电弧蒸发源二次放电细化颗粒装置制造方法
【专利摘要】本实用新型属于一种电弧蒸发源二次放电细化颗粒装置，包括潘宁放电管的壳体（17），其特征在于在壳体（17）的腔内装有磁过滤筒（5），磁过滤筒（5）与壳体（17）之间缠有弧斑驱动电磁线圈（1）、磁镜线圈A（3）和磁镜线圈B（16）；在磁镜阱（8）两端的磁过滤筒（5）的内侧装有绝缘环（11），在右侧的绝缘环（11）内装有放电阴极环二（9），放电阴极环二（9）中心设有等离子体逸出通道（10），在左侧的绝缘环（11）内装有放电阴极环一（4）；在放电阴极环一（4）左侧中心装有阴极电弧靶（2）。该实用新型通过二次放电，大大的降低大颗粒液滴对真空电弧膜层的污染，提高了真空电弧膜层的质量和速率。
【专利说明】电弧蒸发源二次放电细化颗粒装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空离子镀膜设备，特别涉及一种电弧蒸发源二次放电细化颗粒装置。
【背景技术】
[0002]目前在真空离子镀膜中，为进一步减少滤筒中的大颗粒及液滴，同时又不至于损失能量，在滤筒中加装了一个潘宁放电管，等离子体在潘宁放电管中进行二次加强放电。
[0003]我们通过对各种技术资料的研究和实验得知:在常规真空电弧放电时，迅速转入低温状态的大颗粒及液滴在距离电弧阴极表面5_时出现；在液滴运动的整个过程中，等离子体参数的变化强烈的影响到耐熔金属微滴的演变过程，微滴斑点很容易在耐熔材料上形成，造成对真空电弧膜层的污染，影响镀膜质量。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于克服上述技术不足，提供一种通过潘宁放电管的二次放电，使微滴在通过等离子体的运动过程中，获得能量进行二次蒸发“燃烧”，有效地降低大颗粒微滴对真空电弧膜层污染的电弧蒸发源二次放电细化颗粒装置。
[0005]本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是:一种电弧蒸发源二次放电细化颗粒装置，包括潘宁放电管的壳体，其特征在于在壳体的腔内装有磁过滤筒，磁过滤筒与壳体之间缠有弧斑驱动电磁 线圈、磁镜线圈A和磁镜线圈B ;在磁过滤筒的内壁装有绝缘层，绝缘层的内壁装有放电阳极板，放电阳极板内构成一个磁镜阱；在磁镜阱两端的磁过滤筒的内侧装有绝缘环，在右侧的绝缘环内装有放电阴极环二，放电阴极环二中心设有等离子体逸出通道，在左侧的绝缘环内装有放电阴极环一；在放电阴极环一左侧中心装有阴极电弧靶。
[0006]本实用新型的有益效果是:该实用新型通过二次放电，使电弧阴极蒸发的等离子体在潘宁放电管中构成更热更密的等离子体，使微滴在通过等离子体的运动过程中，获得能量进行二次蒸发“燃烧”，大大的降低大颗粒液滴对真空电弧膜层的污染，二次蒸发后的液滴参与薄膜沉积，提高了真空电弧膜层的质量和速率。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]以下结合附图以实施例具体说明。
[0008]图1是电弧蒸发源二次放电细化颗粒装置的主视剖视图。
[0009]图中:1-弧斑驱动电磁线圈；2-阴极电弧靶；3-磁镜线圈A ;4_放电阴极环一；5-磁过滤筒；6_绝缘层；7_放电阳极板；8_磁镜阱；9_放电阴极环二 ；10_等离子体逸出通道；11-绝缘环；12-等离子体逸出通道接头；13-磁过滤筒端盖；14-密封圈；15_端盖；16-磁镜线圈B ；17-壳体。【具体实施方式】
[0010]实施例，参照附图，一种电弧蒸发源二次放电细化颗粒装置，包括潘宁放电管的壳体17，其特征在于在壳体17的腔内装有磁过滤筒5，磁过滤筒5与壳体17之间缠有弧斑驱动电磁线圈1、磁镜线圈A3和磁镜线圈B16 ;在磁过滤筒5的内壁装有绝缘层6，绝缘层6的内壁装有放电阳极板7，放电阳极板7内构成一个磁镜阱8 ;在磁镜阱8两端的磁过滤筒5的内侧装有绝缘环11，在右侧的绝缘环11内装有放电阴极环二 9，放电阴极环二 9中心设有等离子体逸出通道10，在左侧的绝缘环11内装有放电阴极环一 4 ;在放电阴极环一 4左侧中心装有阴极电弧祀2。壳体17和磁过滤筒5的右端装有端盖15和磁过滤筒端盖13,在磁过滤筒端盖13上装有密封圈14 ;在磁过滤筒端盖13上装有等离子体逸出通道接头12。
【权利要求】
1.一种电弧蒸发源二次放电细化颗粒装置，包括潘宁放电管的壳体(17)，其特征在于在壳体(17)的腔内装有磁过滤筒(5)，磁过滤筒(5)与壳体(17)之间缠有弧斑驱动电磁线圈(I)、磁镜线圈A (3)和磁镜线圈B (16);在磁过滤筒(5)的内壁装有绝缘层(6)，绝缘层(6)的内壁装有放电阳极板(7)，放电阳极板(7)内构成一个磁镜阱(8);在磁镜阱(8)两端的磁过滤筒(5 )的内侧装有绝缘环(11)，在右侧的绝缘环(11)内装有放电阴极环二( 9 )，放电阴极环二(9)中心设有等离子体逸出通道(10)，在左侧的绝缘环(11)内装有放电阴极环一(4);在放电阴极环一(4)左侧中心装有阴极电弧靶(2)。
【文档编号】C23C14/30GK203613257SQ201320826816
【公开日】2014年5月28日 申请日期:2013年12月11日 优先权日:2013年12月11日
【发明者】陈大民 申请人:陈大民