真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置的制作方法

文档序号:11126692阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置,包括保压箱本体(1),所述保压箱本体(1)的前段为过度室,其特征在于:在所述保压箱本体(1)的过度室的顶面分布有至少两个进气口,在进气口上安装空气管(2),所述空气管(2)上设置有空气自动流量调节阀(5),进气筒(3)的一端封闭,另一端开口,所述空气管(2)与进气筒(3)的开口端相连,所述进气筒(3)的筒壁上分布有若干进气孔(3a),所述进气筒(3)内周向分布有若干过滤筒(4),所述过滤筒(4)由过滤棉围成,所述过滤筒(4)沿进气筒(3)的轴线延伸;所述保压箱本体(1)的侧面设置有抽气管(6),所述抽气管(6)与抽气泵(7)相连。

2.根据权利要求1所述真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置,其特征在于:所述保压箱本体(1)的顶面设置有四个进气口,四个进气口上均安装有有空气管(2)。

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