1.一种用于MOCVD制备YBCO带材的气体反应腔,包括反应铜管、导热带、进排气仓和冷却管,其特征在于:
反应铜管两端接到进排气仓;导热带绕于反应铜管和冷却管;进排气仓均设有一个与反应腔中间的反应铜管在一条直线上的孔隙,使用时基带衬底在反应铜管中沉积薄膜并从孔隙中通过。
2.如权利要求1所述用于MOCVD制备YBCO带材的气体反应腔,其特征在于:所述孔隙还设有一个可供衬底基带通过的绝缘装置。
3.如权利要求1所述用于MOCVD制备YBCO带材的气体反应腔,其特征在于:还包括两个铜制软管,分别接于金属有机源蒸发管和与真空泵相连的抽气管道,铜制软管另一端与进排气仓分别相连。
4.如权利要求3所述用于MOCVD制备YBCO带材的气体反应腔,其特征在于:所述导热带还绕在进气铜制软管上,将反应管上的热量导到铜制软管上,来预热金属有机源。
5.如权利要求1所述用于MOCVD制备YBCO带材的气体反应腔,其工作流程为:
载有金属有机源的气体从进气仓进排气仓出,基带衬底从孔隙中穿过,通过电刷的加热方式自身产生热量在反应铜管中沉积薄膜。