技术总结
一种化学气相沉积用的反应装置，包括反应腔壳体和反应腔上盖，所述的反应腔底部倒扣有隔离罩通过隔离罩将反应腔分成两个空间。本发明通过隔离罩的作用将反应腔分割成两个腔室，反应气体和待加热元件位于一个腔室中，加热电阻丝位于另一个腔室中，将电阻丝与反应气体隔离开从而避免反应气体与电阻丝反应影响电阻丝的寿命，隔离罩内部空间中连接有惰性气体进气口和惰性气体排气口，通过两者的配合构成动态的气流。
技术研发人员：许坤;曾凡光;麻华丽;杜银霄;付林杰;霍海波;陈雷明;王玉梅;李艳
受保护的技术使用者：郑州航空工业管理学院
文档号码：201611044721
技术研发日：2016.11.24
技术公布日：2017.05.31