双面或单面加工设备以及用于运行双面或单面加工设备的方法与流程

本发明涉及一种双面或单面加工设备，其具有优选环形的下工作盘并且具有上支座件，其中，下工作盘和上支座件能被相对彼此转动地驱动，在下工作盘与上支座件之间形成用于双面或单面加工扁平工件的工作间隙。此外，本发明涉及一种用于运行这样的双面或单面加工设备的方法和一种用于在双面或单面加工设备中至少调整下工作盘的方法。

背景技术：

例如在双面加工设备中对扁平工件如晶片同时进行双面加工。为此，双面加工设备具有上工作盘和下工作盘，在它们之间构成有工作间隙，在加工期间在该工作间隙内对要加工的工件进行引导。上工作盘固定在上支承盘上并且下工作盘固定在下支承盘上。为了加工通过如下方式引起所述工作盘之间的相对转动，即，将所述工作盘中的至少一个工作盘与其支承盘共同转动地驱动。如下的双面加工设备是已知的，在所述双面加工设备中，所谓的转盘在工作间隙内被引导。转盘通常将要加工的工件浮动地容纳在圆形的开口中。通过适当的运动学机构确保转盘在工作盘的相对转动过程中同样在工作间隙内转动。由此，工件在工作间隙内沿着圆形的轨道运动。因此实现特别均匀的表面加工。

在此处讨论的类型的加工设备中，由于在加工期间产生的过程热而出现工作盘之间的工作间隙的变化。特别是发生工作盘的与热相关的变形和因此发生间隙几何形状与预定形状的偏离。因此负面影响加工结果。这点尤其是针对所谓的原始晶片的非常高的加工要求。

由de102004040429b4已知的是，借助对工作盘的调温来抵抗由于出现的过程热而导致的负面效果。在此，在支承盘或工作盘中构造有通道，通过这些通道引导相应的调温流体、例如冷却水。然而，在实践中利用这些调温装置不能在加工时始终确保最高的精度要求。

此外，由de102006037490b4已知一种用于使上支承盘以及利用该上支承盘使固定在其上的上工作盘机械变形的装置。利用该装置能够将上工作盘的最初是平的工作面变成略微凹的面。相反地，能够将上工作盘的最初是略微凸的工作面变成平的或凹的工作面。即使利用上工作盘的该整体变形也不能在运行中补偿所有由于出现的过程热而产生的与理想的间隙几何形状的偏离。

技术实现要素：

从所阐述的现有技术出发，本发明基于这样的任务，即，提供一种开头提及的类型的双面或单面加工设备以及方法，利用它们尽管在运行中出现不可避免的过程热，但依然可以获得最佳的加工结果。

本发明通过独立权利要求1、16和19解决该任务。在从属权利要求、说明书和附图中得出有利的实施方案。

对于一种开头提及的类型的双面或单面加工设备来说，本发明通过如下方式解决所述任务，即，设置用于产生下工作盘的局部变形的装置。

对于一种用于运行这样的双面或单面加工设备的方法来说，本发明通过如下方式解决所述任务，即，在加工工件期间使下工作盘这样局部地变形，使得它具有设定几何形状。

加工设备例如可以是抛光机或研磨机或磨床。在下工作盘与支座件(例如在单面加工设备的情况下为简单的重块或压力缸或者在双面加工设备的情况下为上工作盘)之间形成有工作间隙，在该工作间隙内对要加工的工件、例如晶片进行双面或单面加工。因此可以涉及双面加工设备或单面加工设备。在双面加工设备的情况下，可以在工作间隙内优选同时对工件的下侧面和上侧面进行加工。两个工作盘可以相应地具有加工工件表面的工作面。而在单面加工设备的情况下，仅加工一个工件侧面、目前通过下工作盘加工下侧面。因此在这种情况下，仅下工作盘具有加工工件表面的工作面。于是，支座件仅用于形成相应的用于通过下工作盘的加工的支座。

为了加工，能够以本身已知的方式将工件浮动地容纳在布置在工作间隙内的转盘的开口中。下工作盘和支座件在运行中被相对彼此转动地驱动、例如经由上驱动轴和/或下驱动轴以及至少一个驱动马达来驱动。在此，不仅上支座件而且下工作盘可以被转动地驱动，然后被互相相反地驱动。但也可能的是，转动地驱动上支座件与下工作盘中的仅一个。例如在双面加工设备的情况下，通过适当的运动学机构，转盘在所述相对转动过程中同样能够转动地运动穿过工作间隙，使得布置在转盘中的工件在工作间隙内作出圆形的轨道。转盘例如可以在其外边缘上和/或在其内边缘上具有齿部，该齿部与例如下工作盘的所配属的齿部啮合。这样的具有所谓的行星运动学机构的设备是本身已知的。

下工作盘可以构成为环形的。支座件或者说上工作盘也可以构成为环形的。于是，下工作盘和上支座件、例如上工作盘具有彼此相对的环形的工作面，在这些工作面之间形成环形的工作间隙。工作面可以被工作衬层、例如抛光布覆盖。可能的保持工作盘的支承盘也可以构成为环形的或者至少具有环形的支承区段，工作盘固定在这些支承区段上。每个工作盘也可以设置多于一个支承盘。

按照本发明设有如下装置，利用这些装置能够使下工作盘局部变形，尤其是在局部凹变形与局部凸变形之间。局部凹变形或局部凸变形必须区别于整体凹变形或整体凸变形、例如由de102006037490b4已知的那样。在局部变形的情况下，凸的或凹的变形或形状沿径向方向存在于例如环形的工作盘的内边缘与外边缘之间。如果下工作盘不是环形的，则凸的或凹的变形或形状沿径向方向存在于工作盘的中心与外边缘之间。在整体变形的情况下，沿径向方向看在工作盘的整个直径上才产生凹的或凸的形状。而在仅仅整体变形的情况下，沿着径向方向在环形的工作盘的内边缘与外边缘之间或者在非环形的工作盘的中心与外边缘之间，工作面相应地是平的。以下还要借助图4至6更详细地阐述工作盘的局部变形与整体变形之间的区别。

按照本发明，基本上能实现在由安装边界条件，几何形状边界条件和材料边界条件预定的最大凹的和最大凸的形状之间无级地调节下工作盘的局部形状。下工作盘相应地具有足够小的厚度，使得它能够根据它的平面延展尺寸，特别是它的环宽度或它的轨道半径变形。在它的最大变形的范围内、即沿着居中地在例如环形的工作面上延伸的假想的圈，下工作盘的最大凹的形状与最大凸的形状之间的区别可以例如约为200μm。

通过按照本发明的沿着径向方向调节下工作盘的局部几何形状的可能性，能够更好地补偿由于在加工期间的温度影响而造成的间隙变化。在加工过程中，多个导致相应最佳地加工工件的间隙几何形状是可能的。在大的工件，例如大的具有例如450mm或更大的直径的晶片的情况下，本发明是特别有利的。在此，在转盘中每次仅能够存在一个工件。此外，通过本发明能够实现在较大的范围内改变工艺参数如转速、单位载荷和在抛光机的情况下的抛光剂量并且由此进一步优化加工，因为能够更好地补偿出现的过程热。也可以提高单位时间的加工去除量。通过下工作盘的按照本发明的变形可以调整环宽度的径向几何形状。如果例如上支座件或者说上工作盘的径向几何形状在加工开始时是略微凹的，则可以使下工作面朝着凸的方向变形，以便以此重新实现最佳平行的工作间隙几何形状。如果在随后的加工过程中上支座件或者说上工作盘的径向几何形状由于出现的过程热而朝着凸的方向改变，则下工作盘可以通过相应的变形来重新补偿这点并且这样重新产生最佳平行的工作间隙几何形状。

按照本发明可以想到在加工前静态地调定下工作盘的局部变形。也可能的是，设置用于操控用于产生下工作盘的局部变形的装置的控制装置。那么，例如可以由操作人员在控制装置中保存所期望的局部变形。也可以想到为设备的某些加工参数预定某些工作盘几何形状，然后这些工作盘几何形状由控制装置为了加工而调节。

根据一种构造方案，上支座件可以由一个优选环形的上工作盘构成，其中，所述工作盘彼此同轴地布置并且能相对彼此转动地驱动，在所述工作盘之间形成有用于双面或单面加工扁平工件的工作间隙。因此特别是可以涉及双面加工设备。

用于产生下工作盘的局部变形的装置原则上可以是液压装置和/或气动装置和/或机械装置。

根据另一种构造方案，下工作盘可以固定在一个下支承盘上，其中，用于产生下工作盘的局部变形的装置包括在下支承盘与下工作盘之间构成的环形的压力容积，该压力容积与流体供应部连接，该流体供应部能这样操控，使得在压力容积内建立产生下工作盘的预定的局部变形的压力。流体可以是一种液体，特别是水。通过将这个流体引入压力容积内能够给相比于支承盘薄的工作盘施加导致该工作盘变形的压力。以这种方式特别是能够通过在压力容积内调定低的压力使工作盘具有局部凹形状，通过调定中等的压力使工作盘具有局部平的形状以及通过调定高的压力使工作盘具有局部凸形状。在此，局部凸的或凹的变形或形状尤其是沿着径向方向存在于环形的下工作盘的内边缘与外边缘之间。所述压力容积是一个可变的压力容积。因此，下工作盘构成一个膜片，该膜片根据压力容积的由不同压力引起的体积而变形。为了使下工作盘局部变形而在压力容积内建立的压力例如可以在0.4至1.5bar的范围内。

压力流体供应部包括压力流体容器，至少一个与压力容积连接的压力管道与该压力流体容器连接。在压力管道中可以布置泵和控制阀，为了在压力容积内建立所期望的压力可以例如由调节装置对它们进行操控。此外，压力流体供应部可以包括压力测量装置，该压力测量装置直接或间接地测量压力容积内的压力并且其测量数据同样能够施加在调节装置上。在这个基础上可以通过适当地操控压力容积内的压力流体供应来调节对于所期望的工作间隙几何形状来说必要的压力。通常期望的是在整个径向延展尺寸上尽可能平行的工作间隙、即在工作盘之间的保持不变的间距。

根据另一种构造方案可以规定，下工作盘仅仅在其外边缘的区域内和在其内边缘的区域内固定在下支承盘上。如已经阐述的那样，工作盘尤其可以是环形的。于是，在下工作盘与下支承盘之间形成环形的压力容积。在上述构造方案中，下工作盘仅仅在其界定工作面的径向外边缘的和径向内边缘的区域内固定在下支承盘上、例如分别沿着圆的一部分用螺丝拧紧在下支承盘上。而在这些边缘区域之间，工作盘并不固定在支承盘上。尤其是在这个区域内可以形成环形的压力容积。以这种方式，工作盘具有需要的可运动性，以便通过在压力容积内建立适当的压力以所期望的方式变形。在此，如此地选择工作盘在支承盘上的固定，使得在内边缘和外边缘上的支承面保持尽可能狭窄，以便尽可能在工作盘的整个表面上获得有针对性的变形。

根据另一种构造方案，此外可以设置测距装置用于确定工作间隙厚度和/或工作盘变形。该测距装置可以包括至少一个测距传感器，该测距传感器在工作间隙的至少一个位置上测量工作间隙厚度和/或工作盘变形。例如所述至少一个测距传感器可以测量下工作盘与保持在该情况中作为膜片起作用的下工作盘的支承盘之间的间距。测距传感器优选布置在下工作盘的最大局部变形的半径上，尤其是布置在工作盘的中心。测距传感器也可以测量下工作盘与上支座件之间或各工作盘之间的间距并且例如布置在上工作盘中。此外，测距装置可以包括至少两个间距传感器，这些间距传感器在至少两个径向间隔开的位置上测量工作间隙厚度。所述测距传感器例如可以测量下工作盘与支座件之间的间距或者各工作盘之间的间距。所述间距传感器例如可以布置在工作间隙的边缘区域中和工作间隙的中心。为了实现对工作间隙几何形状的更好的测量，根据另一种构造方案，测距装置可以包括至少三个测距传感器，这些测距传感器在工作间隙的至少三个径向间隔开的点上测量工作间隙厚度。在这种情况下，间距传感器可以分别在工作间隙的内边缘和外边缘上以及在工作间隙的中心测量间距。在此，可能的是：所有的测距传感器测量下工作盘与上支座件之间的或各工作盘之间的间距并且例如布置在上工作盘中。但是，测距装置的上述构造方案的组合也是可能的，在该组合中，例如在内边缘和外边缘上的测距传感器测量下工作盘与支座件之间的间距或者在所述两个工作盘之间的间距，并且其中在工作间隙的中心的测距传感器测量下工作盘与保持下工作盘的下支承盘之间的间距。

根据另一种构造方案，可以设有调节装置，该调节装置根据由测距装置获得的测量数据如此地操控用于产生下工作盘的局部变形的装置，使得引起下工作盘的预定的局部变形。调节装置尤其是可以操控流体供应，以便在压力容积内产生引起下工作盘的预定的局部变形的压力。在该构造方案中，由调节装置控制下工作盘的局部变形，测距装置的测量数据施加在该调节装置的输入端上。如果调节装置基于由测距装置测量的值来确定工作间隙几何形状与预定的几何形状的偏离，则该调节装置如此地操控用于产生局部变形的装置，使得工作间隙尽可能重新具有预定的几何形状。该按照本发明的调节尤其是可以在双面或单面加工设备的生产运行期间自动进行。

此外可以设有用于产生上支座件、尤其是上工作盘的整体变形的装置。所述调节装置可以构成为用于同样操控用于使上支座件变形的装置。通过调节装置的所述操控也可以根据由测距装置获得的测量数据来实现。

如果设有至少三个在工作间隙的至少三个径向间隔开的点上测量间距的测距传感器，则可以通过设置在工作间隙的内边缘和外边缘上的测距传感器的平衡，经过上工作盘的整体变形来实现工作间隙的整体调节。在此，布置在内部和外部测距传感器之间的中间的第三测距传感器监视上和下工作盘沿着径向方向在工作盘的内边缘与外边缘之间的平行度、即局部平行度。通过下工作盘的适当的局部变形也可以最佳地调节该局部平行度。目标通常是：通过上工作盘和/或下工作盘的适当的变形使得由所有测距传感器测量的间距值达到相同的值。

根据另一种构造方案可以规定：上支座件是固定在上支承盘上的上工作盘，并且用于使上工作盘变形的装置包括支承环，上支承盘悬挂在该支承环上，其中，在支承环与支承盘的位于该支承环的径向外侧的环形区段之间布置有可控的装置，通过这些装置借助力发生器将径向力经过支承环的圆周施加到支承盘上，其中，调节装置根据由测距装置测量的间距值或者根据由测量装置测量的压力值来调节力发生器上的力。在此，支承环可以抗转动地与用于转动地驱动上支承盘和工作盘的上工作轴连接。

此外可以规定，在支承环与环形区段之间构成沿着圆周方向环绕的宽度小的环形通道，并且力发生器是压力发生器，该压力发生器与环形通道连接并且在环形通道内产生预定的压力。

也可以规定，在支承环上布置具有活塞的缸，活塞与缸孔在支承环内配合作用，该缸孔经由横孔与环形通道连接并且在环形通道内和在缸孔内容纳有液压介质。活塞可以由液压源的可控的压力操纵。尤其可以实现液压气动的操控。

用于使上工作盘整体变形的上述构造方案原则上由de102006037490b4已知，并且在本发明中能以相应的方式得到应用。

根据另一种构造方案，至少在下支承盘中或在下工作盘中、优选也在上支承盘中或在上工作盘中可以构成有用于导通调温流体的调温通道。这些调温通道可以构成为迷宫状的。在设备运行中通过这些调温通道引导用于对(一个或多个)工作盘调温的、尤其是冷却的调温流体、尤其是调温液体如水。由此能够在一定程度上抵抗工作盘的与热相关的变形。

根据一种结构上特别简单的构造方案，在下工作盘中或在下支承盘中构成的调温通道可以与压力容积连接。在该情况下设置有合适的控制阀，经由该控制阀可以控制在压力容积内建立的压力。以这种方式尤其可以在压力容积内调节例如压力，该压力小于或等于调温通道内的压力。控制阀又可以由调节装置操控。

本发明还通过一种用于在按照本发明的双面或单面加工设备中至少调整下工作盘的方法来解决所述任务，在该方法中，通过如下方式至少对下工作盘的工作面、优选也对上工作盘的工作面进行调整，即，对至少下工作盘的工作面、优选也对上工作盘的工作面进行去除材料加工、优选进行磨削，其中，在去除材料加工期间使下工作盘局部变形。

基于不可避免的制造公差和安装公差，尤其是在双面加工设备中在它们首次运行前必须对工作盘进行调整。现在通过耗费的研磨工艺实现这点，在该研磨工艺中，在长的时间段上对工作盘进行去除材料加工，直到这些工作盘具有对于之后的运行来说所期望的形状。通过在上述按照本发明的方法中使下工作盘局部变形、例如使其具有局部凸形状，可以显著缩短所述设置过程。在此尤其可能的是选择磨削过程代替研磨。由此能够快得多地使工作盘具有其对于之后的运行来说所期望的形状。在按照本发明的方法中也可能的是，在该方法中使用的加工设备中为其他的加工设备调整工作盘。

附图说明

以下借助附图更详细地阐述本发明的实施例。其中：

图1在第一运行状态下非常示意地以剖视图示出按照本发明的双面加工设备的一个部分；

图2在第二运行状态下非常示意地示出图1中的视图；

图3在第三运行状态下非常示意地示出图1中的视图；

图4非常示意地以剖视图示出按照本发明的根据另一个实施例的双面加工设备的一个部分；

图5非常示意地以俯视图示出工作盘的图解；

图6非常示意地以沿着图5中的线a-b的横剖面图示出工作盘的整体变形的图解，以及

图7非常示意地以沿着图5中的线a-b的横剖面图示出工作盘的局部变形的图解，其中，出于解释的原因在局部图b)和c)中仅仅示出横横剖面图的一半。

具体实施方式

只要没有另外说明，在所述附图中相同的附图标记表示相同的对象。

在图1至3中仅示例性地示出的双面加工设备具有环形的上支承盘10和同样环形的下支承盘12。在上支承盘10上固定有环形的上工作盘14并且在下支承盘12上固定有同样环形的工作盘16。在所述环形的工作盘14、16之间形成同样环形的工作间隙18，在该工作间隙内在运行中对扁平工件、例如晶片进行双面加工。双面加工设备例如可以是抛光机，研磨机或磨床。

上支承盘10以及上工作盘14利用该上支承盘和/或下支承盘12以及下工作盘16利用该下支承盘可以由合适的驱动装置相对彼此转动地驱动，该驱动装置例如包括上驱动轴和/或下驱动轴以及至少一个驱动马达。驱动装置是本身已知的并且出于清楚的原因未详细示出。以同样本身已知的方式，要加工的工件可以浮动地保持在工作间隙18内的转盘中。通过适当的运动学机构、例如行星运动学机构能够确保转盘在支承盘10、12或者说工作盘14、16的相对转动过程中同样转动穿过工作间隙18。在上工作盘14或上支承盘10中以及可能也在下工作盘16或下支承盘12中可以构造有调温通道，在运行中可以通过这些调温通道引导调温流体、例如调温液体如水。这同样是本身已知的并且未详细示出。

此外，在图1至3中示出的双面加工设备包括同样本身已知的并且未详细示出的测距装置。该测距装置例如可以光学地或电磁地(例如涡流传感器)工作。在所示出的例子中，测距装置例如可以包括三个测距传感器，这些测距传感器在工作间隙的三个径向间隔开的位置上测量上工作盘14与下工作盘16之间的间距。在图1中通过箭头20、22和24表示测距传感器的布置方案。如可清楚地看出的那样，用附图标记20表示的测距传感器在工作间隙18的径向外边缘的区域内测量上工作盘14与下工作盘16之间的间距。用附图标记24表示的测量传感器在工作间隙18的径向内边缘的区域内测量上工作盘14与下工作盘16之间的间距。用附图标记22表示的测距传感器在工作间隙18的中心测量上工作盘14与下工作盘16之间的间距。在图2中示例性地用附图标记22′表示如下的测距传感器，该测距传感器在工作间隙的中心测量下工作盘16与下支承盘12之间的间距。该测距传感器可以备选于在图1中示出的测距传感器使用或者与在图1中示出的测距传感器组合使用。测距传感器22′例如可以替代在图1中示出的测距传感器22。出于清楚的原因在图3和4中未示出测距传感器。用附图标记20、22和24或22′表示的测距传感器的测量数据施加在调节装置26上。

下工作盘16当前仅在其外边缘的区域内和在其内边缘的区域内固定在下支承盘12上、例如分别沿着圆的一部分用螺丝拧紧在下支承盘上，如在图1中用附图标记28和30表示的那样。而在这些固定点28与30之间，下工作盘16并未固定在下支承盘12上。更确切地说，在这些固定点28、30之间在下支承盘12与下工作盘16之间存在环形的压力容积32。压力容积32经由背压管道(staudruckleitung)34与在附图中未详细示出的压力流体容器、例如液体容器、尤其是水容器连接。在背压管道34中可以布置有泵和控制阀，它们可以由调节装置26操控。以这种方式能够通过导入到压力容积32内的流体在该压力容积32内建立所期望的压力，该压力然后作用到下工作盘16上。经由未详细示出的压力测量装置可以测量压力容积32内存在的压力。压力测量装置的测量数据同样可以施加在调节装置26上，从而调节装置26可以调节在压力容积32内的预定的压力。

基于下工作盘在固定点28、30之间的运动自由性，通过在压力容积32内调定足够高的压力能够使下工作盘16局部具有凸形状，如在图2中用附图标记36以虚线表示的那样。如果在图1的下工作盘16具有平的形状的运行状态下以压力容积32内的压力p0为出发点，那么可以通过如下方式实现下工作盘16的在图2中用36示出的凸变形，即将压力调节为p1＞p0。另一方面，通过将压力容积32内的压力调节为p2＜p0可以实现下工作盘16的局部凹变形，如在图3中用附图标记38虚线表示的那样。

在此可以看出：沿着径向方向看，下工作盘16在其在固定点28的区域内的内边缘与其在固定点30的区域内的外边缘之间可以具有局部凸形状(图2)或局部凹形状(图3)。

除了下工作盘16的该局部的径向变形之外，可以设有用于使上工作盘14整体变形的装置。这些装置可以如上所述的那样构造或如在de102006037490b4中所说明的那样构造。在此，使上支承盘10以及利用该上支承盘使固定在该上支承盘上的上工作盘14整体变形，从而在上工作盘14的整个横截面上产生上工作盘14的工作面的整体凹形状或凸形状。而上工作盘14在其径向内边缘与其径向外边缘之间可以保持平的。用于调节上工作盘14的形状的装置也可以由调节装置26操控。

在对工作间隙18内的工件进行加工期间，测距传感器20、22、24或22′例如定期地在它们的各测量点上测量上工作盘14与下工作盘16之间或下工作盘16与下支承盘12之间的间距并且将这些测量数据传输给调节装置26。如果调节装置26确定出偏离预定的工作间隙几何形状或工作盘变形、尤其是上和下工作盘14、16的工作面之间的最佳平行度，则该调节装置26以适当的方式操控用于调节上工作盘14的形状的装置和/或操控压力容积32的压力流体供应用于使下工作盘16变形，以便重新实现相应所期望的最佳的工作间隙几何形状。

在图4中示出根据另一个实施例的双面加工设备，该双面加工设备基本上如在图1至3中示出的双面加工设备那样构造。在图4中示出的例子与在图1至3中示出的例子的区别仅仅在于：在图4中设有两个上支承盘、即支承盘10和支承盘10′以及两个下支承盘、即支承盘12和12′。上工作盘14固定在上支承盘10′上，该支承盘又保持在上支承盘10上。下工作盘16以上面针对图1至3所阐述的方式固定在下支承盘12′上，该下支承盘又保持在下支承盘12上。在图4中用附图标记40示出上支承盘10′中的迷宫状的冷却管道。用附图标记42示出构造在下支承盘12′中的迷宫状的冷却管道。在运行中通过冷却管道40、42引导冷却液体、例如水。此外，下冷却管道42经由节流孔44与压力容积32连接。压力容积32和下冷却管道42在所示出的例子中由同一个压力流体供应部供给、例如经由三路分配器供给。该三路分配器可以为下冷却管道42供应，这些冷却管道通过调压阀保持在预定的压力上。经由节流孔44，压力容积32从冷却管道42中同样得到冷却液体供应。三路分配器的第三接口与压力容积32连接，并且通过由调节装置26预控的调压阀可以控制压力容积32内的背压。最大的背压相当于冷却管道42内的压力。

借助图5至7应该更详细地阐述工作盘的按照本发明的局部变形与工作盘的从现有技术中已知的整体变形之间的区别。在图5中以俯视图示出圆环形的工作盘，如它可以在按照本发明的双面或单面加工设备中使用那样。工作盘的直径在图5中画出的点a与b之间延伸。圆环形的工作盘的轨道半径或者说环宽度在点a与a′之间或者在点b与b′之间延伸。

在图6中，在局部图a)中示出上工作盘的整体凹变形。在图6的局部图c)中示出上工作盘的整体凸变形以及在图6的局部图b)中示出无整体变形的上工作盘。可以清楚地看到，在图6中示出的仅仅整体变形的情况下，点a与a′之间的间距或者点b与b′之间的间距在不同的变形状态下不发生改变，也就是说，工作盘的工作面在内边缘a′与外边缘a之间或者在内边缘b′与外边缘b之间是平的。然而在图6中示出的不同状态下，沿着工作盘的轴向方向在内边缘a′或b′与外边缘a或b之间(在图6中即沿着从上向下的方向)的间距h发生改变。在无整体变形的情况下，这个间距h＝0(局部图b))。在凹变形的情况下，该间距h＞0(局部图a))，以及在凸变形的情况下该间距h＜0(局部图c))。

在图7中示出(仅仅)局部变形，出于解释的原因同样示出上工作盘的局部变形。在图7的局部图a)中，如在图6的局部图b)中那样示出上工作盘不变形的状态。图7的局部图b)示出上工作盘的局部凹变形以及图7的局部图c)示出上工作盘的局部凸变形。如尤其是在图7的局部图b)和c)中可以看出的那样，在该情况下沿着径向方向在工作盘的内边缘a′与外边缘a或者内边缘b′与外边缘b之间、即在轨道半径或者说环宽度上产生凹变形或凸变形。在局部变形的情况下，如在图7中示出的那样，工作面上的一个任意的点、例如工作面的中心与工作面的内边缘a′与外边缘a(或内边缘b′与外边缘b)之间的直的连接线之间的间距h′不等于零。在凹变形的情况下，如在图7的局部图b)中示出的那样，适用h′＞0。在凸变形的情况中，如在图7的局部图c)中示出的那样，适用h′＜0。