一种酸腐机滚筒装置制造方法
【专利摘要】本实用新型创造提供一种酸腐机滚筒装置，包括硅片放置杆、支撑杆、固定杆和挡板；所述挡板上设有硅片放置杆卡固槽，支撑杆卡固槽，固定杆卡固槽；所述硅片放置杆、支撑杆和固定杆分别穿过挡板上的硅片放置杆卡固槽、支撑杆卡固槽和固定杆卡固槽，且挡板置于硅片放置杆、支撑杆和固定杆杆体的中间部位，所述硅片放置杆、支撑杆和固定杆两端分别连接一个挡板。本实用新型创造具有的优点和积极效果是：本实用新型创造中硅片放置杆的结构设计降低了在硅片在酸腐工序中造成的破损率，也保证设备的完好率；安装滑槽的设计，方便结构的安装与维修；新型卡片结构节省材料的使用。
【专利说明】一种酸腐机滚筒装置
【技术领域】
[0001]本发明创造一种酸腐机滚筒装置。
【背景技术】
[0002]随着半导体行业的竞争压力日益增加，产能提升的同时生产成本也要进一步进行控制，故在废品率$父尚的半导体娃片彳丁业通过改进设备提尚娃片完好率对提尚广能，控制成本起着重要作用。随着产品的多样化发展，单一的滚筒形式已经不能满足生产需要，对于滚筒的改造也势在必行。老式滚筒针对于(圆片、单参考面、V槽)硅片可行，但对于一些双参考面硅片会出现跳槽，导致碎片、卡片、滚轴死机等机械故障。导致双参考面硅片合格率很低，生产成本高，难以支持大量生产，难以满足客户需求，为公司的市场发展战略带来新的挑战。
【发明内容】
[0003]本发明创造要解决的问题是提供一种能够使硅片稳定卡固，且进一步提升生产效率的酸腐机滚筒装置。
[0004]为解决上述技术问题，本发明创造采用的技术方案是:一种酸腐机滚筒装置，包括硅片放置杆、支撑杆、固定杆和挡板；
[0005]所述挡板上设有三个娃片放置杆卡固槽，两个支撑杆卡固槽，一个固定杆卡固槽，三个所述硅片放置杆卡固槽的分布为上方一个、下方两个，且三个所述硅片放置杆卡固槽呈等腰三角形分布；两个所述支撑杆卡固槽位置与两个设置在下方的硅片放置杆卡固槽相对应，使所述支撑杆与放置在硅片放置杆上的硅片相切；所述固定杆卡固槽设置在挡板中轴线上中下部位置；
[0006]所述硅片放置杆包括杆体和卡片，所述卡片在杆体轴向上顺次排布，所述卡片在杆体圆周上均匀分布，在杆体轴向上相邻的所述卡片构成的硅片放置槽为梯形结构；
[0007]所述硅片放置杆、支撑杆和固定杆分别穿过挡板上的硅片放置杆卡固槽、支撑杆卡固槽和固定杆卡固槽，且挡板置于硅片放置杆、支撑杆和固定杆杆体的中间部位，所述硅片放置杆、支撑杆和固定杆两端分别连接一个挡板。
[0008]优选地，所述挡板上自上方硅片放置杆卡固槽设有一个安装滑槽，所述硅片放置杆卡固槽在安装滑槽内，所述安装滑槽为圆弧槽且槽宽与硅片放置杆直径相等。
[0009]优选地，相邻所述卡片的夹角为100-140°。
[0010]优选地，所述卡片为扇形结构。
[0011 ] 优选地，所述卡片上自卡片外缘向内设有凹槽。
[0012]本发明创造具有的优点和积极效果是:本发明创造中硅片放置杆的结构设计降低了在硅片在酸腐工序中造成的破损率，也保证设备的完好率；安装滑槽的设计，方便结构的安装与维修；新型卡片结构节省材料的使用。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1是本发明创造结构示意图；
[0014]图2是挡板正视结构示意图；
[0015]图3是图1中硅片放置杆局部放大结构示意图；
[0016]图中:1_娃片放置杆，11-杆体，12-卡片，2-支撑杆，3-固定杆，4-挡板，5-娃片放置杆卡固槽，6-支撑杆卡固槽，7-固定杆卡固槽，8-安装滑槽。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图对本发明创造的具体实施例做详细说明。
[0018]一种酸腐机滚筒装置，包括硅片放置杆1、支撑杆2、固定杆3和挡板4 ;
[0019]所述挡板4上设有三个娃片放置杆卡固槽5，两个支撑杆卡固槽6，一个固定杆卡固槽7，三个所述娃片放置杆卡固槽5的分布为上方一个、下方两个，且三个所述娃片放置杆卡固槽5呈等腰三角形分布；两个所述支撑杆卡固槽6位置与两个设置在下方的硅片放置杆卡固槽5相对应，使所述支撑杆2与放置在硅片放置杆I上的硅片相切；所述固定杆卡固槽7设置在挡板4中轴线上中下部位置；
[0020]所述硅片放置杆I包括杆体11和卡片12，所述卡片为扇形结构，所述卡片可以上自卡片外缘向内设有凹槽，所述卡片12在杆体11轴向上顺次排布，所述卡片12在杆体11圆周上均匀分布，在杆体11轴向上相邻的所述卡片12构成的硅片放置槽为梯形结构，相邻所述卡片的夹角为100-140° ；
[0021]所述硅片放置杆1、支撑杆2和固定杆3分别穿过挡板4上的硅片放置杆卡固槽
5、支撑杆卡固槽6和固定杆卡固槽7，且挡板4置于娃片放置杆1、支撑杆2和固定杆3杆体的中间部位，所述硅片放置杆1、支撑杆2和固定杆3两端分别连接一个挡板4。
[0022]优选地，所述挡板4上自上方硅片放置杆卡固槽5设有一个安装滑槽8，所述硅片放置杆卡固槽5在安装滑槽8内，所述安装滑槽8为圆弧槽且槽宽与硅片放置杆I直径相等。
[0023]实施例一:
[0024]针对采用本发明创造的硅片在机器内运转情况及最终合格率情况的测试。
[0025]硅片类型:5英寸区熔硅研磨片，硅片掺杂元素:磷(P)，硅片晶向:N〈111>、电阻率:0.0574% Ω.cm，硅片厚度:317um、双参考面，硅片数量:2500片；
[0026]测试设备:MN-60光泽度仪，QFB-15千分表(量程0_3mm)，荧光灯、2个滚筒。
[0027]酸腐蚀液(混合酸液):各化学成分按重量百分比混合而成，分别是:氢氟酸(HF):8.27%，硝酸(HN03):40.24%，醋酸(CH3CCOH):21.60 %，选取产品 5000 片共计 20颗，使用老滚筒(硅片放置杆卡固槽为V型槽)进行腐蚀发现跳片5次造成45片碎片。而使用本发明创造设计的滚筒未出现跳片现象，但出现I片自损现象，是由于本身硅片有暗裂造成的。本发明创造设计的滚筒保证了设备的完好率，合格率由原来的99.1%提升到99.
[0028]有利于降低成本，提高生产效率，对于保证企业生产高质量、高产量双参片有突出作用，利于企业的发展。
[0029]以上对本发明创造的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明创造的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明创造的实施范围。凡依本发明创造申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明创造的专利涵盖范围之内。
【权利要求】
1.一种酸腐机滚筒装置，其特征在于:包括硅片放置杆、支撑杆、固定杆和挡板； 所述挡板上设有三个娃片放置杆卡固槽，两个支撑杆卡固槽，一个固定杆卡固槽；三个所述硅片放置杆卡固槽的分布为上方一个、下方两个，且三个所述硅片放置杆卡固槽呈等腰三角形分布；两个所述支撑杆卡固槽位置与两个设置在下方的硅片放置杆卡固槽相对应，使所述支撑杆与放置在硅片放置杆上的硅片相切；所述固定杆卡固槽设置在挡板中轴线上中下部位置； 所述硅片放置杆包括杆体和卡片，所述卡片在杆体轴向上顺次排布，所述卡片在杆体圆周上均匀分布，在杆体轴向上相邻的所述卡片构成的硅片放置槽为梯形结构； 所述硅片放置杆、支撑杆和固定杆分别穿过挡板上的硅片放置杆卡固槽、支撑杆卡固槽和固定杆卡固槽，且挡板置于硅片放置杆、支撑杆和固定杆杆体的中间部位，所述硅片放置杆、支撑杆和固定杆两端分别连接一个挡板。
2.根据权利要求1所述的一种酸腐机滚筒装置，其特征在于:所述挡板上自上方硅片放置杆卡固槽设有一个安装滑槽，所述硅片放置杆卡固槽在安装滑槽内，所述安装滑槽为圆弧槽且槽宽与硅片放置杆直径相等。
3.根据权利要求1所述的一种酸腐机滚筒装置，其特征在于:相邻所述卡片的夹角为100-140。。
4.根据权利要求1所述的一种酸腐机滚筒装置，其特征在于:所述卡片为扇形结构。
5.根据权利要求4所述的一种酸腐机滚筒装置，其特征在于:所述卡片上自卡片外缘向内设有凹槽。
【文档编号】C23F1/08GK204224704SQ201420694517
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年11月18日 优先权日:2014年11月18日
【发明者】武卫, 翟洪升, 孙希凯, 甄红昌, 李 浩 申请人:天津中环领先材料技术有限公司