圆筒形靶材的制造方法、圆筒形溅镀靶及烧制用辅助具与流程

文档序号:11446517阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
实施方式的圆筒形靶材的制造方法包含:成形步骤、及烧制步骤。成形步骤为制作成形为筒状的陶瓷制成形体。烧制步骤为以成形体的外周面沿着长度方向被托架的接受面支撑,且相对于水平面呈倾斜的姿势烧制成形体。

技术研发人员:石田新太郎
受保护的技术使用者:三井金属矿业株式会社
技术研发日:2015.12.09
技术公布日:2017.08.29
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