轻了工作人员工作强度，有效节约了设备成本。
图1为本实用新型一实施例结构示意图；图2为本实用新型一实施例装置取放舟过程示意图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型一实施例包括推车5，所述推车5上装有锁紧或释放推车5的推车驱动装置6，还包括底座8，所述底座8上设有两根立柱9，所述两根立柱9 一侧各安装有一个用于在水平方向运送由推车5装载的石墨舟4的机械手2 ;所述底座8 一侧安装有用于在竖直方向运送石墨舟4的龙门升降机1，所述龙门升降机I上安装有用于承载石墨舟4并能在竖直方向移动的工艺桨3，工艺桨3内嵌有由电机驱动的蜗轮蜗杆7。电机通过PLC与计算机连接，全套动作由PLC控制，各种动作通过各个电机与导轨配合完成，PLC与计算机连接。龙门升降机用来执行垂直方向的运动，负责工艺桨在各管之间垂直运动。机械手能够在水平方向移动，配合工艺桨的升降和推车的顶放完成取放石墨舟。工艺桨用来安放石墨舟的机械承载器，并且能在竖直方向移动，配合龙门升降机完成石墨舟进退各个炉管。石墨舟用来在热化学工艺过程中作为硅片的机械承载器。推车是承载和运送石墨舟的平台，方便操作人员进行石墨舟进出设备的操作。在PECVD工艺中用一部推车来手动将石墨舟移入设备中进行加工，以及在加工结束后将石墨舟移出设备。推车驱动装置利用气动原理，可以紧锁和顶放推车。蜗轮蜗杆通过减速箱与电机相连，内嵌在工艺桨上，实现工艺桨的进退。适应多管PECVD设备的石墨舟自动运行系统在垂直方向采用龙门升降机构，竖梁为两根可独立运动的滑轨，电机将运动平均分配到竖梁的每根轴上，实现两竖梁的同步运动，驱动电机配有刹车装置，能够保证在非工作状态下，滑块机构自锁，保证在掉电状态下石墨舟的安全。工艺桨安装在一根蜗轮蜗杆上，通过一个电机带动蜗轮蜗杆实现工艺桨进退。在装舟时，带有石墨舟的推车推到固定工位，推车驱动装置的气缸锁紧并顶起推车，机械手水平运行到推车位置，此时，用于顶起推车的气缸下降，机械手托住石墨舟水平运动到指定机械手取放舟位置，工艺桨垂直上升托住石墨舟，此时，机械手水平回原点(原点为程序设定在推车和工艺桨的中间位置)，工艺桨垂直运行到指定炉管位置并在蜗轮蜗杆的带动下水平运动，将石墨舟放入炉管内。在卸舟时，工艺桨垂直运行到指定炉管将石墨舟取出，再垂直运行到机械手取放舟位置，机械手水平运行到该位置，工艺桨垂直下降，机械手托住石墨舟水平运动到推车位置，此时，推车被气缸顶起托住石墨舟，机械手水平回原点，下降并释放推车，取舟完成。取放舟过程如图2所示。
权利要求1.一种适应多管PECVD设备的石墨舟自动运行系统，包括推车(5)，所述推车(5)上装有锁紧或释放推车(5 )的推车驱动装置(6 )，其特征在于，还包括底座(8 )，所述底座(8 )上设有两根立柱(9 )，所述两根立柱(9 ) 一侧各安装有一个用于在水平方向运送由推车(5 )装载的石墨舟(4)的机械手(2);所述底座(8)—侧安装有用于在竖直方向运送石墨舟(4)的龙门升降机(1)，所述龙门升降机(I)上安装有用于承载石墨舟(4)并能在竖直方向移动的工艺桨(3)。
2.根据权利要求1所述的适应多管PECVD设备的石墨舟自动运行系统，其特征在于，所述龙门升降机(I)包括两根竖直安装在所述底座(8)上作为滑轨的竖梁，所述竖梁上装有带刹车装置的驱动电机。
3.根据权利要求1所述的适应多管PECVD设备的石墨舟自动运行系统，其特征在于，所述两根立柱(9)上的通过同步轴相连的两个机械手(2)由一个电机驱动。
4.根据权利要求1所述的适应多管PECVD设备的石墨舟自动运行系统，其特征在于，所述工艺桨(3)内嵌有由电机驱动的蜗轮蜗杆(7)。
5.根据权利要求2至4之一所述的适应多管PECVD设备的石墨舟自动运行系统，其特征在于，所述电机通过PLC与计算机连接。
专利摘要本实用新型公开了一种适应多管PECVD设备的石墨舟自动运行系统，包括推车，所述推车上装有锁紧或释放推车的推车驱动装置，还包括底座，所述底座上设有两根立柱，所述两根立柱一侧各安装有一个用于在水平方向运送由推车装载的石墨舟的机械手；所述底座一侧安装有用于在竖直方向运送石墨舟的龙门升降机，所述龙门升降机上安装有用于承载石墨舟并能在竖直方向移动的工艺桨。本实用新型多管PECVD只需要使用一个工艺桨，多管PECVD的石墨舟自动运行系统的实现使得PECVD自动化操作程度大大的提高，工作效率高，缩短了生产周期，减轻了工作人员工作强度，有效节约了设备成本。
文档编号C23C16/44GK203159708SQ20132005817
公开日2013年8月28日 申请日期2013年2月1日 优先权日2013年2月1日
发明者尹昊, 禹庆荣, 朱宗树, 杨彬 申请人:中国电子科技集团公司第四十八研究所