平面研磨装置的制作方法

文档序号:11498291阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种平面研磨装置,其课题在于,通过防止静止部侧的线缆与旋转部的接触、或者旋转部侧的线缆与静止部的接触来防止静止部侧或者旋转部侧的线缆的损伤,能够实现稳定的研磨加工。在将与旋转接头(60)的旋转侧接头部(63)连接的线缆(53)覆盖的位置,设置有在相互间保持空间部(75)地配设的第1线缆罩(73)和第2线缆罩(74),在两个线缆罩(73、74)之间的空间部(75)内收纳有与旋转侧接头部(63)连接的线缆(53)。

技术研发人员:小田桐茂;井上裕介;小池喜雄;吉原秀明
受保护的技术使用者:快递股份有限公司
技术研发日:2017.02.07
技术公布日:2017.08.18
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