技术总结
先进材料的生长测试一体化系统，包括光源产生系统，真空传输系统，材料生长系统以及时间和自旋分辨的电子能谱测试系统；所述光源产生系统包括极紫外超短脉冲激光系统，光学参量转换系统，极紫外超短脉冲激光转换系统，时间同步装置，泵浦光和探测光合束器；所述时间和自旋分辨的电子能谱测试系统包括：合束输入窗口；真空测试腔；样品固定架；半球电子能谱分析仪，扫描电子显微镜；所述材料生长系统包括：第一和第二分子束外延生长系统；第一和第二脉冲激光沉积系统；真空传输系统包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空管道，通过超高真空管道，在生长腔室与能谱探测腔之间来回传递；实现不同先进材料的生长和制备。
技术研发人员：徐永兵;倪志强;聂忠辉;黎遥;何亮;王学锋
受保护的技术使用者：南京大学
文档号码：201710004091
技术研发日：2017.01.04
技术公布日：2017.05.31