一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜的制造方法
【专利摘要】本实用新型属于真空镀膜设备领域，尤其是涉及一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机。包括固定轨道一和设置在固定轨道一上的真空仓体；所述真空仓体右侧设置有一卷绕台车；所述卷绕台车通过其底部的轮子可滑动的设置在所述固定轨道一上。所述固定轨道一上还设置有一蒸发台车和一旋转机构；所述的蒸发台车处于真空仓体左侧，该蒸发台车具有第一台面和第二台面，其中第一台面上设置有锌、铝蒸发源，第二台面上设置有铝蒸发源，第一台面和第二台面对称设置在蒸发台车两侧；所述的旋转机构设于固定轨道一左侧。本实用新型很好地解决了放气问题、污染问题，降低电器故障，机械可靠性更完善，极大提高生产效率。
【专利说明】一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空镀膜设备领域，尤其是涉及一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机。
【背景技术】
[0002]纵观现有的铝膜或锌铝复合膜蒸发源设计技术，都是采用(I)复合锌铝蒸发源和铝蒸发源采用同一套蒸发源同用(2)采用二只蒸发源台车将锌铝复合蒸发源和铝蒸发源分开。针对第(I)点采用同一蒸发源同用技术，会造成如下问题:
[0003]a、反复更换铝蒸发源和锌铝复合蒸发源，会造成比如说在蒸镀锌铝复合膜后再镀铝膜，由于锌蒸发源的常温存在，在预抽真空和蒸镀时，锌蒸发源里的材料包括石棉、耐火材料等会逐步放气，导致预抽真空速度慢以及在蒸镀过程中的逐步放气会导致真空度降低从而影响镀层品质。另外，由于锌蒸发源的石棉会产生粉尘会污染膜层导致铝膜上有金属或非金属颗粒，由于铝膜没有自愈性能，最终导致电容器爆炸。另外，由于蒸镀铝膜和锌铝复印膜在铝丝送入的速度和蒸发电流根本不一样，从而导致机器的电器故障而影响机器寿命。还有一点是会影响真空仓体及蒸发系统的污染更严重，亦会导致机械、电器故障。由于要兼顾铝膜或锌铝膜及大提高能耗。
[0004]b、采用二只蒸发源台车虽然解决了上述问题，但是由于每次更换蒸发源台车很多线路要重新连接，会产生浪费大量时间及容易产生误接线路的故障问题，并且在机械上存在结构复杂、成本提高，而且更换时台车要反复移动而影响镀膜精度，也会造成辅助工时及大提闻，从而提闻生广成本。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的是要解决现有技术的不足之处，而提供一种铝蒸发源和锌铝蒸发源分开，能方便更换铝蒸发源和锌铝蒸发源的具有双台面蒸发台车的真空镀膜机。
[0006]本实用新型的目的是通过下列技术方案解决的:
[0007]—种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机，包括固定轨道一和设置在固定轨道一上的真空仓体；所述真空仓体右侧设置有一卷绕台车；所述卷绕台车通过其底部的轮子可滑动的设置在所述固定轨道一上；其特征在于:所述固定轨道一上还设置有一蒸发台车和一旋转机构；所述的蒸发台车处于真空仓体左侧，该蒸发台车具有第一台面和第二台面，其中第一台面上设置有锌、铝蒸发源，第二台面上设置有铝蒸发源，第一台面和第二台面对称设置在蒸发台车两侧；所述的旋转机构设于固定轨道一左侧。
[0008]本实用新型所述的旋转机构包括固定轨道二、滑动底座、旋转轨道、旋转主动齿轮、旋转从动齿轮、从动齿轮轴和电机；所述的滑动底座通过其底部的轮子可滑动的设置在所述固定轨道二上；所述的从动齿轮轴垂直固定于滑动底座上，旋转从动齿轮套于从动齿轮轴上，旋转轨道固定于旋转从动齿轮上；旋转主动齿轮与电机输出轴固定连接，旋转主动齿轮和旋转从动齿轮啮合。[0009]本实用新型所述的旋转轨道和固定轨道一处于同一水平面，旋转轨道和固定轨道
一相接。
[0010]和现有技术相比本实用新型具有以下特点和有益效果:
[0011]1、解决了在蒸镀铝膜时锌蒸发源的连续放气问题和在镀铝膜时锌蒸发源的连续污染问题，降低了能耗。
[0012]2、需要更换蒸发源的时候，只要将蒸发台车旋转180°，将第一台面和第二台面的位置对调即可，操作简单，无需重新接线，大大提高了生产效率。
[0013]3、机械部件可靠性更加完善，及大提高整机的使用寿命。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型主视结构示意图。
[0015]图2为本实用新型俯视结构示意图。
【具体实施方式】
[0016]下面将结合附图对本实用新型做进一步详细说明。
[0017]如图1、图2所示，一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机，包括固定轨道一 I和设置在固定轨道一 I上的真空仓体2 ;所述真空仓体2右侧设置有一卷绕台车3 ;所述卷绕台车3通过其底部的轮子可滑动的设置在所述固定轨道一I上。
[0018]所述固定轨道一 I上还设置有一蒸发台车4和一旋转机构5;所述的蒸发台车4处于真空仓体2左侧，该蒸发台车4具有第一台面6和第二台面7，其中第一台面6上设置有锌、铝蒸发源，第二台面7上设置有铝蒸发源，第一台面6和第二台面7对称设置在蒸发台车4两侧；所述的旋转机构5设于固定轨道一 I左侧。
[0019]本实用新型所述的旋转机构5包括固定轨道二 8、滑动底座9、旋转轨道10、旋转主动齿轮11、旋转从动齿轮12、从动齿轮轴13和电机；所述的滑动底座9通过其底部的轮子可滑动的设置在所述固定轨道二 8上；所述的从动齿轮轴13垂直固定于滑动底座9上，旋转从动齿轮12套于从动齿轮轴13上，旋转轨道10固定于旋转从动齿轮12上；旋转主动齿轮11与电机输出轴固定连接，旋转主动齿轮11和旋转从动齿轮12啮合。
[0020]本实用新型所述的旋转轨道10和固定轨道一 I处于同一水平面，旋转轨道10和固定轨道一 I相接。
[0021]在蒸镀锌铝复合膜时，将蒸发台车4中的第一台面6和真空仓体2对准，并将第一台面6延固定轨道一 I移动至真空仓体2,将蒸发台车4和真空仓体2左侧开口结合,将卷绕台车3移动至真空仓体2并与真空仓体2右侧开口结合，进行抽真空，再进行镀膜。
[0022]当需要镀铝膜时，将蒸发台车4移出，延固定轨道一 I向左移动，并移动至旋转轨道10上，待稳定后，将滑动底座9延固定轨道二 8向左侧移动到一定位置，启动电机，转动旋转主动齿轮11，带动旋转从动齿轮12和旋转轨道10转动180°。此时，停放在旋转轨道10上的蒸发台车4也转动了 180°，第二台面7与和正空仓体2对准，将蒸发台车4延固定轨道一 I移向真空仓体2，再重复以上步骤。
[0023]本实用新型针对现有技术存在的缺陷和不足，本实用新型采用单蒸发台车4并且铝蒸发源和锌铝蒸发源分开的方法，就是将铝蒸发源和锌铝复合蒸发源放在同一蒸发台车4的对称面。在蒸镀铝膜和锌铝复合膜时，只要将蒸发台车4旋转180°即可，很好地解决了放气问题、污染问题，降低电器故障，机械可靠性更完善。极大提高生产效率，由于无需重新连接电源及电器连接线，在蒸镀锌铝复合膜时及大降低能耗。
【权利要求】
1.一种具有双台面蒸发台车的真空镀膜机，包括固定轨道一和设置在固定轨道一上的真空仓体；所述真空仓体右侧设置有一卷绕台车；所述卷绕台车通过其底部的轮子可滑动的设置在所述固定轨道一上；其特征在于:所述固定轨道一上还设置有一蒸发台车和一旋转机构；所述的蒸发台车处于真空仓体左侧，该蒸发台车具有第一台面和第二台面，其中第一台面上设置有锌、铝蒸发源，第二台面上设置有铝蒸发源，第一台面和第二台面对称设置在蒸发台车两侧；所述的旋转机构设于固定轨道一左侧。
2.根据权利要求1所述的具有双台面蒸发台车的真空镀膜机，其特征在于:所述的旋转机构包括固定轨道二、滑动底座、旋转轨道、旋转主动齿轮、旋转从动齿轮、从动齿轮轴和电机；所述的滑动底座通过其底部的轮子可滑动的设置在所述固定轨道二上；所述的从动齿轮轴垂直固定于滑动底座上，旋转从动齿轮套于从动齿轮轴上，旋转轨道固定于旋转从动齿轮上；旋转主动齿轮与电机输出轴固定连接，旋转主动齿轮和旋转从动齿轮啮合。
3.根据权利要求1所述的具有双台面蒸发台车的真空镀膜机，其特征在于:所述的旋转轨道和固定轨道一处于同一水平面，旋转轨道和固定轨道一相接。
【文档编号】C23C14/24GK203429241SQ201320457634
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年7月30日 优先权日:2013年7月30日
【发明者】林正亮 申请人:林正亮