一种核壳结构Cu/Ag纳米合金的气相制备方法与流程

文档序号:12646367阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种核壳结构Cu/Ag纳米合金的制备方法,其特征在于,所述制备方法采用双源气体聚集团簇生长系统,具体步骤如下:

A.双源气体聚集团簇生长:在冷凝腔(2)中通入缓冲气体(3),保持恒定气压,在冷凝腔(2)中通过磁控溅射Cu、Ag单质靶材,或通过双坩埚同时热蒸发Cu、Ag粉末,产生稠密的Cu、Ag原子气(5);Cu、Ag原子在缓冲气体(3)气氛中成核生长,形成Cu、Ag团簇;Cu、Ag团簇随缓冲气体(3)向冷凝腔(4)顶部的喷嘴(6)流动并进一步生长,形成核壳结构Cu/Ag纳米合金团簇;

B.团簇束流沉积:Cu/Ag团簇随缓冲气体(3)从喷嘴喷出到高真空腔(9),完成生长,并形成定向的团簇束流(7),沉积于衬底(8)表面,制得Cu/Ag纳米合金。

2.根据权利要求1所述的一种核壳结构Cu/Ag纳米合金的制备方法,其特征在于,步骤A中纳米合金的形成过程在以惰性气体为缓冲气体(3)的冷凝腔(2)中进行,所用惰性气体为氩气或氦气,气压为50Pa-500Pa,温度为77-300K,冷凝腔(2)中的冷凝区长度为50-300mm。

3.根据权利要求1所述的一种核壳结构Cu/Ag纳米合金的制备方法,其特征在于,步骤A中所述Cu、Ag单质靶材和Cu、Ag粉末均为高纯度物质。

4.根据权利要求1~3任一项所述的一种核壳结构Cu/Ag纳米合金的制备方法,其特征在于,通过调整Cu、Ag靶溅射功率的相对大小,或Cu、Ag粉末蒸发温度的相对高低,进而获得不同成分比例的Cu/Ag纳米合金。

5.根据权利要求1~3任一项所述的一种核壳结构Cu/Ag纳米合金的制备方法,其特征在于,通过选择所用惰性气体种类,缓冲气体气压,冷凝腔中的冷凝区长度,进而获得不同尺寸的Cu/Ag纳米合金。

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