技术总结
本实用新型公开了一种石墨承载盘烘烤装置，包括外壳、矩形管、加热器，外壳的前端部上开设有用于向矩形管内充入反应气的第一进气通道、用于向外壳内腔中充入保护气的第二进气通道，外壳的后端部上开设有与外壳内腔气流相通的排气通道，矩形管的前、后两端部上分别开设有进气口与出气口，矩形管上的进气口与第一进气通道气流相通且矩形管的前端部与第一进气通道相密封设置，烘烤装置还包括排气管，外壳内腔中的保护气沿排气通道与排气管间的间隙排出烘烤装置外。该烘烤装置结构简单，占用空间小，烘烤过程中，能够对石墨承载盘进行均匀的烘烤，且石墨承载盘表面的沉积物能够清理的更干净。
技术研发人员：魏鸿源;丁峰;张海金;胡小龙;朱廷刚
受保护的技术使用者：江苏能华微电子科技发展有限公司
文档号码：201620841057
技术研发日：2016.08.05
技术公布日：2016.12.28