1.一种晶圆夹持环，设置在研磨头上，其特征在于，所述晶圆夹持环包括固定部分以及设置在所述固定部分一侧的多个活动件；多个所述活动件排布成环状，任意相邻两个所述活动件之间形成有空隙，每个所述活动件与所述固定部分连接，而且，每个所述活动件与所述固定部分之间的间距可调。
2.如权利要求1所述的晶圆夹持环，其特征在于，每个所述活动件的结构相同。
3.如权利要求1所述的晶圆夹持环，其特征在于，每个所述活动件与所述固定部分螺纹连接和/或弹扣连接。
4.如权利要求3所述的晶圆夹持环，其特征在于，每个所述活动件上设置有至少一个螺柱，所述固定部分上设置有与所述至少一个螺柱数量相匹配的螺纹孔，所述至少一个螺柱用于旋入所述螺纹孔中实现锁定。
5.如权利要求3所述的晶圆夹持环，其特征在于，每个所述活动件上设置有至少一个柱体，所述至少一个柱体上设置有一个或多个弹性凸起，所述固定部分上设置有与所述至少一个柱体数量相匹配的开孔，所述至少一个柱体至少部分插入所述开孔中，且所述弹性凸起嵌入所述开孔孔壁的卡槽中。
6.如权利要求1至5中任意一项所述的晶圆夹持环，其特征在于，所述晶圆夹持环还包括用于定位所述活动件安装位置的定位结构。
7.如权利要求6所述的晶圆夹持环，其特征在于，所述定位结构包括定位槽以及用于插入所述定位槽的定位件，所述定位件连接所述活动件，所述定位槽设置在所述固定部分上并面向所述定位件。
8.如权利要求7所述的晶圆夹持环，其特征在于，所述定位件与所述活动件一体成型。
9.如权利要求1所述的晶圆夹持环，其特征在于，所述夹持环还包括用于调节所述活动件与所述固定部分之间间距的膜结构，所述膜结构设置在所述活动件与所述固定部分之间。
10.如权利要求9所述的晶圆夹持环，其特征在于，所述固定部分上设置有容置槽，所述膜结构的部分厚度设置在所述容置槽中。
11.一种研磨头，其特征在于，包括如权利要求1至10中任意一项所述的晶圆夹持环。