技术特征：
技术总结
本发明提供一种降低因二次装夹所带来的装夹误差，保证工件加工的面形精度及球头砂轮杆与工件间不会相互干涉的异形薄壁复杂结构工件的超精密磨削加工方法，涉及一种加工工艺。本发明首先要获得工件在精密加工后的准确尺寸，然后装夹工件内杆的前端以互为基准的方式对工件装夹部位进行超精密磨削；安装超精密磨削用的细微粒金属基金刚石球头砂轮，并将球头砂轮的球心调整到精密转台的旋转轴线上。通过弹簧夹头将工件安装于工件主轴上，在安装过程中要保证工件的径向跳动量小于5μm。采用CCD对刀系统对工件进行对刀，并获得加工原点，以保证工件加工后具有较高的面形精度。规划球头砂轮的运动轨迹实现异型薄壁复杂结构件的超精密磨削加工。
技术研发人员：陈明君;王廷章;刘赫男;程健;吴春亚;于波;方针
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学
技术研发日：2017.08.16
技术公布日：2017.10.17