技术特征：
技术总结
本发明涉及一种用于OLED蒸镀的蒸发源装置，涉及蒸镀设备技术领域。用于OLED蒸镀的蒸发源装置包括由坩埚、加热器组成的蒸发源主体，通过加热器对坩埚进行加热，还包括设置于蒸发源主体上的振动器，通过蒸发源主体上设置的振动器，可以对坩埚内的蒸镀材料进行持续的或间断式的振动，使坩埚内的蒸镀材料与坩埚侧壁保持最大接触面积，以提高蒸镀材料受热的均匀性。通过设置的振动器能破除由于加热不均造成的直立孤岛结构，保持坩埚内的蒸镀材料表面相对平整，从而使蒸镀材料与坩埚侧壁的接触面积一直保持最大，以减少蒸镀材料局部受热较多的情况发生，进而减少蒸镀材料分解或劣化的现象发生，提高蒸镀材料蒸镀的良率。
技术研发人员：郑子明;赵军;吕海超;彭勃
受保护的技术使用者：上海升翕光电科技有限公司
技术研发日：2017.09.21
技术公布日：2018.03.20