一种用于双面研磨机的防沉淀装置制造方法
【专利摘要】一种用于双面研磨机的防沉淀装置，机主体上部设有储液槽，机主体中部设有防沉淀装置；防沉淀装置包括圆桶，齿圈托架设置在圆桶内部，齿圈托架内上部设有磨盘托架，磨盘托架上部安装有磨盘，齿圈托架下端安装有刮刷片，储液槽通过软管与磨盘连通；磨盘包括上磨盘与下磨盘，上磨盘与下磨盘压合处设有过油槽，圆桶底部设有出口。通过在机主体上安装有防沉淀装置，可有效的降低双面研磨机磨削液沉淀，并在齿圈托架与磨盘托架表面均喷涂特氟龙涂层具有优良的耐热和耐低温特性、具有显著的热稳定性，生产操作时也不易沾溶液，提高了产品的加工效率和加工质量，同时也降低了劳动强度，结构简单使用方便。
【专利说明】一种用于双面研磨机的防沉淀装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种用于双面研磨机的防沉淀装置。
【背景技术】
[0002]蓝宝石(AL203)为六方对称结构，它作为最硬的氧化物晶体，具备优良的光化学和物理性能。机械强度高，耐化学腐蚀，有较好的导热性、热稳定性，透光波段宽，是理想的窗口衬底基本材料，另外，它具有电绝缘性，化学性能稳定，漏电容和寄生电容小，是极好的半导体、超导衬底材料。
[0003]作为衬底用的蓝宝石晶体基片一般为2英寸，4英寸等。用作半导体衬底的光学蓝宝石晶体基片对其表面有很高的要求，包括平面度，平行度达到0.005mm，光洁度达到0.5nm。
[0004]传统的双面抛光机其研磨原理是通过在上下磨盘中填加游离磨料，现比较常用的是碳化硼和碳化硅或金刚石等，同时上下磨盘做相反方向转动，同时游星轮带着蓝宝石片，在两磨盘中间做自转和围绕着主轴的公转，这样游离磨料在蓝宝石表面滚动一压痕作用或者刮擦一压痕作用，实现材料的去除，由于磨料比蓝宝石硬度要高，就可对其进行研磨加工。
[0005]在研磨过程中，研磨液需要均匀的流入磨盘中，这样加工出来的产品合格率才高，且此种研磨方式存在一个难题，由于游离磨料是固体溶液，非常容易沉淀，并吸附在零件表面，如果沉淀较多，研磨液中的游离磨料减少，就会影响到加工效率，且残留在机器零件上的研磨液在加工结束后需要清洗干净，以免影响下次的加工，机器难以清洗液也需要得到有效的解决。
实用新型内容
[0006]针对上述问题中存在的不足之处，本实用新型提供一种用于双面研磨机的防沉淀
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[0007]为实现上述目的，本实用新型提供一种用于双面研磨机的防沉淀装置，包括:
[0008]机主体，所述机主体上部设有储液槽，所述机主体中部设有防沉淀装置；
[0009]所述防沉淀装置包括圆桶，齿圈托架设置在所述圆桶内部,所述齿圈托架内上部设有磨盘托架，所述磨盘托架上部安装有磨盘，所述齿圈托架下端安装有刮刷片，所述储液槽通过软管与所述磨盘连通；
[0010]所述磨盘包括上磨盘与下磨盘，所述上磨盘与所述下磨盘压合处设有过油槽，所述圆桶底部设有出口。
[0011]作为本实用新型进一步的改进，所述圆桶底部设有防堆积的斜面。
[0012]作为本实用新型进一步的改进，所述齿圈托架与所述磨盘托架表面均喷涂有特氟龙涂层。
[0013]本实用新型的有益效果为:通过在机主体上安装防沉淀装置，可有效的降低双面研磨机磨削液沉淀，其结构简单，维修便捷，并在齿圈托架与磨盘托架表面均喷涂特氟龙涂层具有优良的耐热和耐低温特性、具有显著的热稳定性，抗湿、特氟龙涂膜表面不沾水和油质，生产操作时也不易沾溶液，提高了产品的加工效率和加工质量，同时也降低了劳动强度。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型一种用于双面研磨机的防沉淀装置的结构示意图。
[0015]图中:1、储液槽；2、上磨盘；3、下磨盘；4、圆桶；5、齿圈托架；6、磨盘托架；7、软管；8、刮刷片。
【具体实施方式】
[0016]如图1所示，本实用新型实施例所述的一种用于双面研磨机的防沉淀装置，包括:机主体，所述机主体上部设有储液槽1，所述机主体中部设有防沉淀装置；所述防沉淀装置包括圆桶4，齿圈托架5设置在所述圆桶4内部，所述齿圈托架5内上部设有磨盘托架6，所述磨盘托架6上部安装有磨盘，所述齿圈托架5下端安装有刮刷片8，所述储液槽I通过软管7与所述磨盘连通；所述磨盘包括上磨盘2与下磨盘3，所述上磨盘2与所述下磨盘3压合处设有过油槽，所述圆桶4底部设有出口，所述圆桶4底部设有防堆积的斜面，所述齿圈托架5与所述磨盘托架6表面均喷涂有特氟龙涂层。通过在机主体上安装防沉淀装置，可有效的降低用于双面研磨机磨削液沉淀，其结构简单，维修便捷，并在齿圈托架与磨盘托架表面均喷涂特氟龙涂层具有优良的耐热和耐低温特性、具有显著的热稳定性，抗湿、特氟龙涂膜表面不沾水和油质，生产操作时也不易沾溶液，提高了产品的加工效率和加工质量，同时也降低了劳动强度。
[0017]具体使用时:研磨液从进口端泵进，从中路向上流动到上端，再分成四路往下，流入储液槽中，在从储液槽均分导出若干个软管出来，插入上磨盘中，流入上磨盘和下磨盘之间，由于磨盘研磨面均匀分布着沟槽，这样研磨液就可均布在磨盘之间，而后通过沟槽外流到圆桶中，最后从圆桶的出口流出，圆桶底部设计成30度斜面防沉积，同时在齿圈托架下端安装有刮刷片，当机器运转时齿圈托架就带着刮刷片转动，刮刷片圆桶底部的游离磨料防沉淀。同时磨盘托架与齿圈托架均采用特氟龙表面喷涂，特氟龙涂装后，具有以下特性:1、不粘性。2、耐热性:特氟龙涂膜具有优良的耐热和耐低温特性。短时间可耐高温到300°C，一般在240°C?260°C之间可连续使用，具有显著的热稳定性，它可以在冷冻温度下工作而不脆化，在高温下不融化。3、滑动性:特氟龙涂膜有较低的摩擦系数。负载滑动时摩擦系数产生变化，但数值仅在0.05-0.15之间。4、抗湿性:特氟龙涂膜表面不沾水和油质，生产操作时也不易沾溶液，如粘有少量污垢，简单擦拭即可清除。停机时间短，节省工时并能提高工作效率。5、耐磨损性:具备耐磨损和不粘附的双重优点。6、耐腐蚀性:特氟龙几乎不受药品侵蚀，可以保护零件免于遭受任何种类的化学腐蚀。因此表面特氟龙喷涂后即能防研磨液沉积，又能防研磨液对零件的磨损，还可防表面腐蚀后带来的零件老化和锈溃污染等。
[0018]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种用于双面研磨机的防沉淀装置，其特征在于，包括: 机主体，所述机主体上部设有储液槽(I)，所述机主体中部设有防沉淀装置； 所述防沉淀装置包括圆桶(4)，齿圈托架(5)设置在所述圆桶(4)内部，所述齿圈托架(5)内上部设有磨盘托架(6)，所述磨盘托架(6)上部安装有磨盘，所述齿圈托架(5)下端安装有刮刷片(8)，所述储液槽(I)通过软管(7)与所述磨盘连通； 所述磨盘包括上磨盘(2)与下磨盘(3)，所述上磨盘(2)与所述下磨盘(3)压合处设有过油槽，所述圆桶(4)底部设有出口。
2.根据权利要求1所述的用于双面研磨机的防沉淀装置，其特征在于:所述圆桶(4)底部设有防堆积的斜面。
3.根据权利要求1所述的用于双面研磨机的防沉淀装置，其特征在于:所述齿圈托架(5)与所述磨盘托架(6)表面均喷涂有特氟龙涂层。
【文档编号】B24B57/00GK204053755SQ201420485616
【公开日】2014年12月31日 申请日期:2014年8月26日 优先权日:2014年8月26日
【发明者】陈志嵩, 朱海剑, 杨华华, 殷华林, 李海宁, 戴安娜, 伊莲娟, 毛可勇 申请人:常州贝斯塔德机械股份有限公司