一种快速制备磨粒图案分布磨盘的方法与流程

文档序号:12896302阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种快速制备磨粒图案分布磨盘的方法,所述的磨盘为包括但不限于磨轮、砂轮、钻头、端面磨盘、滚轮、修整器、CMP修整器、磨垫,包含以下步骤:1)依据所需结合剂厚度确定临时覆盖层的厚度;2)根据磨粒图案的分布对临时覆盖层进行镂空处理;3)将临时覆盖层覆于磨盘基体上;4)将磨粒与结合剂填充进镂空处;5)将磨粒固定于基体,包括以下两种方法:5.1)先移除临时覆盖层,加热使磨粒固定于基体;5.2)临时覆盖层与磨粒一同加热,磨粒固定于基体后,移除临时覆盖层。

技术研发人员:黄国钦;刘琼;穆德魁;黄辉;郭桦;徐西鹏
受保护的技术使用者:华侨大学
技术研发日:2017.08.01
技术公布日:2017.11.10
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