技术总结
本实用新型公开了一种晶片抛光用新型毛刷，包括在晶片固定盘上方设置的扫光盘，扫光盘为圆盘状结构，且扫光盘与晶片固定盘相平行，扫光盘的上侧面处设置有与其同轴的旋转轴，旋转轴与扫光盘固定连接，所述扫光盘的下侧面为刷毛安装面，刷毛安装面被等分为四个扇形区域，其中一个扇形区域内安装硬刷毛并形成硬毛刷区，其余三个扇形区域内安装软刷毛并形成软毛刷区，硬毛刷区和软毛刷区对接形成圆形毛刷区；所述硬刷毛的硬度大于所述软刷毛的硬度。本实用新型可以有效的完成晶片表面的镜面抛光，加工效率高。
技术研发人员：赖胜雄
受保护的技术使用者：郑州晶润光电技术有限公司
文档号码：201621472316
技术研发日：2016.12.30
技术公布日：2017.08.08