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圆筒形靶材的制造方法、圆筒形溅镀靶及烧制用辅助具与流程
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来源:国知局
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圆筒形靶材的制造方法、圆筒形溅镀靶及烧制用辅助具与流程
技术特征:
技术总结
实施方式的圆筒形靶材的制造方法包含:成形步骤、及烧制步骤。成形步骤为制作成形为筒状的陶瓷制成形体。烧制步骤为以成形体的外周面沿着长度方向被托架的接受面支撑,且相对于水平面呈倾斜的姿势烧制成形体。
技术研发人员:
石田新太郎
受保护的技术使用者:
三井金属矿业株式会社
技术研发日:
2015.12.09
技术公布日:
2017.08.29
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