技术总结
本发明属于高温薄膜材料技术领域，提供一种金属基高温组合绝缘层及其制备方法；用以提高金属基底与薄膜敏感层之间的绝缘性，确保薄膜传感器在高温环境下使用的可靠性、准确性和使用寿命。本发明金属基高温组合绝缘层，包括：从下往上依次设置的金属基底、NiCrAlY合金过渡层、α‑Al2O3层，以及α‑Al2O3层上依次层叠的n个复合绝缘层，其中n≥2；每个复合绝缘层由从下往上设置的非晶态YSZ层和Al2O3层构成。本发明中每个复合绝缘层采用非晶态YSZ层‑Al2O3层复合结构，有效避免高温环境下晶态YSZ作为非晶态YSZ向晶态转变所需的晶核，减缓非晶YSZ在高温环境下向晶态转变，提高了非晶态YSZ的高温稳定性；同时，形成“非晶态YSZ‑Al2O3‑非晶态YSZ”的三明治结构，进一步提高绝缘性能。
技术研发人员：蒋书文;刘豪;赵晓辉;蒋洪川;张万里
受保护的技术使用者：电子科技大学
文档号码：201611191090
技术研发日：2016.12.21
技术公布日：2017.05.31