加热装置的制作方法

文档序号:12251532阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种加热装置。本发明提供的一种加热装置,包括:外壳、提供热能的灯管和放置基板的支撑件,灯管配置在外壳内,支撑件设置在外壳侧壁上,还包括隔离件和阻挡热能传递到基板的阻挡件,隔离件设置在基板与灯管之间,灯管发出的热能能够穿过隔离件传递到基板上,阻挡件设置在隔离件上。本发明的有益效果是:本发明提供的加热装置的灯管配置与温度控制简单、低成本、均温性好,适于均匀地加热基板,使被加热的基板具有良好的整体均温性。

技术研发人员:曹承育
受保护的技术使用者:英属开曼群岛商精曜有限公司
文档号码:201510487809
技术研发日:2015.08.10
技术公布日:2017.02.22

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