专利名称：一种基材承载装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于半导体设备领域，特别是涉及一种基材承载装置。
背景技术：
在太阳能电池制造的制绒制程中，需要用收片装置来收集处理好的硅片，此时硅片是从外部插入收片装置的装片槽；在后续的扩散制程中，需要将硅片从收片装置中取出。硅片在这些进出过程中存在碎裂的风险，因此需要设计合理的收片装置来减少硅片的碎片率。如图广图3所示，现有的一种收片装置包括位于左右两侧的直立面111及112、设于上下两侧连接所述两直立面的连接体121及122，设置于后侧且与所述两直立面连接的支撑体14、及位于前侧的一开口，所述直立面内侧具有由多个横肋体组成的装片槽13，一般的横肋体为长方体形状。图2为现有的收片装置的俯视图，由图2可见(其中，上下两侧连接体121及122未予图示)，该收片装置的装片槽朝向开口的顶端侧面与与其相连的另一侧面之间的夹角131为直角结构；图3为该收片装置开口处的侧视图，由图3可见，各该装片槽朝向开口的顶端侧面与装片槽上下表面之间的夹角也为直角结构，这种结构的收片装置，硅片在水平进出装片槽时与顶端接触面较大，从而摩擦面积较大，在进出过程中易导致碎片。因此，提供一种能够有效降低硅片进出收片装置时硅片的裂片几率的新型收片装
置实属必要
实用新型内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种基材承载装置，用于解决现有技术中的基材承载装置在硅片水平进出时，由于与装片槽顶端的接触面积过大而导致容易出现硅片碎片现象的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种基材承载装置，至少包括:位于左右两侧的直立面、设于上下两侧连接所述两直立面的连接体，设置于后侧且与所述两直立面连接的支撑体、及位于前侧的一开口，所述两直立面的内侧对应设置有多个由所述开口向所述支撑体延伸的横肋体，与所述横肋体上下表面平行的截面于开口处至少具有一圆弧边。作为本实用新型的基材承载装置的一种优选方案，所述圆弧边连接于所述直立面及与该直立面相对的横肋体的侧面。进一步地，所述圆弧边与所述横肋体的侧面相切。作为本实用新型的基材承载装置的一种优选方案，于开口处连接所述横肋体上下表面的连接面为圆弧面。进一步地，所述圆弧面与所述横肋体的上下表面相切。作为本实用新型的基材承载装置的一种优选方案，所述横肋体的上表面与所述横肋体朝向所述开口的侧面之间的连接面为圆弧面。进一步地，所述圆弧面与所述横肋体的上表面及所述横肋体朝向所述开口的侧面均相切。如上所述，本实用新型提供一种基材承载装置，至少包括:位于左右两侧的直立面、设于上下两侧连接所述两直立面的连接体，设置于后侧且与所述两直立面连接的支撑体、及位于前侧的一开口，所述两直立面的内侧对应设置有多个由所述开口向所述支撑体延伸的横肋体，与所述横肋体上下表面平行的截面于开口处至少具有一圆弧边。本实用新型具有以下有益效果:减小了硅片与横肋体顶端的接触面积，在水平进出收片装置的过程中硅片与横肋体顶端的摩擦面积也减少，从而在进出过程中承受更小的阻力。横肋体开口上端垂直接触硅片的表面进行圆钝化后，硅片进入收片装置时接触到的顶端可以更圆滑，从而减少硅片因对位不准而产生碎片的可能性。
图1-图3显示为现有技术的收片装置的结构示意图。图Γ图5显示为本实用新型的基材承载装置的立体结构示意图。图6显示为本实用新型的基材承载装置的俯视结构示意图。图7显示为本实用新型实施例1中的基材承载装置的横肋体侧视结构示意图。图8显示为本实用新型实施例2中的基材承载装置的横肋体侧视结构示意图。元件标号说明211、212直立面221、222连接体23支撑体24横肋体241圆弧边25装片槽
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。请参阅图4至图8。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。实施例1如图Γ图7所示，本实用新型提供一种基材承载装置，至少包括:位于左右两侧的直立面211、212、设于上下两侧连接所述两直立面211、212的连接体221、222，设置于后侧且与所述两直立面211、212连接的支撑体23、及位于前侧的一开口，所述两直立面211、212的内侧对应设置有多个由所述开口向所述支撑体23延伸的横肋体24，与所述横肋体24上下表面平行的截面于开口处至少具有一圆弧边241。需要说明的是，相邻的两横肋体24组成一装片槽25，一般来说，硅片装载时，将硅片从所述开口沿所述装片槽25插入，装载过程中或装载完成时，所述硅片与位于装片槽25下方的横肋体24的上表面相接触。所述圆弧边241可以是所述横肋体24截面于开口处连接朝向开口的顶侧面及与该顶侧面相接的另一侧面的圆弧倒角，也可以作为横肋体24截面的一边，连接于所述直立面211、212及与该直立面211、212相对的横肋体24的侧面。在本实施例中，所述圆弧边241连接于所述直立面211、212及与该直立面211、212相对的横肋体24的侧面，如图6所示(其中，上下两侧的连接体221及222未予图示)。采用这种结构的横肋体24，可以有效地减小硅片于开口处与横肋体24的接触面积，弧形的设计也可以有效地避免硅片在水平进出收片装置时因摩擦等所造成裂片的几率。在本实施例中，所述圆弧边241与所述横肋体24的侧面相切。所述圆弧边241与所述横肋体24的侧面相切，可以有效地提高相接处的平滑度，降低硅片裂片的几率。本实施例的基材承载装置在上述结构的基础上又作了改进，于开口处连接所述横肋体24上下表面的连接面采用圆弧面设计。进一步地，所述圆弧面与所述横肋体24的上下表面相切。这种结构的横肋体24，可以使硅片进入收片装置时接触到的顶端更圆滑，从而减少硅片因对位不准而产生碎片的可能性。实施例2`[0035]如图Γ图6及图8所示，本实施例提供一种基材承载装置，至少包括:位于左右两侧的直立面211、212、设于上下两侧连接所述两直立面211、212的连接体221、222，设置于后侧且与所述两直立面211、212连接的支撑体23、及位于前侧的一开口，所述两直立面211、212的内侧对应设置有多个由所述开口向所述支撑体23延伸的横肋体24，与所述横肋体24上下表面平行的截面于开口处至少具有一圆弧边241。需要说明的是，相邻的两横肋体24组成一装片槽25，一般来说，硅片装载时，将硅片从所述开口延所述装片槽25插入，装载过程中或装载完成时，所述硅片与位于装片槽25下方的横肋体24的上表面相接触。所述圆弧边241可以是所述横肋体24截面于开口处连接朝向开口的顶侧面及与该顶侧面相接的另一侧面的圆弧倒角，也可以作为横肋体24截面的一边，连接于所述直立面211、212及与该直立面211、212相对的横肋体24的侧面。在本实施例中，所述圆弧边241连接于所述直立面211、212及与该直立面211、212相对的横肋体24的侧面，如图6所示(其中，上下两侧的连接体221及222未予图示)。采用这种结构的横肋体24，可以有效地减小硅片于开口处与横肋体24的接触面积，弧形的设计也可以有效地避免硅片在水平进出收片装置时因摩擦等所造成裂片的几率。在本实施例中，所述圆弧边241与所述横肋体24的侧面相切。所述圆弧边241与所述横肋体24的侧面相切，可以有效地提高相接处的平滑度，降低硅片裂片的几率。本实施例的基材承载装置在上述结构的基础上又作了改进，所述横肋体24的上表面与所述横肋体24朝向所述开口的侧面之间的连接面为圆弧面。进一步地，所述圆弧面与所述横肋体24的上表面及所述横肋体24朝向所述开口的侧面均相切。综上所述，本实用新型提供一种基材承载装置，至少包括:位于左右两侧的直立面211、212、设于上下两侧连接所述两直立面211、212的连接体221、222，设置于后侧且与所述两直立面211、212连接的支撑体23、及位于前侧的一开口，所述两直立面211、212的内侧对应设置有多个由所述开口向所述支撑体23延伸的横肋体24，与所述横肋体24上下表面平行的截面于开口处至少具有一圆弧边241。本实用新型具有以下有益效果:减小了硅片与横肋体顶端的接触面积，在水平进出收片装置的过程中硅片与横肋体顶端的摩擦面积也减少，从而在进出过程中承受更小的阻力。横肋体开口上端垂直接触硅片的表面进行圆钝化后，硅片进入收片装置时接触到的顶端可以更圆滑，从而减少硅片因对位不准而产生碎片的可能性。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
权利要求1.一种基材承载装置，其特征在于，至少包括:位于左右两侧的直立面、设于上下两侧连接所述两直立面的连接体，设置于后侧且与所述两直立面连接的支撑体、及位于前侧的一开口，所述两直立面的内侧对应设置有多个由所述开口向所述支撑体延伸的横肋体，与所述横肋体上下表面平行的截面于开口处至少具有一圆弧边。
2.根据权利要求1所述的基材承载装置，其特征在于:所述圆弧边连接于所述直立面及与该直立面相对的横肋体的侧面。
3.根据权利要求2所述的基材承载装置，其特征在于:所述圆弧边与所述横肋体的侧面相切。
4.根据权利要求1所述的基材承载装置，其特征在于:于开口处连接所述横肋体上下表面的连接面为圆弧面。
5.根据权利要求4所述的基材承载装置，其特征在于:所述圆弧面与所述横肋体的上下表面相切。
6.根据权利要求1所述的基材承载装置，其特征在于:所述横肋体的上表面与所述横肋体朝向所述开口的侧面之间的连接面为圆弧面。
7.根据权利要求6所述的基材承载装置，其特征在于:所述圆弧面与所述横肋体的上表面及所述横肋体朝向所述开口的侧面均相切。
专利摘要本实用新型提供一种基材承载装置，至少包括位于左右两侧的直立面、设于上下两侧连接所述两直立面的连接体，设置于后侧且与所述两直立面连接的支撑体、及位于前侧的一开口，所述两直立面的内侧对应设置有多个由所述开口向所述支撑体延伸的横肋体，与所述横肋体上下表面平行的截面于开口处至少具有一圆弧边。本实用新型具有以下有益效果减小了硅片与横肋体顶端的接触面积，在水平进出收片装置的过程中硅片与横肋体顶端的摩擦面积也减少，从而在水平进出过程中承受更小的阻力。对开口上端垂直接触硅片的横肋体表面进行圆钝化后，硅片进入收片装置时接触到的顶端可以更圆滑，从而减少硅片因对位不准而产生碎片的可能性。
文档编号H01L21/677GK202977390SQ20122064470
公开日2013年6月5日 申请日期2012年11月29日 优先权日2012年11月29日
发明者李洋, 付安强 申请人:茂迪(苏州)新能源有限公司