一种涂层基材及其制备方法与流程

文档序号:12646370阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种涂层基材,其特征在于:所述涂层基材包括金属基材基底(0),所述金属基材基底(0)由内向外依次为金属箔层(1)、氧化铟锡层(2)、氮化钛层(3)、第一氧化硅层(4)、二氧化钛层(5)、氮化锆钛层(6)、第二氧化硅层(7、和硅树脂聚合物层(8)。

2.根据权利要求1所述的涂层基材,其特征在于:所述金属箔层(1)的厚度为12~30nm,所述氧化铟锡层(2)的厚度为6~15nm,所述氮化钛层(3)的厚度为8~12nm,所述第一氧化硅层(4)的厚度为10~20nm。

3.根据权利要求2所述的涂层基材,其特征在于:所述二氧化钛层(5)的厚度为10~16nm,所述氮化锆钛层(6)的厚度为10~20nm,所述第二氧化硅层(7)的厚度为6~12nm,所述硅树脂聚合物层(8)的厚度为12~16nm。

4.根据权利要求3所述的涂层基材,其特征在于:所述金属基材基底(0)的材质为铁、铜或不锈钢。

5.权利要求1至4任一项所述的涂层基材的制备方法,其特征在于包括如下步骤:

(1)采用平衡或非平衡磁控溅射方式,镀膜设备置于洁净度十万级以内、湿度小于60%的洁净室内,设备冷却水温度在15~25℃;镀膜时本底真空要求:镀膜室真空度<2.3×10-3Pa、真空室真空度<1Pa;

(2)金属基材基底经清洗机清洗后,依次通过进入室和隔离室,到达镀膜室,进入镀膜室后,关闭隔离室与镀膜室间的隔离阀,抽真空至本地真空,之后通入氩气和工艺气体维持真空度为1~2Pa;

(3)待镀膜室腔体内总气压稳定后,将金属基材基底正对溅射靶面,金属基材基底与靶面之间的距离保持在5~15cm,连续开启中频电源、直流电源和射频电源,依次在金属基材基底膜层;

(4)镀膜过程中基底传输速度保持平稳均匀,速度范围为0.6~2.8m/min,制得涂层基材。

6.根据权利要求5所述的涂层基材的制备方法,其特征在于:在步骤(2)和(3)中,镀制时工艺气体为氧气或氮气。

7.根据权利要求5所述的涂层基材的制备方法,其特征在于:在步骤(3)中,电源采用恒功率的范围为20~30kw或恒电流的范围为3~30A。

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