1.一种晶片抛光用新型毛刷,包括在晶片固定盘上方设置的扫光盘,扫光盘为圆盘状结构,且扫光盘与晶片固定盘相平行,扫光盘的上侧面处设置有与其同轴的旋转轴,旋转轴与扫光盘固定连接,其特征在于:所述扫光盘的下侧面为刷毛安装面,刷毛安装面被等分为四个扇形区域,其中一个扇形区域内安装硬刷毛并形成硬毛刷区,其余三个扇形区域内安装软刷毛并形成软毛刷区,硬毛刷区和软毛刷区对接形成圆形毛刷区;所述硬刷毛的硬度大于所述软刷毛的硬度。
2.根据权利要求1所述的晶片抛光用新型毛刷,其特征在于:所述晶片固定盘上与所述圆形毛刷区对应的部位为圆形的晶片安装面,晶片安装面内绕其圆心呈圆周状均布设有多个用于放置晶片的晶片安装位。
3.根据权利要求1或2所述的晶片抛光用新型毛刷,其特征在于:所述硬毛刷区内的硬刷毛长度和软毛刷区内的软刷毛长度相同。
4.根据权利要求3所述的晶片抛光用新型毛刷,其特征在于:所述硬毛刷区内的硬刷毛密度等于或小于软毛刷区内的软刷毛密度。